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一種解決基板搬送小車通用性的控制方法

文檔序號(hao):9209888閱(yue)讀:195來(lai)源(yuan):國知局(ju)
一種解決基板搬送小車通用性的控制方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及真空鍍膜領域,尤其是一種解決基板搬送小車通用性的控制方法。
【背景技術】
[0002]目前,通常采用搬送小車來將基板搬送至真空鍍膜室內以進行后續鍍膜作業,但搬送小車會因為損壞、陳舊或其他一些設備問題而需要更替或換用。此時,由于每輛搬送小車的零件在加工和組裝時的誤差不同,因此小車的搬送精度也就帶來了一定的偏差,該偏差會對后續設備的運行產生不良影響,容易造成設備過載報警及硬件損傷,大大降低了設備自動化效率。

【發明內容】

[0003]本發明的目的是根據上述現有技術的不足,提供了一種解決基板搬送小車通用性的控制方法,通過對基板搬送小車的前后位置進行檢測并依此對基板搬送位置進行補償,從而解決搬送小車共用性問題。
[0004]本發明目的實現由以下技術方案完成:
一種解決基板搬送小車通用性的控制方法,所述基板搬送小車用于將基板搬送到機械臂的抓取位置處,其特征在于:所述控制方法至少包括以下步驟:
在機械臂的抓取位置之前安裝光纖傳感器,所述光纖傳感器用于發出開關量信號至一控制器,所述控制器通過記錄所述基板搬送小車從原點位置至所述光纖傳感器的安裝位置時其馬達的坐標變化來計算所述基板搬送小車的行駛距離;
將該距離與所述基板搬送小車的原點位置和所述光纖傳感器的安裝位置之間的基準距離進行比較,計算差值;
利用所述差值對所述基板搬送小車所搬送的基板的坐標進行補償修正。
[0005]所述基準距離是通過測量一基準小車與所述光纖傳感器的安裝位置之間的距離來得到的,所述基準小車是指一符合設計圖紙要求尺寸誤差并在當前機臺搬送正常的基板搬送小車。
[0006]經補償修正后的基板坐標對應于所述機械臂的抓取位置。
[0007]所述基板搬送小車在接近所述光纖傳感器之前以第一速度運行,經過光纖傳感器時以第二速度運行,之后再次以第一速度運行至所述機械臂的抓取位置并返回到所述基板搬送小車的原點位置;所述第一速度大于所述第二速度。
[0008]本發明的優點是:通過對基板搬送小車的前后位置進行檢測實現運料小車的共用性,提高搬送位置的準確性,降低搬運故障率,電氣設計增加對運料小車前后位置檢測,通過軟件進行運料小車自動位置補償并實時更新位置坐標,從而解決運料小車共用性問題,使得新的運料小車位置下更匹配機械臂對位置的要求。能自動修正基板搬送小車的搬送位置,以保證后續設備的正常運行,避免設備過載報警及硬件損傷;提高了設備自動化效率;結構簡單合理,實用性強,適于推廣。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發明的使用結構示意圖。
【具體實施方式】
[0010]以下結合附圖通過實施例對本發明特征及其它相關特征作進一步詳細說明,以便于同行業技術人員的理解:
如圖1所示,圖中標記1-6分別為:基板搬送小車1、基板2、基板搬送小車原點3、光纖傳感器4、導軌5、機械臂6。
[0011]實施例:本實施例中基板搬送小車控制系統通過對基板搬送小車的前后位置進行檢測并依此對基板搬送位置進行補償。如圖1所示,基板搬送小車I可通過驅動裝置在導軌5上運行以將其承載的若干基板2搬送到機械臂6的抓取位置處。作為光纖傳感器的光纖傳感器4安裝在位于機械臂6之前,即基板搬送小車I先經過光纖傳感器4后再達到機械臂6的抓取位置。
[0012]本實施例的控制方法包括以下步驟:
(I)計算作為基準的基板搬送小車I從基板搬送小車原點3位置到光纖傳感器4位置之間的距離,并以坐標形式對其進行記錄,并記錄保存基準坐標設定值。作為基準的基板搬送小車I符合設計圖紙要求尺寸誤差,并在當前機臺搬送正常。由于本實施例的控制方法是用于解決不同基板搬送小車I由于尺寸誤差所引起的共用性問題,因此任意滿足符合設計圖紙要求并在當前機臺搬送正常的基板搬送小車I均可作為基準。
[0013](2)對其他基板搬送小車從基板搬送小車原點3到光纖傳感器4的安裝位置之間的距離進行測量并記錄,同樣以坐標形式進行記錄,并將當前數據與基準坐標進行比較。基板搬送I的距離測量時通過將光纖傳感器4與基板搬送小車I的馬達的位置結合實現的;當基板搬送小車I從其原點位置到光纖傳感器4的安裝位置時,光纖傳感器4傳送開關量信號給控制器,控制器對當前基板搬送小車I的馬達行駛坐標進行記錄并與原點位置的基板搬送小車I的馬達坐標進行比較,從而計算出基板搬送小車I的行駛距離。
[0014](3)將比較的差值對搬送數據進行自動補償基板坐標位置,即對基板搬送坐標進行修正,得到實際的基板搬送坐標。經補償修正后的基板坐標對應于機械臂6的抓取位置,即使得機械臂6能夠準確抓取基板搬送小車I上的基板2。
