本(ben)申(shen)請涉及(ji)多晶硅生產(chan)，尤其(qi)是涉及(ji)一種多晶硅生產(chan)系統。

背景技術：

1、目前多(duo)晶硅(gui)(gui)生(sheng)產工(gong)藝(yi)主要是(shi)(shi)利用(yong)三氯氫硅(gui)(gui)(tcs)和氫氣進行還(huan)原反(fan)應(ying)，還(huan)原尾(wei)氣中通常含有未反(fan)應(ying)完(wan)全的三氯氫硅(gui)(gui)。相關技(ji)術中，還(huan)原尾(wei)氣直接進入尾(wei)氣回收(shou)裝置(zhi)進行冷凝(ning)后經過塔分(fen)離，以供循環(huan)使用(yong)。但是(shi)(shi)這種工(gong)藝(yi)存(cun)在著三氯氫硅(gui)(gui)利用(yong)率(約10％-12％)較低的問題，導致整體生(sheng)產成(cheng)本較高，投資較高。

技術實現思路

1、本申請提供一種多晶硅生產系統，以解決或者至少(shao)部分(fen)上緩(huan)解相(xiang)關技(ji)術中的(de)三氯氫硅利用率較低的(de)問題。

2、本申請的一(yi)個(ge)(ge)或者多(duo)個(ge)(ge)實施(shi)例提(ti)供一(yi)種多(duo)晶硅(gui)生產系統(tong)，采用如下的技術方案為：

3、一(yi)(yi)種多晶硅生(sheng)產系統，包括(kuo)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)還(huan)原(yuan)(yuan)爐(lu)單(dan)(dan)元、第(di)(di)(di)二(er)(er)還(huan)原(yuan)(yuan)爐(lu)單(dan)(dan)元和(he)尾(wei)(wei)(wei)氣回收(shou)單(dan)(dan)元，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)還(huan)原(yuan)(yuan)爐(lu)單(dan)(dan)元包括(kuo)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)入(ru)料(liao)管(guan)道(dao)(dao)和(he)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)尾(wei)(wei)(wei)氣管(guan)道(dao)(dao)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)還(huan)原(yuan)(yuan)爐(lu)單(dan)(dan)元包括(kuo)第(di)(di)(di)二(er)(er)入(ru)料(liao)管(guan)道(dao)(dao)和(he)第(di)(di)(di)二(er)(er)尾(wei)(wei)(wei)氣管(guan)道(dao)(dao)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)尾(wei)(wei)(wei)氣管(guan)道(dao)(dao)分別與(yu)所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)入(ru)料(liao)管(guan)道(dao)(dao)和(he)所(suo)述(shu)(shu)尾(wei)(wei)(wei)氣回收(shou)單(dan)(dan)元連(lian)接，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)尾(wei)(wei)(wei)氣管(guan)道(dao)(dao)分別與(yu)所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)入(ru)料(liao)管(guan)道(dao)(dao)和(he)所(suo)述(shu)(shu)尾(wei)(wei)(wei)氣回收(shou)單(dan)(dan)元連(lian)接。

4、在(zai)其中一(yi)個(ge)實施例(li)中，所(suo)(suo)述(shu)多(duo)晶硅生產系統還包括除塵(chen)(chen)單元(yuan)，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)一(yi)尾氣管道(dao)通過(guo)所(suo)(suo)述(shu)除塵(chen)(chen)單元(yuan)與所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)二入料管道(dao)連接，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)二尾氣管道(dao)通過(guo)所(suo)(suo)述(shu)除塵(chen)(chen)單元(yuan)與所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)一(yi)入料管道(dao)連接。

5、在其中一(yi)個實(shi)施例中，所(suo)述多晶(jing)硅(gui)生(sheng)產系(xi)統還包括預熱器，所(suo)述第一(yi)尾(wei)氣管(guan)道(dao)和所(suo)述第二尾(wei)氣管(guan)道(dao)分(fen)別通過所(suo)述預熱器與所(suo)述尾(wei)氣回收單元連接。

