本技術屬(shu)于長(chang)晶爐溫(wen)度測量裝(zhuang)置(zhi)領域，特別涉(she)及一種用于長(chang)晶爐的高溫(wen)測量裝(zhuang)置(zhi)。

背景技術：

1、長(chang)晶(jing)爐(lu)(lu)(lu)(lu)是(shi)一種常(chang)見的(de)(de)晶(jing)體(ti)生長(chang)設備，主要用于生產單晶(jing)硅和其他單晶(jing)材料，長(chang)晶(jing)爐(lu)(lu)(lu)(lu)在使用中需(xu)(xu)將原料進行高溫(wen)融化，溫(wen)度決定了成(cheng)品(pin)的(de)(de)質量以(yi)(yi)及報(bao)廢(fei)率，因此(ci)需(xu)(xu)要對長(chang)晶(jing)爐(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)部的(de)(de)溫(wen)度進行測(ce)量監控，以(yi)(yi)確(que)保內(nei)部溫(wen)度的(de)(de)合適。但(dan)常(chang)見的(de)(de)長(chang)晶(jing)爐(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)高溫(wen)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)大(da)多數是(shi)將測(ce)溫(wen)裝(zhuang)置(zhi)長(chang)時間置(zhi)于爐(lu)(lu)(lu)(lu)體(ti)內(nei)部，高溫(wen)的(de)(de)長(chang)時間作用會使得(de)測(ce)溫(wen)裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)準確(que)性下降(jiang)，進而造成(cheng)以(yi)(yi)下問題。

2、不準(zhun)(zhun)確(que)(que)的溫(wen)度控制：如果高溫(wen)測量裝(zhuang)置的準(zhun)(zhun)確(que)(que)性(xing)降低，控制系(xi)統可(ke)能(neng)無法準(zhun)(zhun)確(que)(que)監測和(he)(he)調整爐內的溫(wen)度。這可(ke)能(neng)導(dao)致溫(wen)度過高或過低，影響晶體(ti)的生長質(zhi)量和(he)(he)性(xing)能(neng)。

3、無法準(zhun)(zhun)確(que)測量晶(jing)體生(sheng)(sheng)長溫(wen)度(du)：高(gao)溫(wen)測量裝置的準(zhun)(zhun)確(que)性下降可能導(dao)致無法準(zhun)(zhun)確(que)測量晶(jing)體生(sheng)(sheng)長的溫(wen)度(du)。這將影響工藝參數(shu)的控制和優化，可能會導(dao)致晶(jing)體品質下降或(huo)無法滿足要求。

4、長(chang)晶爐穩(wen)定性(xing)降低(di)：高溫測量裝置的準確(que)性(xing)降低(di)會(hui)影(ying)響(xiang)長(chang)晶爐的穩(wen)定性(xing)。穩(wen)定性(xing)下降可能引起溫度變化的不(bu)確(que)定性(xing)，進而(er)影(ying)響(xiang)晶體生長(chang)的均(jun)一性(xing)和一致性(xing)。

5、增加生(sheng)產(chan)成本和時間：如果(guo)高溫測(ce)(ce)量(liang)裝(zhuang)置的準確性下降，需要花費更(geng)多的時間和成本來調整爐內溫度或更(geng)換測(ce)(ce)量(liang)裝(zhuang)置。這可(ke)能(neng)導致生(sheng)產(chan)工藝(yi)周期(qi)延(yan)長，增加生(sheng)產(chan)成本。

6、綜(zong)上所(suo)(suo)述，將溫度(du)測量裝置長時間置于(yu)(yu)爐(lu)體內(nei)部(bu)會產生多(duo)種問(wen)題，所(suo)(suo)以希(xi)望提出(chu)一種新的(de)結構，用于(yu)(yu)解決上述技術(shu)問(wen)題。

技術實現思路

1、針對現有技術存在的(de)不足，本實(shi)用(yong)新型目(mu)的(de)是提供一種用(yong)于(yu)長(chang)晶爐的(de)高(gao)溫測量裝置，解(jie)決上述背景技術中提出(chu)的(de)問題。

