本發明涉及(ji)一種(zhong)用于可裝(zhuang)(zhuang)配(pei)在殼體中的(de)結(jie)構元件的(de)裝(zhuang)(zhuang)配(pei)裝(zhuang)(zhuang)置以及(ji)用于該裝(zhuang)(zhuang)配(pei)裝(zhuang)(zhuang)置的(de)制造方法(fa)。

背景技術：

1、由(you)系統引起地，環(huan)境(jing)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)例如壓(ya)力傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)或氣體傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)需(xu)(xu)要接觸到(dao)周(zhou)圍環(huan)境(jing)，以便(bian)能(neng)夠感(gan)(gan)(gan)測(ce)相(xiang)(xiang)應(ying)的(de)(de)(de)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)參(can)量。為此目(mu)的(de)(de)(de)確(que)保，包含在(zai)(zai)(zai)(zai)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)中的(de)(de)(de)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)元(yuan)件(jian)能(neng)夠例如經由(you)進(jin)入通(tong)道與周(zhou)圍環(huan)境(jing)相(xiang)(xiang)互作(zuo)用(yong)，通(tong)過所述進(jin)入通(tong)道能(neng)夠將介(jie)質(zhi)引導到(dao)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)元(yuan)件(jian)上。不(bu)但在(zai)(zai)(zai)(zai)使用(yong)單獨的(de)(de)(de)環(huan)境(jing)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)作(zuo)為單獨構(gou)件(jian)時，而且在(zai)(zai)(zai)(zai)集成到(dao)上級的(de)(de)(de)分析評(ping)估(gu)和/或控(kong)(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)中時需(xu)(xu)要傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)或分析評(ping)估(gu)/控(kong)(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)用(yong)于運行(xing)所需(xu)(xu)的(de)(de)(de)確(que)定部分不(bu)受周(zhou)圍環(huan)境(jing)的(de)(de)(de)影(ying)響。因此，傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)元(yuan)件(jian)在(zai)(zai)(zai)(zai)單個傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)結構(gou)中或在(zai)(zai)(zai)(zai)分析評(ping)估(gu)/控(kong)(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)內(nei)的(de)(de)(de)適當(dang)定位不(bu)但在(zai)(zai)(zai)(zai)環(huan)境(jing)介(jie)質(zhi)的(de)(de)(de)供應(ying)，而且在(zai)(zai)(zai)(zai)相(xiang)(xiang)對于內(nei)部的(de)(de)(de)密封(feng)方面應(ying)合適地構(gou)型。

2、尤其在微機械(xie)傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)(mems)中(zhong)(zhong)通常通過將傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)元件(jian)施加到剛性襯底上進行制造(zao)，以(yi)便(bian)(bian)獲得對(dui)于(yu)其他傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)組成部分的(de)基礎(chu)，并且(qie)防止在將結構裝配到上級系統(tong)中(zhong)(zhong)的(de)后續裝配時(shi)出現不(bu)希望的(de)應力。此外，設(she)(she)置(zhi)用于(yu)傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)的(de)密(mi)封(feng)(feng)件(jian)或鈍(dun)化件(jian)，以(yi)防止環(huan)境介質侵入(ru)到不(bu)設(she)(she)置(zhi)為(wei)用于(yu)感(gan)(gan)(gan)測傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)參量的(de)區域中(zhong)(zhong)。密(mi)封(feng)(feng)件(jian)如密(mi)封(feng)(feng)環(huan)或其他密(mi)封(feng)(feng)材料還可(ke)以(yi)被用于(yu)將傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)或通常傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)元件(jian)固定且(qie)鎖定在殼(ke)體中(zhong)(zhong)，以(yi)便(bian)(bian)例如確定朝(chao)進入(ru)通道(dao)的(de)定向。

3、因為(wei)傳感(gan)(gan)器(qi)通(tong)(tong)常使(shi)用在(zai)上級環(huan)境中(zhong)，例如(ru)殼體或(huo)上級的(de)分(fen)析評估和/或(huo)控制(zhi)器(qi)中(zhong)，所以(yi)該傳感(gan)(gan)器(qi)通(tong)(tong)常借助(zhu)剛性(xing)或(huo)柔性(xing)的(de)電(dian)(dian)路板附接。柔性(xing)電(dian)(dian)路板尤其具有以(yi)下(xia)優點：能夠(gou)將傳感(gan)(gan)器(qi)相(xiang)對自(zi)由地定位在(zai)上級系統(tong)中(zhong)，同時能夠(gou)實現與其他電(dian)(dian)子(zi)部(bu)件和供能裝置的(de)電(dian)(dian)連接。

