劃線裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種玻璃基板、半導體基板等脆性材料基板的劃線裝置。
【背景技術】
[0002]通常，在從大面積的脆性材料基板切割出單位制品的步驟中，進行如下劃線步驟:通過使切割輪(也稱為劃線輪)相對于脆性材料基板的表面一面沿劃線預定線壓接一面相對移動，而形成相互正交的X方向及Y方向的劃線。其后，進行如下分斷步驟，即通過沿該劃線施加外力使基板彎曲，而將脆性材料基板完全分斷為一個個單位顯示面板。
[0003]例如專利文獻I中公開一種從脆性材料基板的下表面進行所述劃線步驟的劃線
>J-U ρ?α裝直。
[0004]如圖6所示，該劃線裝置隔開間隔P而串列地配置有一對輸送機21a、21b，這些輸送機21a、21b載置并搬送脆性材料基板Μ,在該輸送機21a、21b之間,配置有用來對脆性材料基板M的背面加工劃線的切割輪22、以及支撐該切割輪22的劃線頭23。而且，利用支承臺24支承脆性材料基板M的上表面,并使切割輪22 —面壓抵于脆性材料基板M的背面一面向X方向(圖6的前后方向)滾動，由此如圖7(a)所示般對脆性材料基板M的背面加工X方向的劃線SI。其后，使脆性材料基板M旋轉90度并與所述同樣地使切割輪滾動，從而如圖7(b)所示般加工Y方向的劃線S2。
[0005]如此般形成有X方向及Y方向的劃線S1、S2的脆性材料基板M被輸送至分斷裝置且從各劃線分斷，在取出單位制品Ml之后，端緣部的端材區域M2被廢棄。
[0006][【背景技術】文獻]
[0007][專利文獻]
[0008][專利文獻I]日本專利特開號公報

【發明內容】

[0009][發明所要解決的問題]
[0010]在所述劃線裝置中，為了對脆性材料基板M從下表面側進行劃線，必須將具備切割輪22的劃線頭23配置在上游側的輸送機21b與下游側的輸送機21a之間。然而，劃線頭23因在內部組裝有升降驅動部等而在縮小尺寸(體積)的方面存在極限，因此，輸送機21a、21b的間隔P必然會變大。如果該間隔P較大，則如圖8(a)所示，當將脆性材料基板M從上游側輸送機21b交付至下游側輸送機21a時，有時會產生基板M的前端接觸于下游側輸送機21a的前端部分而損傷、或者基板M的方向偏移等不良情況。
[0011]尤其是近年來，基板越來越薄板化、小型化，在基板的厚度較薄的情況下，因基板的前端部分在間隙P內有向下方下垂的傾向，因此所述不良情況的產生尤其成為問題。另夕卜，在基板的尺寸較小的情況下，如圖8(b)所示般也會產生脆性材料基板M在間隔P內傾斜、或掉落等不良情況。
[0012]因此，本發明的目的在于消除所述不良情況，而提供一種即便是薄板或小尺寸的基板也能從該基板的下表面精度良好地進行劃線的劃線裝置。
[0013][解決問題的技術手段]
[0014]為了解決所述問題而完成的本發明的劃線裝置，將脆性材料基板載置在隔開間隔而配置的一對支撐機構上，從所述間隔的下方使切割輪滾動而對該脆性材料基板的下表面進行劃線，且所述劃線裝置包括:切割輪支撐體，在上端部具備所述切割輪；及劃線頭，具有使該切割輪支撐體升降的驅動部；且設為如下構成:所述切割輪支撐體的沿所述間隔的寬度方向的尺寸以成為所述間隔的范圍內的方式形成，且以如下方式設定所述切割輪支撐體的長度，即在所述切割輪上升至對所述脆性材料基板的下表面進行劃線的位置的狀態下，所述劃線頭的上端位于不接觸于所述支撐機構的下部的位置。
[0015]所述支撐機構優選由載置并搬送所述脆性材料基板的上游側的輸送機與下游側的輸送機形成。
[0016][發明的效果]
[0017]根據本發明，切割輪支撐體的寬度尺寸比脆性材料基板的支撐機構的間隔窄，而且，切割輪支撐體形成得較長，以在切割輪上升至劃線位置時劃線頭的上端外緣部分位于不接觸于所述支撐機構的下部的位置，因此，可使支撐機構靠近至與切割輪支撐體接近的位置而形成。由此，存在如下效果:即便為小尺寸的脆性材料基板，也能消除該基板在間隔內傾斜或向間隔內掉落，并且在為較薄的基板的情況下，可緩解該基板在間隔內下垂等現象。
【附圖說明】
[0018]圖1是表示本發明的劃線裝置的一例的局部切除立體圖。
[0019]圖2是表示包含切割輪的劃線頭部分的放大立體圖。
[0020]圖3是表示劃線頭部分的局部剖面側視圖。
[0021]圖4是表示劃線時的狀態的局部剖面側視圖。
[0022]圖5是表示本發明的劃線裝置的另一實施例的主要部分的側視圖。
[0023]圖6是表示以往的劃線裝置的一例的側視圖。
[0024]圖7(a)、(b)是表示對脆性材料基板加工劃線的順序的俯視圖。
[0025]圖8(a)、(b)是表示通過以往的劃線裝置產生的不良情況的說明圖。
【具體實施方式】
[0026]以下，基于圖1?4對本發明的劃線裝置的詳細情況進行說明。
[0027]劃線裝置A具備載置大面積的脆性材料基板M的一對支撐機構I。在本實施例中，作為該支撐機構I是由載置脆性材料基板M并向圖1的Y方向搬送的上游側輸送機Ib及下游側輸送機Ia形成。
[0028]上游側輸送機Ib及下游側輸送機Ia在同一平面上沿Y方向隔開間隔P而串列地配置，該間隔P是用來配置下述的切割輪2及導輥6以及其等的支撐體3、7。上游側輸送機Ib及下游側輸送機Ia設為皮帶在輪體間旋動的帶式輸送機即可。
[0029]在上游側輸送機Ib與下游側輸送機Ia之間，配置有用來對脆性材料基板M的背面加工X方向及Y方向的劃線S1、S2(參照圖7)的切割輪2。該切割輪2安裝在沿垂直方向延伸的切割輪支撐體3的上端部，切割輪支撐體3與下述的導輥支撐體7 —起被可升降地保持于內置有升降驅動部4的劃線頭5。
[0030]本實施例中，在切割輪2的滾動方向的前后的位置，保持在導輥支撐體7、7上的導棍6、6配置在一條直線上。該導棍6、6以棍面位于較切