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可切換式氣體配比柜的制作方法

文檔序號:4927642閱讀:205來源:國知局
可切換式氣體配比柜的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種氣體配比柜,特別涉及一種可切換式氣體配比柜。該可切換式氣體配比柜,其特征在于:包括配比柜A、配比柜B,配比柜A與配比柜B通過PLC可編程控制器連接。本實用新型的有益效果是:本實用新型的可切換式氣體配比柜,通過PLC可編程控制器實現配比柜A、配比柜B相互替換,使用方便、操作簡單,而且節省了占地空間,有效減低了購買設備的成本。
【專利說明】可切換式氣體配比柜
[0001](一)【技術領域】
[0002]本實用新型涉及一種氣體配比柜,特別涉及一種可切換式氣體配比柜。
[0003](二)【背景技術】
[0004]配比柜是專門用于氣體混合的裝置,配比柜是專門用于氣體混合的裝置,但是現有的配比柜的配比精確度低、流量小、運輸不方便等問題,為了避免由于配比柜損壞而影響生產,企業一般選擇購買兩臺配比柜,以供替換使用,但是由于生產車間的空間有限,有時會出現兩臺設備放置不下的情況,而且一下購買兩臺配比柜,極大的提高了企業支出,嚴重影響企業資金運轉,需要改進。
[0005](三)實用新型內容
[0006]本實用新型為了彌補現有技術的不足,提供了一種使用方便、操作簡單的可切換式氣體配比柜。
[0007]本實用新型是通過如下技術方案實現的:
[0008]一種可切換式氣體配比柜,其特殊之處在于:包括配比柜A、配比柜B,配比柜A與配比柜B通過PLC可編程控制器連接。
[0009]本實用新型的可切換式氣體配比柜,配比柜A、配比柜B均包括依次連接的多級平衡裝置、自動配比閥、混氣閥,該多級平衡裝置連接輸入氣體的進氣管,混氣閥連接出氣接頭,該自動配比閥通過聯動接體連接伺服電機,該伺服電機與伺服電機驅動器相連,伺服電機驅動器與PLC可編程控制器連接,PLC可編程控制器與觸摸式顯示屏連接。
[0010]本實用新型的可切換式氣體配比柜,多級平衡裝置為兩級平衡裝置,自動配比閥包括配比閥主體A、配比閥主體B,配比閥主體A置于配比閥主體B的前面,活動閥芯一端固定在聯動接體上,另一端穿過配比閥主體A置于配比閥主體B的內部,配比閥主體A內部空間的邊角為直角,該活動閥芯的前部窄且后部寬,活動閥芯前部靠近前端的位置及前部的末端均設置錐角,該配比閥主體A通過氣體A輸送管道與兩級平衡裝置的A氣體出口連接,該配比閥主體B通過氣體B輸送管道與兩級平衡裝置的B氣體出口連接,配比閥主體A與配比閥主體B均通過配比閥連接體與混合氣輸送管道連接,該混合氣輸送管道連接混氣閥,混氣閥內設置分流管,該分流管分別與混合氣輸送管道、出氣接頭連接。
[0011]本實用新型的可切換式氣體配比柜,PLC可編程控制器分別連接電源開關、故障報警器、壓力傳感器、紅外線氣體分析儀,該壓力傳感器分別連接A、B氣體的進氣管、混氣閥的出氣口,紅外線氣體分析儀連接混氣閥出氣口,PLC可編程控制器與觸摸式顯示屏連接,通過觸摸式顯示屏控制電源開關、故障報警器、紅外線氣體分析儀、壓力傳感器,實現操作人員的遠程控制和本地操作。
[0012]本實用新型的可切換式氣體配比柜,配比閥主體A與氣體A輸送管道之間、配比閥主體B與氣體B輸送管道、配比閥主體A與配比閥主體B分別和配比閥連接體之間、配比閥連接體與混合氣輸送管道之間均依次安裝管接頭、過渡接頭,該配比閥主體B的后面安裝大接頭,該大接頭與過渡接頭連接。