4、然而(er)，使(shi)用(yong)剛性(xing)襯(chen)底具有(you)以(yi)下缺點(dian)：裝配(pei)以(yi)及在此(ci)必(bi)要的(de)接(jie)觸在某些情況下會導致在上級系統例如分(fen)析評估和/或控制器內的(de)定位(wei)中(zhong)的(de)限制。尤(you)其(qi)，傳感(gan)器的(de)剛性(xing)襯(chen)底與剛性(xing)或柔性(xing)電(dian)路板的(de)連接(jie)作為與上級環境的(de)連接(jie)可能導致要集成的(de)傳感(gan)器的(de)大(da)的(de)整體高(gao)度，該大(da)的(de)整體高(gao)度限制甚至阻止(zhi)集成到高(gao)度小型化的(de)應用(yong)中(zhong)。

技術實現思路

1、借(jie)助本發明應描(miao)述(shu)一種呈裝(zhuang)(zhuang)配裝(zhuang)(zhuang)置形式的(de)傳感器的(de)結構，該裝(zhuang)(zhuang)配裝(zhuang)(zhuang)置能(neng)夠實現在上級系統中的(de)更靈活和(he)/或更緊湊的(de)布置或定位。

2、為了(le)實現(xian)傳感(gan)器結(jie)構的(de)(de)(de)更靈活的(de)(de)(de)使用，根據本(ben)發(fa)明(ming)提出(chu)一種用于尤其微機械結(jie)構元(yuan)件(jian)(jian)(jian)，例(li)如傳感(gan)器元(yuan)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)裝(zhuang)(zhuang)配裝(zhuang)(zhuang)置。在(zai)(zai)此，裝(zhuang)(zhuang)配裝(zhuang)(zhuang)置包括至少一個(ge)柔性承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)、結(jie)構元(yuan)件(jian)(jian)(jian)和加(jia)強元(yuan)件(jian)(jian)(jian)。本(ben)發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)核(he)心在(zai)(zai)于，結(jie)構元(yuan)件(jian)(jian)(jian)施加(jia)，例(li)如焊接和/或粘合在(zai)(zai)柔性承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)第(di)一側(ce)上的(de)(de)(de)第(di)一區(qu)域中(zhong)，并且加(jia)強元(yuan)件(jian)(jian)(jian)施加(jia)在(zai)(zai)承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)相對的(de)(de)(de)第(di)二側(ce)上的(de)(de)(de)第(di)二區(qu)域中(zhong)。

3、通(tong)過例如(ru)敏感(gan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)構(gou)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)在(zai)承載元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一側(ce)(ce)上并且加強元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)在(zai)承載元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相對的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第二側(ce)(ce)上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)這種布置(zhi)可以(yi)實(shi)(shi)(shi)現載體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)僅用(yong)作(zuo)(zuo)敏感(gan)結(jie)構(gou)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)基(ji)礎的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)區域剛性(xing)地構(gou)型，而(er)承載元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)超出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)區域繼(ji)續保持靈(ling)活(huo)且可適配的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)。在(zai)此，柔性(xing)電路板可以(yi)用(yong)作(zuo)(zuo)柔性(xing)承載元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)，例如(ru)柔性(xing)pcb或通(tong)常在(zai)其(qi)上為(wei)了接觸目的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)能(neng)夠施加或集成(cheng)印制(zhi)導(dao)(dao)線的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)膜。例如(ru)基(ji)于聚(ju)酰亞(ya)胺(an)或類似的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)這種膜已經長期在(zai)裝配和連接技(ji)術(shu)中使用(yong)。使用(yong)膜作(zuo)(zuo)為(wei)承載元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)還具有以(yi)下優點：與(yu)(yu)使用(yong)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)襯底(di)或pcb襯底(di)作(zuo)(zuo)為(wei)承載元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)相比，結(jie)構(gou)可以(yi)更平坦地構(gou)型。這尤其(qi)能(neng)夠通(tong)過以(yi)下方式(shi)實(shi)(shi)(shi)現：由(you)(you)用(yong)于接觸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)柔性(xing)承載元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)和優選用(yong)于穩定的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)金屬加強元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)組(zu)合(he)能(neng)夠與(yu)(yu)例如(ru)由(you)(you)有機材料制(zhi)成(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)具有相同整體(ti)剛度的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)剛性(xing)襯底(di)相比實(shi)(shi)(shi)現更平坦的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)構(gou)。

