專利名稱：185納米紫外光與膜脫氣相結合的除超純水中有機物方法
技術領域：
本發明涉及一種將185納米紫外有機物分解器和膜脫氣裝置相結合制造有機物含量低的超純水的工藝方法。
超純水主要用于大規模集成電路的生產和很多其他電子通訊器材制造業。超純水中總有機物含量，通常以總有機碳(TOC)含量來衡量，保證超純水中TOC指標對于超純水制造工藝通常是有挑戰性的。
因為185納米紫外光可以打斷有機物中大多數化學鍵，所以可以用185納米紫外光分解純水中殘留有機物。純水中殘留有機物在185納米紫外光作用下分解后可能以三種形式存在，即帶電小分子有機物、不帶電小分子有機物和被氧化成二氧化碳。
已知技術中在185納米紫外后安裝連續電除鹽裝置或混合離子交換裝置以除去被分解的有機物。但是連續電除鹽裝置或混合離子交換裝置只對清除帶電有機物和二氧化碳有效，卻不能清除不帶電小分子有機物。因此，不能使有機物含量降低到較高水準。
本發明的目的是提供一種有機物含量低的超純水工藝，該工藝簡便，效果好。
為實現上述目的，本發明采用以下技術方案這種185納米紫外光與膜脫氣相結合的除超純水中有機物方法，它包括水凈化處理工藝，所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。
本發明人利用了科學知識，即不帶電小分子有機物具有揮發性，而脫氣膜膜可以進行氣水分離等技術方案，并將這些技術方案應用到超純水制造工藝中，所以在185納米紫外裝置后安裝膜脫氣裝置和連續電除鹽裝置或混合離子交換裝置，利用膜脫氣裝置脫出小分子不帶電有機物和大部分的二氧化碳，再用連續電除鹽裝置或混合離子交換裝置清除帶電有機物和殘余二氧化碳。
另外，本發明中使用過的脫氣裝置以脫氣裝置為佳，在脫氣過程中純水不應該與空氣接觸。185納米紫外裝置只適用于經過凈化處理，有機物含量較低的純化水，純化水中總有機碳含量小于500ppb。本實施中，膜脫氣裝置為已有產品，(見US5938922)，工藝條件中，真空度為＜50mmHg，其余為常規操作。
實施例一城市自來水經過過濾、活性炭吸附器、雙級反滲透、連續電除鹽、185納米紫外裝置、精密混床，產品水總有機碳含量穩定值為12-26ppb。同源地下水經過過濾、雙級反滲透、連續電除鹽、185納米紫外裝置、膜脫氣裝置、精密混床。產品水總有機碳含量穩定值為0.1-0.2ppb。
實施例二地下水自來水經過過濾、單級反滲透、連續電除鹽、185納米紫外裝置、精密混床，產品水總有機碳含量穩定值為30-35ppb。同源地下水經過過濾、單級反滲透、185納米紫外裝置、膜脫氣裝置、連續電除鹽、精密混床。產品水總有機碳含量穩定值為0.5±0.1ppb。
優點本發明中在185納米紫外線工序之后，為膜脫氣處理工序，從中可以去除小分子不帶電有機物和大部分二氧化碳，從而明顯降低了超純水中總有機碳含量，擴大了超純水的用途，滿足不同需求，而且工藝簡便。
權利要求
1.一種185納米紫外光與膜脫氣相結合的除超純水中有機物方法，它包括水凈化處理工藝，其特征在于所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。
全文摘要
一種185納米紫外光與膜脫氣相結合的除超純水中有機物方法，它包括水凈化處理工藝，其特征在于所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。優點本發明中在185納米紫外線工序之后，為膜脫氣處理工序，從中可以去除小分子不帶電有機物和大部分二氧化碳，從而明顯降低了超純水中總有機碳含量，擴大了超純水的用途，滿足不同需求，而且工藝簡便。
文檔編號C02F9/08GK1438188SQ0210369
公開日2003年8月27日 申請日期2002年2月10日 優先權日2002年2月10日
發明者聞瑞梅, 孟廣禎 申請人:孟廣禎