6、在其中(zhong)一個實施例中(zhong)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)預(yu)(yu)熱(re)器包(bao)括氫氣(qi)(qi)(qi)預(yu)(yu)熱(re)器和三氯氫硅(gui)預(yu)(yu)熱(re)器，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)管道和所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)二尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)管道分(fen)別與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)氫氣(qi)(qi)(qi)預(yu)(yu)熱(re)器連(lian)接(jie)(jie)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)氫氣(qi)(qi)(qi)預(yu)(yu)熱(re)器與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)三氯氫硅(gui)預(yu)(yu)熱(re)器連(lian)接(jie)(jie)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)三氯氫硅(gui)預(yu)(yu)熱(re)器與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)回收(shou)單元連(lian)接(jie)(jie)。

7、在其中一(yi)(yi)個(ge)(ge)實施(shi)例中，所述第(di)一(yi)(yi)還(huan)原(yuan)爐單元包括一(yi)(yi)個(ge)(ge)或多個(ge)(ge)第(di)一(yi)(yi)還(huan)原(yuan)爐，多個(ge)(ge)所述第(di)一(yi)(yi)還(huan)原(yuan)爐并聯設置，所述第(di)一(yi)(yi)還(huan)原(yuan)爐分別(bie)與所述第(di)一(yi)(yi)入料管(guan)道和所述第(di)一(yi)(yi)尾氣(qi)管(guan)道連(lian)接(jie)。

8、在其中一(yi)(yi)(yi)個(ge)實(shi)施例中，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)尾氣(qi)管(guan)(guan)道(dao)(dao)包括第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)主(zhu)管(guan)(guan)道(dao)(dao)和第(di)(di)(di)二(er)(er)主(zhu)管(guan)(guan)道(dao)(dao)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)主(zhu)管(guan)(guan)道(dao)(dao)與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)預熱(re)器連接(jie)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)主(zhu)管(guan)(guan)道(dao)(dao)與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)入料管(guan)(guan)道(dao)(dao)連接(jie)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)還原(yuan)爐單元通過第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)支(zhi)管(guan)(guan)與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)主(zhu)管(guan)(guan)道(dao)(dao)連接(jie)，通過第(di)(di)(di)二(er)(er)支(zhi)管(guan)(guan)與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)主(zhu)管(guan)(guan)道(dao)(dao)連接(jie)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)支(zhi)管(guan)(guan)上設置(zhi)有第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)閥，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)支(zhi)管(guan)(guan)上設置(zhi)有第(di)(di)(di)二(er)(er)閥。

9、在其中一個(ge)實施例中，所(suo)述第(di)(di)二還原爐(lu)(lu)單元(yuan)包括一個(ge)或多(duo)個(ge)第(di)(di)二還原爐(lu)(lu)，多(duo)個(ge)所(suo)述第(di)(di)二還原爐(lu)(lu)并聯(lian)設置(zhi)，所(suo)述第(di)(di)二還原爐(lu)(lu)分(fen)別與所(suo)述第(di)(di)二入(ru)料管道和所(suo)述第(di)(di)二尾(wei)氣管道連接(jie)。

10、在(zai)其中(zhong)一個實施例中(zhong)，所述(shu)(shu)第(di)二尾氣管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)包括第(di)三(san)(san)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)和(he)第(di)四主(zhu)管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)，所述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)與(yu)(yu)所述(shu)(shu)預熱器連(lian)接(jie)，所述(shu)(shu)第(di)四主(zhu)管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)與(yu)(yu)所述(shu)(shu)第(di)一入料管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)連(lian)接(jie)，所述(shu)(shu)第(di)二還原爐單元(yuan)通過(guo)第(di)三(san)(san)支管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)與(yu)(yu)所述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)連(lian)接(jie)，通過(guo)第(di)四支管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)與(yu)(yu)所述(shu)(shu)第(di)四主(zhu)管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)連(lian)接(jie)，所述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)支管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)上設(she)(she)置有(you)第(di)三(san)(san)閥，所述(shu)(shu)第(di)四支管(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)(guan)上設(she)(she)置有(you)第(di)四閥。