4、在本發明的(de)(de)一個(ge)擴展方案中(zhong)(zhong)(zhong)，結構(gou)(gou)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)或(huo)(huo)傳(chuan)感(gan)器元(yuan)件(jian)(jian)(jian)可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)至(zhi)少(shao)(shao)部(bu)分(fen)地(di)在第一側上被另一結構(gou)(gou)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)包(bao)圍。該(gai)構(gou)(gou)件(jian)(jian)(jian)在此(ci)可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)在第一區(qu)域中(zhong)(zhong)(zhong)或(huo)(huo)鄰接(jie)(jie)于第一區(qu)域的(de)(de)區(qu)域中(zhong)(zhong)(zhong)與柔性承載元(yuan)件(jian)(jian)(jian)牢(lao)固(gu)地(di)連接(jie)(jie)。優選地(di)，該(gai)構(gou)(gou)件(jian)(jian)(jian)具有(you)(you)在進入(ru)通(tong)(tong)道的(de)(de)意(yi)義上的(de)(de)開(kai)口(kou)，通(tong)(tong)過該(gai)開(kai)口(kou)可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)將環(huan)(huan)境介(jie)(jie)(jie)質(zhi)(zhi)引(yin)導到(dao)結構(gou)(gou)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)或(huo)(huo)傳(chuan)感(gan)器元(yuan)件(jian)(jian)(jian)上。為了保護構(gou)(gou)件(jian)(jian)(jian)免(mian)受環(huan)(huan)境介(jie)(jie)(jie)質(zhi)(zhi)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)有(you)(you)害物質(zhi)(zhi)，可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)將鈍化介(jie)(jie)(jie)質(zhi)(zhi)(passivierungsmedium)，例如(ru)凝(ning)膠(jiao)引(yin)入(ru)到(dao)開(kai)口(kou)中(zhong)(zhong)(zhong)。在此(ci)，鈍化介(jie)(jie)(jie)質(zhi)(zhi)可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)部(bu)分(fen)地(di)或(huo)(huo)完全(quan)覆蓋(gai)構(gou)(gou)件(jian)(jian)(jian)。在傳(chuan)感(gan)器元(yuan)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)情況下可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)如(ru)此(ci)設置，使(shi)得覆蓋(gai)至(zhi)少(shao)(shao)一個(ge)感(gan)測(ce)和(he)/或(huo)(huo)接(jie)(jie)觸器件(jian)(jian)(jian)，以(yi)(yi)避免(mian)測(ce)量值失(shi)真和(he)/或(huo)(huo)腐蝕(shi)。替代(dai)地(di)或(huo)(huo)附加地(di)，可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)使(shi)用引(yin)入(ru)到(dao)構(gou)(gou)件(jian)(jian)(jian)上或(huo)(huo)構(gou)(gou)件(jian)(jian)(jian)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)尤其多(duo)孔(kong)的(de)(de)隔膜，以(yi)(yi)阻擋環(huan)(huan)境介(jie)(jie)(jie)質(zhi)(zhi)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)有(you)(you)害物質(zhi)(zhi)。

5、此(ci)(ci)外，至少部分(fen)地包圍結構元(yuan)(yuan)件(jian)或(huo)傳(chuan)感器元(yuan)(yuan)件(jian)的(de)(de)構件(jian)還可以配備有接(jie)收(shou)部，密(mi)封元(yuan)(yuan)件(jian)被(bei)引入(ru)或(huo)安裝到(dao)該接(jie)收(shou)部中。在(zai)此(ci)(ci)，不但密(mi)封環(huan)而(er)且例如可注入(ru)到(dao)接(jie)收(shou)部中的(de)(de)其他密(mi)封材料是(shi)合適的(de)(de)。密(mi)封元(yuan)(yuan)件(jian)在(zai)此(ci)(ci)優(you)選地設計成(cheng)與(yu)施加到(dao)構件(jian)上(shang)的(de)(de)蓋(gai)共同作用，以防止環(huan)境介(jie)質侵入(ru)到(dao)由開(kai)口限定的(de)(de)進入(ru)通道外。這尤其阻(zu)止環(huan)境介(jie)質侵入(ru)到(dao)上(shang)級系統(tong)中。