[0013]本實用新型的可切換式氣體配比柜,兩級平衡裝置包括依次連接的平衡閥A、平衡閥B,該平衡閥A與平衡閥B均包括閥蓋與相應的壓蓋,閥蓋壓在相應的壓蓋形成氣室,壓蓋上分別安裝活門座,活門座內安裝活門芯,活門芯內安裝活門內芯和活門密封墊,該活門內芯上套有活門彈簧,該活門彈簧的一端置于活門座內部的頂端,另一端置于壓蓋底面的凹槽內,該凹槽位于壓蓋底面的突起上,活門內芯與活門座之間分別設置活門頭、活門密封墊,兩壓蓋之間依次設置氣壓膜A、中間閥體、氣壓膜B,平衡閥A分別與輸入氣體A、B的進氣管連接,平衡閥B分別經氣體A輸送管道、氣體B輸送管道與自動配比閥連接,氣室依次經接頭、管接頭與自動配比閥連接,閥蓋、活門座上分別設置相應的擴口式管接頭。
[0014]本實用新型的可切換式氣體配比柜,還包括控制壓力表、A氣體輸入壓力表、B氣體輸入壓力表、混合氣體輸出壓力表、調節閥、電磁閥,其中,控制壓力表與平衡閥B連接,A氣體輸入壓力表、B氣體輸入壓力表與相應的進氣管連接,混合氣體輸出壓力表與混氣閥輸出氣體連接,平衡閥A與平衡閥B均與調節閥連接,電磁閥安裝在混氣閥與出氣接頭之間。
[0015]本實用新型的可切換式氣體配比柜,氣體A輸送管道、氣體B輸送管道上均設置單向閥。
[0016]本實用新型的可切換式氣體配比柜,出氣接頭分別與混合氣輸出閥連接。
[0017]本實用新型的有益效果是:本實用新型的可切換式氣體配比柜,通過PLC可編程控制器實現配比柜A、配比柜B相互替換,使用方便、操作簡單,而且節省了占地空間,有效減低了購買設備的成本。
[0018](四)【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。
[0020]附圖1為本實用新型的主視示意圖;
[0021]附圖2為本實用新型的左視示意圖;
[0022]附圖3為本實用新型的后視示意圖;
[0023]附圖4為本實用新型的立體圖;
[0024]附圖5為本實用新型的配比柜的主視示意圖;
[0025]附圖6為本實用新型的配比柜的后視示意圖;
[0026]附圖7為本實用新型的配比柜的俯視示意圖;
[0027]附圖8為本實用新型的配比柜的內部結構立體圖A ;
[0028]附圖9為本實用新型的配比柜的內部結構立體圖B ;
[0029]附圖10為本實用新型的配比柜的內部結構主視圖;
[0030]附圖11為本實用新型的自動配比閥與伺服電機的示意圖;
[0031]附圖12為本實用新型的自動配比閥與伺服電機的主視示意圖;
[0032]附圖13為附圖12E-E截面的剖視圖;
[0033]附圖14為附圖12F-F截面的首I]視圖;
[0034]附圖15為本實用新型平衡閥的結構示意圖;
[0035]附圖16為附圖15B-B截面的剖視圖;
[0036]附圖17為附圖15C-C截面的剖視圖;
[0037]附圖18為附圖12的外部的結構示意圖;
[0038]附圖19為本實用新型混氣閥的結構示意圖;
[0039]附圖20為附圖19B-B截面的剖視圖;[0040]附圖21為附圖19C-C截面的剖視圖;
[0041]圖中,I控制壓力表,2 A氣體輸入壓カ表,3B氣體輸入壓カ表,4混合氣體輸出壓力表,5觸摸式操作顯示屏,6電源開關,7故障報警器,8紅外線氣體分析儀,9自動配比閥,10單向閥,11進氣管,12兩級平衡裝置,13壓カ傳感器,14系統控制箱,15 I號調節閥,162號調節閥,17電磁閥,18出氣接頭,19滾珠絲母,20聯動接體,21滾珠絲杠,22軸套,23單機安裝支架,24伺服電機,25閥芯固定螺栓,26活動閥芯,27配比閥主體A,28配比閥主體B,29 大接頭,30、31、32、33、34 過渡接頭,35、36、37、38、39 接頭螺母,40、41、42、43、44 