11、在(zai)其中一(yi)(yi)個實施例(li)中，所(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)還原爐單元還包括第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)補給管(guan)道(dao)和(he)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)靜態混(hun)合器(qi)(qi)，所(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)補給管(guan)道(dao)和(he)所(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)入料(liao)管(guan)道(dao)分別與(yu)所(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)靜態混(hun)合器(qi)(qi)連(lian)接；和(he)/或，所(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)二還原爐單元還包括第(di)(di)(di)(di)二補給管(guan)道(dao)和(he)第(di)(di)(di)(di)二靜態混(hun)合器(qi)(qi)，所(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)二補給管(guan)道(dao)和(he)所(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)二入料(liao)管(guan)道(dao)分別與(yu)所(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)二靜態混(hun)合器(qi)(qi)連(lian)接。

12、在其(qi)中一(yi)個實施例中，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)一(yi)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道包(bao)括第(di)一(yi)氫(qing)氣(qi)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道和第(di)一(yi)三氯(lv)(lv)氫(qing)硅(gui)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)一(yi)氫(qing)氣(qi)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道和所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)一(yi)三氯(lv)(lv)氫(qing)硅(gui)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道分別與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)一(yi)靜態混合器連接，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)二(er)(er)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道包(bao)括第(di)二(er)(er)氫(qing)氣(qi)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道和第(di)二(er)(er)三氯(lv)(lv)氫(qing)硅(gui)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)二(er)(er)氫(qing)氣(qi)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道和所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)二(er)(er)三氯(lv)(lv)氫(qing)硅(gui)補(bu)(bu)給(gei)(gei)管(guan)道分別與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)二(er)(er)靜態混合器連接。

13、與(yu)相(xiang)關技術相(xiang)比，本申請一個或者(zhe)多個實(shi)施(shi)例包(bao)括以下至少一種有益技術效果：

14、(1)本(ben)申(shen)請(qing)(qing)采(cai)用(yong)(yong)(yong)兩個(ge)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)爐(lu)(lu)(lu)單(dan)元(yuan)，每個(ge)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)爐(lu)(lu)(lu)單(dan)元(yuan)的(de)(de)(de)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)并未全部(bu)進入尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)回收單(dan)元(yuan)，而是(shi)通(tong)過尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)管道(dao)將(jiang)一(yi)(yi)部(bu)分(fen)(fen)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)導(dao)入另一(yi)(yi)個(ge)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)爐(lu)(lu)(lu)單(dan)元(yuan)的(de)(de)(de)入料(liao)管道(dao)中(zhong)(zhong)，例(li)如將(jiang)第(di)(di)一(yi)(yi)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)爐(lu)(lu)(lu)單(dan)元(yuan)的(de)(de)(de)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)通(tong)過第(di)(di)一(yi)(yi)尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)管道(dao)通(tong)入第(di)(di)二(er)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)爐(lu)(lu)(lu)單(dan)元(yuan)的(de)(de)(de)第(di)(di)二(er)入料(liao)管道(dao)中(zhong)(zhong)，使(shi)得(de)未反(fan)應完全的(de)(de)(de)三(san)(san)氯(lv)氫(qing)硅繼續進行還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)反(fan)應，余下一(yi)(yi)部(bu)分(fen)(fen)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)進入尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)回收單(dan)元(yuan)進行處理，由此充分(fen)(fen)利(li)(li)用(yong)(yong)(yong)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)尾(wei)氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)三(san)(san)氯(lv)氫(qing)硅，提高三(san)(san)氯(lv)氫(qing)硅的(de)(de)(de)利(li)(li)用(yong)(yong)(yong)率(lv)，與單(dan)個(ge)還(huan)(huan)原(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)爐(lu)(lu)(lu)運行時的(de)(de)(de)三(san)(san)氯(lv)氫(qing)硅利(li)(li)用(yong)(yong)(yong)率(lv)在(zai)10％-12％相比，本(ben)申(shen)請(qing)(qing)工(gong)藝可將(jiang)三(san)(san)氯(lv)氫(qing)硅利(li)(li)用(yong)(yong)(yong)率(lv)提高至13％-22％，大(da)幅(fu)降(jiang)低生(sheng)產成本(ben)，降(jiang)低投(tou)資。