6、在(zai)承載元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)的(de)(de)第(di)二側(ce)上的(de)(de)加(jia)(jia)(jia)強元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)可(ke)以(yi)(yi)直(zhi)接在(zai)承載元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)上產生或作為(wei)預制元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)與承載元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)連接。在(zai)此，被加(jia)(jia)(jia)強元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)覆蓋的(de)(de)面可(ke)以(yi)(yi)至(zhi)少相(xiang)應于在(zai)相(xiang)對的(de)(de)第(di)一側(ce)上被結構元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)覆蓋的(de)(de)相(xiang)應的(de)(de)面。因此例如可(ke)以(yi)(yi)實現(xian)，至(zhi)少結構元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)在(zai)裝配期間不經(jing)受(shou)機械力。此外，可(ke)以(yi)(yi)設置，加(jia)(jia)(jia)強元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)構造為(wei)，使得其也可(ke)以(yi)(yi)用作結構元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)的(de)(de)電屏(ping)蔽件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)和/或磁屏(ping)蔽件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)。為(wei)此可(ke)以(yi)(yi)設置，加(jia)(jia)(jia)強元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)部分地或全部由(you)金(jin)屬或合金(jin)構成(cheng)。替代地，加(jia)(jia)(jia)強元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)也可(ke)以(yi)(yi)由(you)陶瓷材料(liao)或有機材料(liao)如塑料(liao)構成(cheng)。

7、為了產(chan)生例如(ru)作(zuo)用到密封元(yuan)(yuan)件(jian)上(shang)或作(zuo)用到上(shang)級系統中的(de)仍(reng)待(dai)安(an)裝的(de)蓋(gai)或覆蓋(gai)件(jian)上(shang)的(de)反作(zuo)用力，加強元(yuan)(yuan)件(jian)可以配(pei)備(bei)有彈簧(huang)元(yuan)(yuan)件(jian)。在此，彈簧(huang)元(yuan)(yuan)件(jian)可以直(zhi)接(jie)或間(jian)接(jie)地與加強元(yuan)(yuan)件(jian)連接(jie)，即作(zuo)為集成部分(fen)或作(zuo)為附加元(yuan)(yuan)件(jian)。

8、根據(ju)本(ben)發明(ming)的(de)(de)(de)(de)裝配裝置有(you)(you)(you)利(li)地適用(yong)于(yu)布置在(zai)殼(ke)體(ti)中。為(wei)此，柔(rou)性(xing)承(cheng)(cheng)載(zai)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)可以具(ju)有(you)(you)(you)能夠實現結(jie)構元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)和/或(huo)外(wai)部電連接的(de)(de)(de)(de)電接觸(chu)部。有(you)(you)(you)利(li)地，殼(ke)體(ti)也(ye)(ye)具(ju)有(you)(you)(you)蓋(gai)，結(jie)構元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)和/或(huo)安裝在(zai)承(cheng)(cheng)載(zai)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)上的(de)(de)(de)(de)構件(jian)(jian)(jian)通(tong)過所述蓋(gai)固定。替代地或(huo)附加地，蓋(gai)也(ye)(ye)可以與密封(feng)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)結(jie)合(he)地產生相(xiang)對于(yu)環境介質(zhi)的(de)(de)(de)(de)密封(feng)。當然，也(ye)(ye)可以借助(zhu)這種構件(jian)(jian)(jian)或(huo)結(jie)構元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)通(tong)過蓋(gai)實現密封(feng)。

9、為了產生(sheng)密封(feng)，可以(yi)(yi)設置(zhi)蓋對(dui)密封(feng)元(yuan)件(jian)施加(jia)(jia)力(li)，該力(li)具(ju)有基本上(shang)垂直于加(jia)(jia)強元(yuan)件(jian)指(zhi)向的力(li)分量。由此可以(yi)(yi)通過加(jia)(jia)強元(yuan)件(jian)吸(xi)收如此產生(sheng)的力(li)。

10、相應(ying)地，可以(yi)借(jie)助彈簧元(yuan)件產生第(di)二(er)力分量(liang)，該第(di)二(er)力分量(liang)基本上垂(chui)直于承載元(yuan)件的第(di)二(er)側指向。在此(ci)可以(yi)優選地設(she)置，該第(di)二(er)力分量(liang)將密封元(yuan)件壓(ya)抵著蓋(gai)。

11、根據本發明，還要求保護(hu)一種方法，在所述方法中(zhong)，尤其微機械結構元件，例如傳感器元件在柔性承載(zai)元件的第(di)(di)一側(ce)上(shang)生產(chan)或(huo)(huo)施加(jia)，并且加(jia)強元件在第(di)(di)二側(ce)上(shang)生產(chan)或(huo)(huo)施加(jia)。