2、本(ben)實(shi)用新型通過以下的技術方(fang)案實(shi)現：一種用于長晶爐(lu)的高溫測量裝置(zhi)，包括：爐(lu)壁(bi)、保護箱體(ti)、連接(jie)機(ji)(ji)(ji)構以及測溫機(ji)(ji)(ji)構，所(suo)(suo)述(shu)爐(lu)壁(bi)左側(ce)(ce)(ce)面(mian)開設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)定位(wei)槽，所(suo)(suo)述(shu)爐(lu)壁(bi)右側(ce)(ce)(ce)面(mian)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)保護箱體(ti)，所(suo)(suo)述(shu)保護箱體(ti)內(nei)(nei)側(ce)(ce)(ce)面(mian)前后(hou)(hou)兩(liang)端均設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)卡(ka)孔(kong)(kong)塊(kuai)，所(suo)(suo)述(shu)卡(ka)孔(kong)(kong)塊(kuai)靠(kao)近(jin)保護箱體(ti)中(zhong)心(xin)一端側(ce)(ce)(ce)面(mian)開設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)卡(ka)孔(kong)(kong)，所(suo)(suo)述(shu)爐(lu)壁(bi)左側(ce)(ce)(ce)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)連接(jie)機(ji)(ji)(ji)構，所(suo)(suo)述(shu)連接(jie)機(ji)(ji)(ji)構中(zhong)心(xin)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)中(zhong)心(xin)管(guan)，所(suo)(suo)述(shu)中(zhong)心(xin)管(guan)外(wai)側(ce)(ce)(ce)面(mian)中(zhong)心(xin)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)定位(wei)板，所(suo)(suo)述(shu)定位(wei)板右端前后(hou)(hou)兩(liang)側(ce)(ce)(ce)均設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)伸縮卡(ka)柱，所(suo)(suo)述(shu)中(zhong)心(xin)管(guan)右側(ce)(ce)(ce)面(mian)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)兩(liang)組滑槽，所(suo)(suo)述(shu)中(zhong)心(xin)管(guan)左側(ce)(ce)(ce)面(mian)前后(hou)(hou)兩(liang)端均開設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)桿(gan)孔(kong)(kong)，所(suo)(suo)述(shu)桿(gan)孔(kong)(kong)內(nei)(nei)側(ce)(ce)(ce)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)嵌合(he)桿(gan)，所(suo)(suo)述(shu)中(zhong)心(xin)管(guan)內(nei)(nei)側(ce)(ce)(ce)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)測溫機(ji)(ji)(ji)構且其左端設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)卡(ka)塊(kuai)，所(suo)(suo)述(shu)卡(ka)塊(kuai)右側(ce)(ce)(ce)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)拉(la)伸柱，所(suo)(suo)述(shu)拉(la)伸柱外(wai)側(ce)(ce)(ce)設(she)(she)(she)(she)有(you)(you)彈簧。

3、作為一優(you)選(xuan)的實施(shi)方式，所述(shu)(shu)卡塊外側(ce)面設有對稱(cheng)分布的兩組凸(tu)起，所述(shu)(shu)卡塊右側(ce)面開設有軸承(cheng)孔(kong)，所述(shu)(shu)軸承(cheng)孔(kong)內(nei)側(ce)設有軸承(cheng)，所述(shu)(shu)拉(la)伸(shen)柱左端(duan)穿過軸承(cheng)。

4、作為一優(you)選的實施方式(shi)，所述中心(xin)管(guan)左側(ce)面上(shang)下兩端均(jun)開(kai)設有(you)淺(qian)(qian)卡(ka)槽(cao)，所述中心(xin)管(guan)左側(ce)面還開(kai)設有(you)兩組對稱(cheng)分(fen)布的深卡(ka)槽(cao)，所述凸(tu)起(qi)旋轉至不同位置時與淺(qian)(qian)卡(ka)槽(cao)或深卡(ka)槽(cao)相互(hu)嵌(qian)合，通過轉動卡(ka)塊(kuai)使其外側(ce)的兩組凸(tu)起(qi)根(gen)據需(xu)要分(fen)別與淺(qian)(qian)卡(ka)槽(cao)或深卡(ka)槽(cao)相互(hu)嵌(qian)合，能夠控制(zhi)測溫傳感(gan)器的伸出與回收。

5、作(zuo)為(wei)一優選(xuan)的實施方式，所(suo)述拉伸柱外側右端設(she)有主軸，所(suo)述主軸外側上下兩端均設(she)有滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)，所(suo)述滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)與滑(hua)(hua)槽(cao)相互活(huo)動嵌(qian)合，滑(hua)(hua)軌(gui)(gui)與滑(hua)(hua)槽(cao)的滑(hua)(hua)動能夠輔助測溫機構作(zuo)直線運動。