15、(2)本申請利(li)用(yong)兩個還原(yuan)爐單元進(jin)行(xing)尾氣(qi)的(de)循環(huan)反應，不僅提高了三氯氫硅(gui)的(de)利(li)用(yong)率，同時，在同等產能規模情況(kuang)下，也降(jiang)(jiang)低了多(duo)晶硅(gui)生產系統中的(de)尾氣(qi)回(hui)收、精(jing)餾(liu)、氫化及公(gong)輔系統投資。可以理解，充分利(li)用(yong)還原(yuan)尾氣(qi)中未反應完全的(de)三氯氫硅(gui)，降(jiang)(jiang)低了還原(yuan)尾氣(qi)的(de)含量，進(jin)而降(jiang)(jiang)低還原(yuan)尾氣(qi)在回(hui)收處理的(de)各個環(huan)節(jie)的(de)投資成(cheng)本。

技術特征：

1.一種多晶(jing)硅生產(chan)系(xi)統，其特征在于，包(bao)(bao)括第(di)(di)一還原(yuan)爐(lu)(lu)單(dan)(dan)元(100)、第(di)(di)二(er)還原(yuan)爐(lu)(lu)單(dan)(dan)元(200)和尾(wei)(wei)氣回(hui)收(shou)單(dan)(dan)元(300)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一還原(yuan)爐(lu)(lu)單(dan)(dan)元(100)包(bao)(bao)括第(di)(di)一入料管(guan)(guan)(guan)(guan)道(101)和第(di)(di)一尾(wei)(wei)氣管(guan)(guan)(guan)(guan)道(102)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)還原(yuan)爐(lu)(lu)單(dan)(dan)元(200)包(bao)(bao)括第(di)(di)二(er)入料管(guan)(guan)(guan)(guan)道(201)和第(di)(di)二(er)尾(wei)(wei)氣管(guan)(guan)(guan)(guan)道(202)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一尾(wei)(wei)氣管(guan)(guan)(guan)(guan)道(102)分(fen)別(bie)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)入料管(guan)(guan)(guan)(guan)道(201)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)尾(wei)(wei)氣回(hui)收(shou)單(dan)(dan)元(300)連接，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)尾(wei)(wei)氣管(guan)(guan)(guan)(guan)道(202)分(fen)別(bie)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一入料管(guan)(guan)(guan)(guan)道(101)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)尾(wei)(wei)氣回(hui)收(shou)單(dan)(dan)元(300)連接。

2.如權(quan)利(li)要(yao)求1所述(shu)的多晶硅生(sheng)產(chan)系統，其特(te)征在于(yu)：還包括除塵(chen)單元(400)，所述(shu)第(di)(di)一尾氣(qi)管(guan)道(dao)(102)通過所述(shu)除塵(chen)單元(400)與(yu)所述(shu)第(di)(di)二入料(liao)管(guan)道(dao)(201)連接(jie)，所述(shu)第(di)(di)二尾氣(qi)管(guan)道(dao)(202)通過所述(shu)除塵(chen)單元(400)與(yu)所述(shu)第(di)(di)一入料(liao)管(guan)道(dao)(101)連接(jie)。

3.如權利(li)要求1所(suo)述(shu)的多晶硅生產系統，其特征在于：還包括預熱器(500)，所(suo)述(shu)第一尾(wei)氣管道(102)和所(suo)述(shu)第二(er)尾(wei)氣管道(202)分別通過所(suo)述(shu)預熱器(500)連接于所(suo)述(shu)尾(wei)氣回收單元(300)。