技術特征：

1.一種用(yong)于尤其(qi)微(wei)機電結構(gou)元(yuan)件(110)以及asic的(de)裝配裝置，所述(shu)微(wei)機電結構(gou)元(yuan)件以及asic集成到(dao)上級(ji)系統(tong)中，其(qi)中，所述(shu)裝配裝置具有：

2.根據權利要求1所(suo)述(shu)的裝(zhuang)配裝(zhuang)置，其特征在于(yu)，附加地(di)設置構件(120)，所(suo)述(shu)構件施加在所(suo)述(shu)承載元(yuan)(yuan)件(100)的第(di)一側(10)上的第(di)一區域中(zhong)并且至少部分(fen)地(di)包(bao)圍所(suo)述(shu)結構元(yuan)(yuan)件(110)。

3.根據權(quan)利要求2所述(shu)的(de)裝配裝置，其特征在(zai)于，所述(shu)結構元件(jian)(110)具有微機械(xie)的(de)傳感器元件(jian)，其中，所述(shu)構件(jian)(120)具有開(kai)口(190)作為周圍環境至所述(shu)傳感器元件(jian)的(de)進入口。

4.根據權(quan)利要(yao)求1至(zhi)3中(zhong)任一項所(suo)述的(de)裝(zhuang)配裝(zhuang)置(zhi)，其特征(zheng)在(zai)于，在(zai)所(suo)述傳感器(qi)元件(jian)(jian)周圍和/或在(zai)所(suo)述構件(jian)(jian)(120)的(de)開(kai)口(190)中(zhong)引(yin)入鈍(dun)化(hua)介(jie)(jie)質，所(suo)述鈍(dun)化(hua)介(jie)(jie)質至(zhi)少部分(fen)地(di)覆(fu)蓋所(suo)述傳感器(qi)元件(jian)(jian)。

5.根據權利要求2至4中任一(yi)項所(suo)述(shu)的裝(zhuang)配裝(zhuang)置，其特(te)征(zheng)在于，所(suo)述(shu)構件(120)具有用于密封(feng)元件(140、142、144、146)的接(jie)收部(bu)(130、132、134、136)。

6.根據前述(shu)(shu)權利要(yao)求(qiu)中任一項(xiang)所(suo)述(shu)(shu)的(de)(de)裝配(pei)裝置，其特(te)征在(zai)于，所(suo)述(shu)(shu)加(jia)強(qiang)元(yuan)件(jian)(150)引起所(suo)述(shu)(shu)結構元(yuan)件(jian)(110)的(de)(de)電(dian)屏(ping)(ping)蔽和/或(huo)磁屏(ping)(ping)蔽，其中，尤其設(she)置，所(suo)述(shu)(shu)加(jia)強(qiang)元(yuan)件(jian)(150)至少(shao)部(bu)分地是金屬的(de)(de)。

7.根據前述(shu)權利要求中任一項所述(shu)的裝配裝置，其特征在于，所述(shu)加(jia)強元(yuan)件(150)在所述(shu)第二區(qu)域中至少覆蓋(gai)所述(shu)第一區(qu)域的面。

8.根據前述(shu)權利(li)要求中任一(yi)項(xiang)所述(shu)的裝配裝置(zhi)，其特征在于，在所述(shu)第二(er)區域(yu)中或所述(shu)第二(er)區域(yu)上設(she)置(zhi)有彈簧元(yuan)件(jian)(jian)(180、186)，其中，尤其設(she)置(zhi)，所述(shu)彈簧元(yuan)件(jian)(jian)(180、186)是(shi)所述(shu)加強元(yuan)件(jian)(jian)(150)的一(yi)部分。

9.一種用(yong)于結(jie)構(gou)元件(jian)(jian)(jian)(110)、尤其(qi)微機電(dian)傳感器(qi)元件(jian)(jian)(jian)的殼(ke)體，具(ju)有根據權利要求1至8中(zhong)(zhong)任一項所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)的裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)配裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置，其(qi)中(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)配裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置以所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)承載元件(jian)(jian)(jian)(100)的第二側(20)安裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)在所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)殼(ke)體中(zhong)(zhong)，并且所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)殼(ke)體具(ju)有蓋或覆蓋件(jian)(jian)(jian)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)蓋或覆蓋件(jian)(jian)(jian)為了(le)固(gu)定和(he)/或密(mi)封而至少(shao)部分(fen)地壓(ya)到(dao)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)結(jie)構(gou)元件(jian)(jian)(jian)(110)、所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)構(gou)件(jian)(jian)(jian)(120)和(he)/或所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)密(mi)封元件(jian)(jian)(jian)(140、142、144、146)上。