6、作為一優(you)選的實施(shi)方式，所(suo)述(shu)(shu)卡(ka)(ka)(ka)塊左側(ce)(ce)面(mian)設(she)有(you)(you)彈(dan)性(xing)拉(la)繩，所(suo)述(shu)(shu)拉(la)伸柱(zhu)右側(ce)(ce)面(mian)安裝有(you)(you)測溫傳感器，所(suo)述(shu)(shu)嵌(qian)合桿右端(duan)設(she)有(you)(you)圓(yuan)臺，所(suo)述(shu)(shu)圓(yuan)臺外側(ce)(ce)面(mian)開設(she)有(you)(you)螺旋卡(ka)(ka)(ka)槽(cao)，所(suo)述(shu)(shu)伸縮卡(ka)(ka)(ka)柱(zhu)內(nei)端(duan)與(yu)螺旋卡(ka)(ka)(ka)槽(cao)相互(hu)嵌(qian)合，所(suo)述(shu)(shu)嵌(qian)合桿向右側(ce)(ce)轉動(dong)(dong)(dong)時將(jiang)伸縮卡(ka)(ka)(ka)柱(zhu)頂出與(yu)卡(ka)(ka)(ka)孔相互(hu)卡(ka)(ka)(ka)合，拉(la)動(dong)(dong)(dong)卡(ka)(ka)(ka)塊左側(ce)(ce)面(mian)的彈(dan)性(xing)拉(la)繩帶動(dong)(dong)(dong)拉(la)伸柱(zhu)向左側(ce)(ce)移(yi)動(dong)(dong)(dong)，能夠使(shi)測溫傳感器收入(ru)保護箱體內(nei)側(ce)(ce)，伸縮卡(ka)(ka)(ka)柱(zhu)與(yu)卡(ka)(ka)(ka)孔的嵌(qian)合與(yu)分離能夠便(bian)于(yu)對(dui)連(lian)接(jie)機構(gou)的拆裝。

7、作為一(yi)優選的(de)實施方式(shi)，所述嵌(qian)合(he)桿(gan)外(wai)側(ce)面(mian)左端設(she)有(you)外(wai)螺(luo)紋(wen)，所述桿(gan)孔(kong)內側(ce)面(mian)左端設(she)有(you)內螺(luo)紋(wen)，所述嵌(qian)合(he)桿(gan)左側(ce)面(mian)開設(she)有(you)六(liu)角(jiao)卡槽(cao)，所述內螺(luo)紋(wen)與(yu)外(wai)螺(luo)紋(wen)螺(luo)紋(wen)配合(he)連接(jie)，嵌(qian)合(he)桿(gan)外(wai)側(ce)面(mian)的(de)外(wai)螺(luo)紋(wen)與(yu)桿(gan)孔(kong)內側(ce)面(mian)的(de)內螺(luo)紋(wen)的(de)旋合(he)與(yu)分(fen)離能夠便于對嵌(qian)合(he)桿(gan)的(de)拆裝。

8、作為一優(you)選的(de)實施方式，所(suo)(suo)述定位板(ban)與定位槽(cao)相互嵌合，所(suo)(suo)述保護箱體右側面(mian)(mian)中(zhong)心(xin)貫(guan)穿設有(you)通(tong)孔(kong)，所(suo)(suo)述通(tong)孔(kong)內側面(mian)(mian)上(shang)下兩端(duan)均開設有(you)內槽(cao)，上(shang)端(duan)所(suo)(suo)述內槽(cao)內側設有(you)升降(jiang)擋(dang)板(ban)，所(suo)(suo)述升降(jiang)擋(dang)板(ban)上(shang)端(duan)設有(you)外設小型電動(dong)伸縮桿。

9、采用(yong)了上述技(ji)術方案(an)后，本實用(yong)新型(xing)的有益效果是：通(tong)過(guo)增加保護箱體(ti)、滑槽(cao)(cao)(cao)、卡塊(kuai)及(ji)測溫(wen)(wen)機構，測溫(wen)(wen)時啟(qi)動(dong)(dong)電動(dong)(dong)伸(shen)縮桿使升降(jiang)(jiang)擋板(ban)(ban)升起(qi)，拉動(dong)(dong)彈(dan)性拉繩使卡塊(kuai)外(wai)側(ce)(ce)(ce)的凸(tu)起(qi)從(cong)淺(qian)卡槽(cao)(cao)(cao)旋轉卡入(ru)深卡槽(cao)(cao)(cao)內，彈(dan)簧回彈(dan)使拉伸(shen)柱(zhu)(zhu)及(ji)主軸向右側(ce)(ce)(ce)移動(dong)(dong)，滑軌沿著滑槽(cao)(cao)(cao)輔助(zhu)直(zhi)線(xian)運動(dong)(dong)，使測溫(wen)(wen)傳感器(qi)暴露至爐體(ti)內部，測溫(wen)(wen)結束時旋轉卡塊(kuai)使凸(tu)起(qi)卡入(ru)淺(qian)卡槽(cao)(cao)(cao)內，拉伸(shen)柱(zhu)(zhu)壓縮彈(dan)簧使測溫(wen)(wen)傳感器(qi)進入(ru)保護箱體(ti)內側(ce)(ce)(ce)，啟(qi)動(dong)(dong)電動(dong)(dong)伸(shen)縮桿將升降(jiang)(jiang)擋板(ban)(ban)推下，從(cong)而(er)提高(gao)測溫(wen)(wen)準確性，通(tong)過(guo)增加伸(shen)縮定(ding)位槽(cao)(cao)(cao)、定(ding)位板(ban)(ban)、伸(shen)縮卡柱(zhu)(zhu)、桿孔、卡孔及(ji)嵌合桿，便于裝置拆裝。