[0015]為提高效率,在基板搬送小車I的偏差檢測過程中實現了變速運動,才得以同時滿足了對補償過程的時間要求及對光纖傳感器4測量精度的雙重要求。具體過程為,利用控制器連接控制基板搬送小車I的驅動裝置以對其在導軌5上的運行速度進行調控。例如,基板搬送小車I在接近光纖傳感器4之前以50mm/s的第一速度高速運行,經過光纖傳感器4時以lmm/s的第二速度低速運行,之后再次以50mm/s的第一速度高速運行至機械臂6的抓取位置并高速返回至基板搬送小車原點3。上述運動過程避免了基板搬送小車I為保證檢測精度而以單一低速運行的弊病,同時實現了本實施例對時間和測量精度的雙重要求。基板搬送小車第一速度和第二速度都是根據小車本身的性能以及實際工作中的各因素所進行的選擇;在使用時,第一速度應大于第二速度,但兩者的具體取值可根據實際設計進行選擇。
[0016]本實施例在具體實施時,具有以下步驟:
(I)在搬送開始前,對光纖傳感器4與基板搬送小車I的前端面之間距離進行兩次檢測并記錄檢測值。
[0017](2)兩次檢測值之間偏差大于2_時,對光纖傳感器4與基板搬送小車I的前端面之間的距離進行重新檢測。
[0018](3)對兩次檢測值求平均值,并與基準值進行比較。
[0019](4)與基準比較的偏差值>5_提出警告,需確認基板搬送小車I是否準確安裝在基板搬送小車原點3上。
[0020](5)與基準比較的偏差值<5mm時,將檢測值與基準值進行比較,計算得出補償值。
[0021](6)因為“作為基準的基板搬送小車前端面到光纖傳感器4之間的距離”與“作為基準的基板搬送小車上的基板的坐標”之間存在對應關系。因此,利用補償值對基板搬送小車I上的基板2的坐標進行修正補償,從而使得機械臂6能夠準確抓取基板搬送小車I上的基板2。
[0022]假定作為基準的基板搬送小車的搬送坐標為1300,第一次檢測到該基準搬送小車自其原點位置到光纖傳感器4的安裝位置之間的行駛距離為1700,第二次檢測到基準搬送小車自其原點位置到光纖傳感器4的安裝位置之間的行駛距離為1700。
[0023]若有一臺基板搬送小車第一次和第二次檢測到自其原點位置到光纖傳感器4的安裝位置之間的行駛距離為1703,則與基準小車行駛距離之間的差值為+3,則該臺基板搬送小車的搬送坐標為1300+3。修正后的搬送坐標對應于機械臂6的抓取位置,使機械臂6可以準確抓取基板搬送小車上的基板。
[0024]雖然以上實施例已經參照附圖對本發明目的的構思和實施例做了詳細說明,但本領域普通技術人員可以認識到,在沒有脫離權利要求限定范圍的前提條件下,仍然可以對本發明作出各種改進和變換,如:用于7光纖傳感器的種類、基板搬送小車I的結構、大小等,故在此不--贅述。
【主權項】
1.一種解決基板搬送小車通用性的控制方法,所述基板搬送小車用于將基板搬送到機械臂的抓取位置處,其特征在于:所述控制方法至少包括以下步驟: 在機械臂的抓取位置之前安裝光纖傳感器,所述光纖傳感器用于發出開關量信號至一控制器,所述控制器通過記錄所述基板搬送小車從原點位置至所述光纖傳感器的安裝位置時其馬達的坐標變化來計算所述基板搬送小車的行駛距離;將該距離與所述基板搬送小車的原點位置和所述光纖傳感器的安裝位置之間的基準距離進行比較,計算差值;利用所述差值對所述基板搬送小車所搬送的基板的坐標進行補償修正。2.根據權利要求1所述的一種解決基板搬送小車通用性的控制方法,其特征在于:所述基準距離是通過測量一基準小車與所述光纖傳感器的安裝位置之間的距離來得到的,所述基準小車是指一符合設計圖紙要求尺寸誤差并在當前機臺搬送正常的基板搬送小車。3.根據權利要求1所述的一種解決基板搬送小車通用性的控制方法,其特征在于:經補償修正后的基板坐標對應于所述機械臂的抓取位置。4.根據權利要求1所述的一種解決基板搬送小車通用性的控制方法,其特征在于:所述基板搬送小車在接近所述光纖傳感器之前以第一速度運行,經過光纖傳感器時以第二速度運行,之后再次以第一速度運行至所述機械臂的抓取位置并返回到所述基板搬送小車的原點位置;所述第一速度大于所述第二速度。
【專利摘要】本發明涉及真空鍍膜領域,尤其是一種解決基板搬送小車通用性的控制方法,其特征在于:所述控制方法至少包括以下步驟:在機械臂的抓取位置之前安裝光纖傳感器,所述光纖傳感器測量所述基板搬送小車的原點位置與其安裝位置之間的距離;將該距離與所述基板搬送小車的原點位置和所述光纖傳感器的安裝位置之間的基準距離進行比較,計算差值;利用所述差值對所述基板搬送小車所搬送的基板的坐標進行補償修正。本發明的優點是:通過對基板搬送小車的前后位置進行檢測實現運料小車的共用性,提高搬送位置的準確性,降低搬運故障率,電氣設計增加對運料小車前后位置檢測,通過軟件進行運料小車自動位置補償并實時更新位置坐標,解決運料小車共用性問題。
【IPC分類】B65G43/00, B65G35/00, B65G49/06
【公開號】CN104925473
【申請號】CN201510283840
【發明人】王德智, 余正權, 余海春, 張奇, 展大偉
【申請人】光馳科技(上海)有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年5月29日
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