管接頭,45配比閥連接體,46配比閥連接體,47混氣閥,48活動主體A,49活門彈簧A,50活門座A,51活門芯A,52活門密封墊A,53活門內芯A,54活門頭A,55閥蓋A,56壓蓋A,57氣壓膜A,58中間閥體,59氣壓膜B,60閥蓋B,61壓蓋B,62活門內芯B,63活門頭B,64活門密封墊B,65活門芯B,66活門主體B,67活門座B,68活門彈簧B,69擴ロ式接頭E,70擴ロ式接頭F,71管接頭A,72管接頭螺母A,73接頭A,74接頭B,75管接頭螺母B,76管接頭B,77擴ロ式接頭A,78擴ロ式接頭B,79擴ロ式接頭C,80擴ロ式接頭D,81閥體接頭,82接頭C、83接頭D,84混氣閥主體A,85混氣閥主體B,86混氣閥主體C,87分流管,88PLC可編程控制器,89氣體A輸送管道,90氣體B輸送管道,91混合氣輸送管道,92平衡閥A, 93平衡閥B,94配比柜A,95配比柜B,96混合氣輸出閥,97安全閥,98排污閥。
[0042](五)【具體實施方式】
[0043]附圖為本實用新型的ー種具體實施例。該實施例包括配比柜A94、配比柜B95,配比柜A94與配比柜B95通過PLC可編程控制器88連接,配比柜A94與配比柜B95均包括混氣閥47,該混氣閥47與自動配比閥9連接,該自動配比閥9與用于平衡輸入氣體壓カ的多級平衡裝置相連,該多級平衡裝置(兩元或更多元)連接輸入氣體的進氣管11,混氣閥47連接出氣接頭18,出氣接頭18分別與混合氣輸出閥96連接,從而可以實現在切換配比柜A94與配比柜B95時,保證混合氣輸出,本實用新型的可切換式氣體配比柜上還設置安全閥97、排污閥98,(配比柜A94A和B95安裝在儲氣罐上,安全閥97和排污閥98安裝在儲氣罐上),以供配比柜A94與配比柜B95使用,該多級平衡裝置可以為兩級平衡裝置12。
[0044]本實用新型的可切換式氣體配比拒,該自動配比閥9通過聯動接體20連接伺服電機24,該伺服電機24置于電機安裝支架23內,該電機安裝支架23安裝軸套22,該軸套22通過滾珠絲杠21經滾珠絲母19固定在聯動接體20上,該伺服電機24與伺服電機驅動器相連,伺服電機驅動器與PLC可編程控制器88連接,伺服電機驅動器與PLC可編程控制器88均置于系統控制箱14內,通過PLC可編程控制器88可以實現遠程操作,無需手動,PLC可編程控制器88與觸摸式顯示屏5相連接,通過觸摸式顯示屏可以實現操作人員的遠程控制和本地操作。該多級平衡裝置可以為兩級平衡裝置12,自動配比閥9包括配比閥主體A27、配比閥主體B28,配比閥主體A27置于配比閥主體B28的前面,活動閥芯26 —端通過閥芯固定螺栓25固定在聯動接體20上,另一端穿過配比閥主體A27置于配比閥主體B28的內部,配比閥主體A27內部空間的邊角為直角,該活動閥芯26的前部窄且后部寬,活動閥芯26前部靠近前端的位置及前部的末端均設置錐角,該錐角與配比閥主體A27及配比閥主體B28內部空間的邊角配合,實現氣體按配比混合,該配比閥主體A27通過氣體A輸送管道89與兩級平衡裝置12的A氣體出口連接,該配比閥主體B28通過氣體B輸送管道90與兩級平衡裝置12的B氣體出ロ連接,配比閥主體A27與配比閥主體B28均通過配比閥連接體45與混合氣輸送管道91連接,該混合氣輸送管道91連接混氣閥47,混氣閥47內設置分流管87,該分流管87分別與混合氣輸送管道91、出氣接頭18連接。PLC可編程控制器88分別連接觸摸式操作顯示屏5、電源開關6、故障報警器7、壓力傳感器13、紅外線氣體分析儀8,該壓力傳感器13分別連接A、B氣體的進氣管11、混氣閥47的出氣口,紅外線氣體分析儀8連接混氣閥47出氣口,PLC可編程控制器88與觸摸式顯示屏5連接,通過觸摸式操作顯示屏5控制PLC可編程控制器88、電源開關6、故障報警器7。