4.如權利要求3所(suo)述(shu)(shu)的多(duo)晶硅(gui)生(sheng)產(chan)系統，其特征在于：所(suo)述(shu)(shu)預熱器(qi)(qi)(500)包括氫(qing)(qing)(qing)氣(qi)(qi)預熱器(qi)(qi)(501)和三(san)氯(lv)氫(qing)(qing)(qing)硅(gui)預熱器(qi)(qi)(502)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)一尾(wei)氣(qi)(qi)管(guan)道(dao)(102)和所(suo)述(shu)(shu)第(di)二(er)尾(wei)氣(qi)(qi)管(guan)道(dao)(202)分(fen)別與所(suo)述(shu)(shu)氫(qing)(qing)(qing)氣(qi)(qi)預熱器(qi)(qi)(501)連(lian)接(jie)，所(suo)述(shu)(shu)氫(qing)(qing)(qing)氣(qi)(qi)預熱器(qi)(qi)(501)與所(suo)述(shu)(shu)三(san)氯(lv)氫(qing)(qing)(qing)硅(gui)預熱器(qi)(qi)(502)連(lian)接(jie)，所(suo)述(shu)(shu)三(san)氯(lv)氫(qing)(qing)(qing)硅(gui)預熱器(qi)(qi)(502)與所(suo)述(shu)(shu)尾(wei)氣(qi)(qi)回(hui)收單元(300)連(lian)接(jie)。

5.如權利(li)要求1所(suo)述(shu)的多晶硅生產系統，其(qi)特(te)征在于：所(suo)述(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)還(huan)原爐單元(100)包括一(yi)(yi)個或多個第(di)(di)一(yi)(yi)還(huan)原爐，多個所(suo)述(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)還(huan)原爐并(bing)聯設置，所(suo)述(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)還(huan)原爐分別與所(suo)述(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)入料(liao)管道(101)和所(suo)述(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)尾氣管道(102)連接。

6.如權(quan)利要求(qiu)1所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)的多(duo)晶硅生產系統(tong)，其特征在(zai)于：所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)尾氣管(guan)道(102)包(bao)括第(di)(di)一(yi)(yi)主(zhu)管(guan)道(1021)和第(di)(di)二(er)(er)(er)主(zhu)管(guan)道(1022)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)主(zhu)管(guan)道(1021)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)尾氣回收單元(300)連接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)主(zhu)管(guan)道(1022)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)入料管(guan)道(201)連接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)還(huan)原爐單元(100)通過(guo)第(di)(di)一(yi)(yi)支(zhi)管(guan)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)主(zhu)管(guan)道(1021)連接(jie)，通過(guo)第(di)(di)二(er)(er)(er)支(zhi)管(guan)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)主(zhu)管(guan)道(1022)連接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)支(zhi)管(guan)上設置(zhi)有第(di)(di)一(yi)(yi)閥，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)支(zhi)管(guan)上設置(zhi)有第(di)(di)二(er)(er)(er)閥。

7.如(ru)權(quan)利要求1所(suo)述(shu)(shu)的多晶硅(gui)生產(chan)系統(tong)，其特征在于：所(suo)述(shu)(shu)第(di)二還(huan)(huan)原爐(lu)單元(200)包(bao)括一個或多個第(di)二還(huan)(huan)原爐(lu)，多個所(suo)述(shu)(shu)第(di)二還(huan)(huan)原爐(lu)并聯設置，所(suo)述(shu)(shu)第(di)二還(huan)(huan)原爐(lu)分別與所(suo)述(shu)(shu)第(di)二入料管(guan)(guan)道(dao)(dao)(201)和(he)所(suo)述(shu)(shu)第(di)二尾氣管(guan)(guan)道(dao)(dao)(202)連接。