10.根據(ju)權利要求9所述(shu)的(de)殼體，其特征(zheng)在于，所述(shu)接收部(130、132、134、136)布(bu)置在所述(shu)構件(jian)上，使得所述(shu)蓋的(de)作(zuo)用到所述(shu)密封元(yuan)件(jian)(140、142、144、146)上的(de)第(di)一力分量基本上垂直于所述(shu)加(jia)強元(yuan)件(jian)(150)指向(xiang)。

11.根據權利要求(qiu)9或10所(suo)述(shu)的殼體，其特征在于，所(suo)述(shu)彈簧(huang)元(yuan)(yuan)件(180、186)產(chan)生第二(er)力分(fen)量，所(suo)述(shu)第二(er)力分(fen)量基本上垂(chui)直(zhi)于所(suo)述(shu)第二(er)側(ce)(20)指向所(suo)述(shu)承載元(yuan)(yuan)件(100)，其中，尤(you)其設置，所(suo)述(shu)第二(er)力分(fen)量將(jiang)所(suo)述(shu)密封元(yuan)(yuan)件(140、142、144、146)壓抵著所(suo)述(shu)蓋。

12.一種用于制造根據(ju)權利(li)要求1至(zhi)8中任一項所(suo)(suo)述(shu)的(de)裝(zhuang)配裝(zhuang)置的(de)方法，所(suo)(suo)述(shu)裝(zhuang)配裝(zhuang)置用于尤(you)其(qi)微(wei)機械(xie)的(de)結(jie)構元件(jian)(jian)，其(qi)中，將微(wei)機械(xie)的(de)結(jie)構元件(jian)(jian)(110)施加(jia)在(zai)柔性的(de)承(cheng)載(zai)元件(jian)(jian)(100)的(de)第(di)(di)一側(ce)(10)上的(de)第(di)(di)一區域(yu)中，并(bing)且加(jia)強(qiang)元件(jian)(jian)(150)至(zhi)少在(zai)位(wei)于所(suo)(suo)述(shu)柔性的(de)承(cheng)載(zai)元件(jian)(jian)的(de)相(xiang)對的(de)第(di)(di)二(er)側(ce)(20)上的(de)第(di)(di)二(er)區域(yu)中施加(jia)或產生(sheng)。

13.根據權利要(yao)求12所(suo)述(shu)的(de)方法，其特征在于，將構件(120)施(shi)加在所(suo)述(shu)承載元件(100)的(de)第一側(10)上的(de)第一區域中，所(suo)述(shu)構件至(zhi)少部(bu)分(fen)地包圍所(suo)述(shu)結構元件(110)，其中，尤其設置，所(suo)述(shu)構件(120)具(ju)有開(kai)口(kou)(kou)(190)，將鈍化(hua)介(jie)質引入到所(suo)述(shu)開(kai)口(kou)(kou)中，所(suo)述(shu)鈍化(hua)介(jie)質至(zhi)少部(bu)分(fen)地覆(fu)蓋所(suo)述(shu)傳感器元件。

14.根據權利要(yao)求12或(huo)13所述(shu)的方(fang)法，其特征在(zai)于(yu)，所述(shu)構件(jian)(120)具有(you)接收部(130、132、134、136)，將(jiang)密封元(yuan)件(jian)(140、142、144、146)引入(ru)到(dao)所述(shu)接收部中。

技術總結
為了實現更靈活地使用傳感器結構，根據本發明提出一種用于尤其微機械的結構元件，例如傳感器元件的裝配裝置。在此，所述裝配裝置具有柔性的承載元件、結構元件和加強元件。本發明的核心在于，所述結構元件施加在所述柔性的承載元件的第一側上的第一區域中，所述加強元件至少設置在位于所述柔性的承載元件的相對的第二側上的第二區域中，并且所述柔性的承載元件可以電連接，由此能夠實現傳感器結構的緊湊和靈活的安裝。

技術研發人員：A·門策爾,L·米德爾堡,D·蒂森,J·克羅伊策,B·埃爾紹茨
受保護的技術使用者：羅伯特·博世有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/9/17