配比閥主體A27與氣體A輸送管道89之間、配比閥主體B28與氣體B輸送管道90、配比閥主體A27與配比閥主體B28分別和配比閥連接體45之間、配比閥連接體45與混合氣輸送管道91之間均依次安裝管接頭40-44、過渡接頭30-34,該配比閥主體B28的后面安裝大接頭29,該大接頭29與過渡接頭30-34連接。兩級平衡裝置12包括依次連接的平衡閥A92、平衡閥B93,該平衡閥A92與平衡閥B93均包括閥蓋55,60與相應的壓蓋56,61,閥蓋55,60壓在相應的壓蓋56,61形成氣室,壓蓋56,61上分別安裝活門座50,67,活門座50,67內安裝活門芯51,65,活門芯51,65內安裝活門內芯53,62和活門密封墊52,64,該活門內芯53,62上套有活門彈簧49,68,該活門彈簧49,68的一端置于活門座50,67內部的頂端,另一端置于壓蓋56,61底面的凹槽內,該凹槽位于壓蓋56,61底面的突起上,活門內芯53,62與活門座50,67之間分別設置活門頭54,63、活門密封墊52,64,兩壓蓋56,61之間依次設置氣壓膜A57、中間閥體58、氣壓膜B59,A92分別與輸入氣體A、B的進氣管11連接,平衡閥B93分別經氣體A輸送管道89、氣體B輸送管道90與自動配比閥9連接,氣室依次經接頭73,74、管接頭71,76與自動配比閥9連接,閥蓋55,60、活門座50,67上分別設置相應的擴口式管接頭69-70,77-80,即該平衡閥A92與平衡閥B93均包括閥蓋A55與相應的壓蓋A56、閥蓋B60與相應的壓蓋B61,閥蓋A55壓在相應的壓蓋A56形成氣室A,閥蓋B60壓在相應的壓蓋B61形成氣室B,壓蓋A56與壓蓋B61上分別安裝活門座A50、活門座B67,活門座A50內安裝活門芯A51,活門座B67內安裝活門芯B65,活門芯A51內安裝活門內芯A53,活門芯B65內安裝活門內芯B62,該活門內芯A53上套有活門彈簧A49,活門內芯B62上套有活門彈簧B68,該活門彈簧49,68的一端分別置于活門座A50、活門座B67內部頂端,另一端分別置于壓蓋A56、壓蓋B61底面的凹槽內,該凹槽分別位于壓蓋A56、壓蓋B61底面的突起上,活門內芯A53與活門座A50之間分別設置活門頭A54、活門密封墊A52,活門內芯B62與活門座B67之間設置活門頭B63、活門密封墊B64,壓蓋A56與壓蓋B61之間依次設置氣壓膜A57、中間閥體58、氣壓膜B59,平衡閥A92分別與輸入氣體A、B的進氣管11連接,平衡閥B93分別經氣體A輸送管道89、氣體B輸送管道90與自動配比閥連接9,氣室A依次經接頭A73、管接頭A71與自動配比閥9連接,氣室B依次經接頭B74、管接頭B76與自動配比閥9連接,閥蓋A55、閥蓋B60、活門座A50、活門座B67上分別設置相應的擴口式管接頭69-70,77-80,擴口式接頭80分別和I號調節閥15、2號調節閥16連接。I號調節閥15和平衡閥A92上的閥體接頭81相連接,2號調節閥16和平衡閥B93上的閥體接頭81相連接.分別通過調節I號調節閥15和2號調節閥16的控制氣體壓力輸入到平衡閥92和平衡閥B93的中間閥體58內部。控制氣體通過中間閥體58兩側的孔帶動兩側的平衡閥氣壓膜A57、氣壓膜B59向外擴張,經活門彈簧49,68帶動活門芯51,65及其活門內芯53,62和活門密封墊52,經活門彈簧49,68帶動活門芯51,65及其活門內芯53,62和活門密封墊52,64分別向兩側移動產生空隙,氣體A、B分別通過相應的進氣口經空隙進入相應氣室平衡壓力后,輸出。