8.如(ru)權利要(yao)求1所述(shu)(shu)的多(duo)晶硅生產(chan)系(xi)統，其特(te)征在于(yu)：所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二尾(wei)氣(qi)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(202)包括第(di)(di)(di)(di)三(san)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(2021)和(he)第(di)(di)(di)(di)四(si)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(2022)，所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)三(san)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(2021)與(yu)所述(shu)(shu)尾(wei)氣(qi)回收單元(300)連(lian)接(jie)，所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)四(si)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(2022)與(yu)所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)入料管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(101)連(lian)接(jie)，所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二還原爐單元(200)通(tong)過第(di)(di)(di)(di)三(san)支(zhi)(zhi)管(guan)(guan)(guan)與(yu)所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)三(san)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(2021)連(lian)接(jie)，通(tong)過第(di)(di)(di)(di)四(si)支(zhi)(zhi)管(guan)(guan)(guan)與(yu)所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)四(si)主(zhu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(2022)連(lian)接(jie)，所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)三(san)支(zhi)(zhi)管(guan)(guan)(guan)上設置(zhi)有第(di)(di)(di)(di)三(san)閥(fa)，所述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)四(si)支(zhi)(zhi)管(guan)(guan)(guan)上設置(zhi)有第(di)(di)(di)(di)四(si)閥(fa)。

9.如權(quan)利要求1-8任一(yi)項所述(shu)的多晶硅(gui)生產系統，其(qi)特征在于(yu)：所述(shu)第(di)(di)一(yi)還(huan)(huan)原爐(lu)單元(yuan)(100)還(huan)(huan)包(bao)括(kuo)第(di)(di)一(yi)補(bu)給管(guan)道(dao)和第(di)(di)一(yi)靜態混(hun)合(he)器，所述(shu)第(di)(di)一(yi)補(bu)給管(guan)道(dao)和所述(shu)第(di)(di)一(yi)入(ru)料管(guan)道(dao)(101)分(fen)別與(yu)所述(shu)第(di)(di)一(yi)靜態混(hun)合(he)器連(lian)接；和/或，所述(shu)第(di)(di)二(er)還(huan)(huan)原爐(lu)單元(yuan)(200)還(huan)(huan)包(bao)括(kuo)第(di)(di)二(er)補(bu)給管(guan)道(dao)和第(di)(di)二(er)靜態混(hun)合(he)器，所述(shu)第(di)(di)二(er)補(bu)給管(guan)道(dao)和所述(shu)第(di)(di)二(er)入(ru)料管(guan)道(dao)(201)分(fen)別與(yu)所述(shu)第(di)(di)二(er)靜態混(hun)合(he)器連(lian)接。

10.如(ru)權利(li)要求9所(suo)述(shu)(shu)(shu)的多(duo)晶硅(gui)生產系統(tong)，其特征在于：所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)一補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道包(bao)括第(di)一氫(qing)(qing)氣補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道(103)和(he)第(di)一三(san)氯氫(qing)(qing)硅(gui)補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道(104)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)一氫(qing)(qing)氣補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道(103)和(he)所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)一三(san)氯氫(qing)(qing)硅(gui)補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道(104)分(fen)別(bie)與所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)一靜態混合器(qi)連(lian)接，所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)二(er)補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道包(bao)括第(di)二(er)氫(qing)(qing)氣補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道(203)和(he)第(di)二(er)三(san)氯氫(qing)(qing)硅(gui)補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道(204)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)二(er)氫(qing)(qing)氣補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道(203)和(he)所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)二(er)三(san)氯氫(qing)(qing)硅(gui)補(bu)給(gei)(gei)(gei)(gei)管道(204)分(fen)別(bie)與所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)二(er)靜態混合器(qi)連(lian)接。

技術總結
本申請的實施例涉及多晶硅生產技術領域，并提供一種多晶硅生產系統，其包括第一還原爐單元、第二還原爐單元和尾氣回收單元，所述第一還原爐單元包括第一入料管道和第一尾氣管道，所述第二還原爐單元包括第二入料管道和第二尾氣管道，所述第一尾氣管道分別與所述第二入料管道和所述尾氣回收單元連接，所述第二尾氣管道分別與所述第一入料管道和所述尾氣回收單元連接。本申請具有提高三氯氫硅利用率及降低生產成本的效果。

技術研發人員：趙亮,李明,程陽秋,陳凱,王偉
受保護的技術使用者：巴彥淖爾聚光硅業有限公司
技術研發日：20240206
技術公布日：2024/9/19