1.一種用于(yu)長(chang)晶爐的高溫(wen)測量裝(zhuang)置，包括：爐壁(100)、保護箱(xiang)體(120)、連接機(ji)構(150)以及測溫(wen)機(ji)構(230)，其特征在于(yu)：所述爐壁(100)左側面開設有(you)定位槽(110)；

2.如權(quan)利要求1所(suo)(suo)述的一種用于長晶爐的高溫測量裝置，其特征在于：所(suo)(suo)述卡塊(280)外側(ce)面設(she)有(you)對稱分布的兩組(zu)凸起，所(suo)(suo)述卡塊(280)右側(ce)面開設(she)有(you)軸(zhou)承(cheng)孔，所(suo)(suo)述軸(zhou)承(cheng)孔內側(ce)設(she)有(you)軸(zhou)承(cheng)，所(suo)(suo)述拉伸柱(270)左端穿過(guo)軸(zhou)承(cheng)。

3.如(ru)權利要求2所述的一種用(yong)于長晶(jing)爐的高溫(wen)測量裝置，其特征在(zai)于：所述中心管(160)左側(ce)面上下兩端均開設有淺卡槽(cao)(cao)(210)，所述中心管(160)左側(ce)面還(huan)開設有兩組對稱分布的深(shen)卡槽(cao)(cao)(200)，所述凸起旋轉至(zhi)不同位(wei)置時與淺卡槽(cao)(cao)(210)或(huo)深(shen)卡槽(cao)(cao)(200)相(xiang)互嵌合(he)。

4.如(ru)權利要求3所(suo)述(shu)(shu)的一種用于長晶爐的高溫(wen)測量裝置，其特征在于：所(suo)述(shu)(shu)拉伸柱(270)外(wai)側右(you)端(duan)設有主軸(240)，所(suo)述(shu)(shu)主軸(240)外(wai)側上下兩端(duan)均設有滑(hua)軌(250)，所(suo)述(shu)(shu)滑(hua)軌(250)與滑(hua)槽(220)相(xiang)互活動(dong)嵌合。

5.如權利要求4所(suo)述(shu)(shu)(shu)的一種用于(yu)長晶爐的高溫測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)，其特征在于(yu)：所(suo)述(shu)(shu)(shu)卡塊(280)左(zuo)側面設(she)(she)有(you)彈性拉繩，所(suo)述(shu)(shu)(shu)拉伸(shen)柱(270)右側面安裝(zhuang)有(you)測(ce)溫傳感器，所(suo)述(shu)(shu)(shu)嵌合桿(290)右端設(she)(she)有(you)圓臺，所(suo)述(shu)(shu)(shu)圓臺外側面開設(she)(she)有(you)螺旋卡槽(cao)(310)；

6.如(ru)權利要求5所(suo)(suo)述(shu)(shu)的一種用于長晶爐的高(gao)溫(wen)測量裝(zhuang)置，其(qi)特征在(zai)于：所(suo)(suo)述(shu)(shu)嵌合(he)桿(290)外側面(mian)左端設(she)有(you)外螺(luo)(luo)紋(300)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)桿孔內(nei)(nei)側面(mian)左端設(she)有(you)內(nei)(nei)螺(luo)(luo)紋(180)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)嵌合(he)桿(290)左側面(mian)開設(she)有(you)六角卡槽，所(suo)(suo)述(shu)(shu)內(nei)(nei)螺(luo)(luo)紋(180)與外螺(luo)(luo)紋(300)螺(luo)(luo)紋配合(he)連接。

7.如權利(li)要求1所(suo)(suo)述(shu)的(de)一(yi)種用于(yu)長(chang)晶爐(lu)的(de)高溫測量裝置，其特征在于(yu)：所(suo)(suo)述(shu)定位板(170)與定位槽(cao)(110)相互嵌合，所(suo)(suo)述(shu)保(bao)護(hu)箱體(120)右側面(mian)中心貫穿設(she)有通孔，所(suo)(suo)述(shu)通孔內(nei)側面(mian)上(shang)(shang)下兩端(duan)均開設(she)有內(nei)槽(cao)，上(shang)(shang)端(duan)所(suo)(suo)述(shu)內(nei)槽(cao)內(nei)側設(she)有升降擋板(130)，所(suo)(suo)述(shu)升降擋板(130)上(shang)(shang)端(duan)設(she)有外(wai)設(she)小(xiao)型(xing)電動伸縮(suo)桿。