本實用新型的全自動配比柜,還包括控制壓力表1、A氣體輸入壓力表2、B氣體輸入壓力表3、混合氣體輸出壓力表4、調節閥15,16、電磁閥17,其中,控制壓力表I與平衡閥B93 (平衡閥B上的擴口式接頭連接)連接,A氣體輸入壓力表2、B氣體輸入壓力表3與相應的進氣管11連接,混合氣體輸出壓力表4與混氣閥47輸出氣體連接,壓力傳感器13與平衡閥A92的輸入氣體相連,還與混氣閥47的輸出氣體連接,紅外線氣體分析儀8也與混氣閥47的輸出氣體連接,電磁閥17安裝在混氣閥47與出氣接頭18之間,為了在現場觀察時更直觀,所以設置了控制壓力表1、A氣體輸入壓力表2、B氣體輸入壓力表3、混合氣體輸出壓力表4,與混氣閥47輸出氣體連接的紅外線氣體分析儀8與壓力傳感器13最好與電磁閥17后面的出氣接頭18連接。氣體A輸送管道89、氣體B輸送管道90 (尤其是平衡閥A92出氣口與平衡閥B93的進氣口之間的氣體A輸送管道89、氣體B輸送管道90)上均設置單向閥10,該單向閥10的設置是為了防止氣體逆流,A氣體、B氣體在進入自動配比閥9之前均是分開輸送的,在進氣管11與自動配比閥9之間,分別用于連接兩級平衡裝置12的管道分為氣體A輸送管道89,氣體B輸送管道90,自動配比閥9與出氣接頭18之間的用于輸送混合氣體的管道為混合氣輸送管道91。混氣閥47通過接頭C82與混合氣輸送管道91連接,經接頭D83與出氣接頭18相連,該混氣閥47包括混氣閥主體A84,混氣閥主體B85,混氣閥主體C86,分流管87可以置于混氣閥主體A84內,經過自動配比閥9混合配比的氣體進入混氣閥47,經截流、然后分流,再匯流實現混合氣體的進一步混合,保證混合氣的穩定性,精確性。若是測定的壓力出現異常,通過壓力傳感器13檢測進氣管的輸入氣體a和氣體b的壓力。紅外線氣體分析儀8檢測混合氣的配比含量值,若是測定的壓力和配比含量值出現異常,則壓力傳感器13、紅外線氣體分析儀8將信號傳給PIC控制器88,由PIC控制器88將現在正使用的配比柜替換為另一臺。
[0045]在自動配比閥9內,當氣體A、B分別通過管接頭41,40同時供氣,這是,活動閥芯26與配比閥主體A27是密封的,氣體A進入不了過渡接頭34,同時氣體B可以通過過渡接頭32,管接頭43輸出,這時自動配比閥9輸出氣體為100%的氣體B。
[0046]根據設定的參數伺服電機24按照觸摸式顯示屏5的指令旋轉,通過滾珠絲杠21將活動閥芯26向大接頭29方向移動,活動閥芯26與配比閥主體A27的密封面(活動閥芯26上的錐角與配比閥主體A27內部空間的邊角形成的密封面)開啟縫隙,氣體A通過所開啟的縫隙進入過渡接頭32輸出,縫隙開啟的大小決定了氣體A輸出的大小,(相應的活動閥芯26的移動可以相應的調節其錐角與配比閥主體B28內空間邊角的縫隙大小,如圖13,14所示),氣體A、B根據體積比的方式匯流氣體,實現按配比混合氣體。
[0047]PLC可編程控制器88聯動伺服電機24及驅動式配比閥結構,實現混合氣體的全自動配比,設有紅外線氣體分析儀器8及兩級或者多級壓力平衡裝置,提高混合氣體配比精度,使配比精度可達±0.1%。
[0048]本實用新型的有益效果是:本實用新型裝置提供一種可自動化調整配比配比柜94,95,配比高精度的兩元及多元混合氣體,以滿足不同領域的工藝生產要求,PLC控制器88聯動伺服電機24及驅動式配比閥結構,實現混合氣體的全自動配比;設有紅外線在線分析儀器8及兩級或者多級平衡裝置,提高混合氣體配比精度,使配比精度可達±0.1%;將配比柜原有的分體式結構設計為一體式,提高廠區及實驗室的空間利用率,使配比柜94,95的攜帶和使用更加方便;進口壓力、出口壓力設定報警范圍,可實現智能報警功能;配比裝置采用純機械部件,使用更加安全可靠。
【權利要求】
1.一種可切換式氣體配比柜,其特征在于:包括配比柜A、配比柜B,配比柜A與配比柜B通過PLC可編程控制器連接。
2.根據權利權利要求1所述的可切換式氣體配比柜,其特征在于:配比柜A、配比柜B均包括依次連接的多級平衡裝置、自動配比閥、混氣閥,該多級平衡裝置連接輸入氣體的進氣管,混氣閥連接出氣接頭,該自動配比閥通過聯動接體連接伺服電機,該伺服電機與伺服電機驅動器相連,伺服電機驅動器與PLC可編程控制器連接,PLC可編程控制器與觸摸式顯示屏連接。
3.根據權利要求1或2所述的可切換式氣體配比柜,其特征在于:多級平衡裝置為兩級平衡裝置,自動配比閥包括配比閥主體A、配比閥主體B,配比閥主體A置于配比閥主體B的前面,活動閥芯一端固定在聯動接體上,另一端穿過配比閥主體A置于配比閥主體B的內部,配比閥主體A內部空間的邊角為直角,該活動閥芯的前部窄且后部寬,活動閥芯前部靠近前端的位置及前部的末端均設置錐角,該配比閥主體A通過氣體A輸送管道與兩級平衡裝置的A氣體出ロ連接,該配比閥主體B通過氣體B輸送管道與兩級平衡裝置的B氣體出ロ連接,配比閥主體A與配比閥主體B均通過配比閥連接體與混合氣輸送管道連接,該混合氣輸送管道連接混氣閥,混氣閥內設置分流管,該分流管分別與混合氣輸送管道、出氣接頭連接。
4.根據權利要求1或2所述的可切換式氣體配比柜,其特征在于:PLC可編程控制器分別連接電源開關、故障報警器、壓カ傳感器、紅外線氣體分析儀,該壓力傳感器分別連接A、B氣體的進氣管、混氣閥的出氣ロ,紅外線氣體分析儀連接混氣閥出氣ロ。
5.根據權利要求4所述的可切換式氣體配比柜,其特征在于:配比閥主體A與氣體A輸送管道之間、配比閥主體B與氣體B輸送管道、配比閥主體A與配比閥主體B分別和配比閥連接體之間、配比閥連接體與混合氣輸送管道之間均依次安裝管接頭、過渡接頭,該配比閥主體B的后面安裝大接頭,該大接頭與過渡接頭連接。
6.根據權利要求5所述的·可切換式氣體配比柜,其特征在于:兩級平衡裝置包括依次連接的平衡閥A、平衡閥B,該平衡閥A與平衡閥B均包括閥蓋與相應的壓蓋,閥蓋壓在相應的壓蓋形成氣室,壓蓋上分別安裝活門座,活門座內安裝活門芯,活門芯內安裝活門內芯和活門密封墊,該活門內芯上套有活門彈簧,該活門彈簧的一端置于活門座內部的頂端,另ー端置于壓蓋底面的凹槽內,該凹槽位于壓蓋底面的突起上,活門內芯與活門座之間分別設置活門頭、活門密封墊,兩壓蓋之間依次設置氣壓膜A、中間閥體、氣壓膜B,平衡閥A分別與輸入氣體A、B的進氣管連接,平衡閥B分別經氣體A輸送管道、氣體B輸送管道與自動配比閥連接,氣室依次經接頭、管接頭與自動配比閥連接,閥蓋、活門座上分別設置相應的擴ロ式管接頭。
7.根據權利要求6所述的可切換式氣體配比柜,其特征在于:還包括控制壓力表、A氣體輸入壓力表、B氣體輸入壓カ表、混合氣體輸出壓カ表、調節閥、電磁閥,其中,控制壓力表與平衡閥B連接,A氣體輸入壓カ表、B氣體輸入壓カ表與相應的進氣管連接,混合氣體輸出壓カ表與混氣閥輸出氣體連接,平衡閥A與平衡閥B均與調節閥連接,電磁閥安裝在混氣閥與出氣接頭之間。
8.根據權利要求6或7所述的可切換式氣體配比柜,其特征在于:氣體A輸送管道、氣體B輸送管道上均設置單向閥。
9.根據權利要求1或2或5或6或7所述的可切換式氣體配比柜,其特征在于:出氣接頭分別與混合氣輸出閥 連接 。
【文檔編號】B01F5/06GK203379816SQ201320310004
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年5月31日 優先權日:2013年5月31日
【發明者】趙永文, 趙厚勇, 吳田洪, 崔靖福 申請人:濟南華信自動化工程有限公司
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