專利名稱:多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統，包括爐體、換熱器、冷凝器、進氣罐、儲氣罐、文丘里管，爐體包括鐘罩與內膽，鐘罩與內膽之間包括設于底部的第一排氣管與第一排液管，內膽頂部設有第一進液管，爐體底部設有進氣總管與排氣總管，第一排氣管與排氣總管會合后連接換熱器熱氣入口，進氣罐的出氣口連接換熱器的冷氣入口，換熱器的熱氣出口連接進氣總管，換熱器的冷氣出口連接儲氣罐，儲氣罐的液體出口通過泵與第一排液管均連接文丘里管的入口端，文丘里管的出口連接設于第一進液管。本實用新型減少了還原爐內三氯氫硅冷卻液用量，鐘罩內壁由于溫度較低不會沉積硅粉，保持了鐘罩內壁的拋光效果，減少了尾氣處理量，降低了能耗。
【專利說明】
多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統
技術領域
[0001]本實用新型屬于還原爐領域，尤其是涉及一種多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統。
【背景技術】
[0002]目前，多晶硅還原工段所發生的主要反應是三氯氫硅被氫氣還原生成硅和氯化氫，該反應是在多晶硅還原爐中進行的。發生反應時，多晶硅還原爐處于通電高溫狀態，反應溫度保持在1050?1150°C左右，同時還原爐的爐體夾套、底盤以及電極等處通過循環冷卻水系統與爐內高溫環境進行換熱以滿足爐體各處的溫度要求。由于多晶硅棒的高溫輻射損失，還原爐內能量損失嚴重。由于多晶硅還原爐的進氣口和出氣口都分布在底盤上，導致溫度場的匹配不合理，容易在還原爐頂部滯留，產生流動死區，造成局部區域的氣體溫度過高，產生硅粉，而這些硅粉一方面會造成原料的損失，另一方面產生的硅粉容易附著在鐘罩內壁上，使得鐘罩內壁的光潔度降低，造成因輻射而帶走的能量飆升，最終表現為還原電耗升尚O

【發明內容】

[0003]有鑒于此，本實用新型旨在提出一種多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統，以解決現有技術的多晶硅還原爐內部溫度場分布不均勻、能耗大，缺乏循環利用的問題。
[0004]為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的:
[0005]—種多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統，包括爐體、換熱器、冷凝器、進氣罐、儲氣罐、文丘里管，所述爐體包括鐘罩與內膽，所述鐘罩與內膽之間包括設于底部的第一排氣管與第一排液管，所述內膽頂部設有第一進液管，爐體底部設有進氣總管與排氣總管，所述第一排氣管與排氣總管會合后連接換熱器熱氣入口，所述進氣罐的出氣口連接換熱器的冷氣入口，換熱器的熱氣出口連接進氣總管，換熱器的冷氣出口連接儲氣罐，儲氣罐的液體出口通過栗與第一排液管均連接文丘里管的入口端，文丘里管的出口連接設于內膽頂部的第一進液管.
[0006]進一步，換熱器的冷氣出口通過冷凝器連接儲氣罐入口。
[0007]進一步，儲氣罐的氣體出口連接氣體燃燒裝置。
[0008]相對于現有技術，本實用新型所述的多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統具有以下優勢:多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統減少了還原爐內三氯氫硅冷卻液用量，鐘罩內壁由于溫度較低不會沉積硅粉，保持了鐘罩內壁的拋光效果，減少了尾氣處理量，最終降低了能耗。
【附圖說明】

[0009]構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。
[0010]在附圖中:
[0011]圖1為本實用新型實施例所述的多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統的結構示意圖。
[0012]附圖標記說明:
[0013]11-鐘罩，12-內膽，21-第一排氣管，22-第二排液管，23-排氣總管，24-進氣總管，25-第一進液管，31-換熱器，32-冷凝器，33-儲氣罐，4-進氣罐，51-栗，52-文丘里管。
【具體實施方式】
[0014]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0015]下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。
[0016]—種多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統，包括爐體、換熱器31、進氣罐4、儲氣罐33、文丘里管52，所述爐體包括鐘罩11與內膽12，所述鐘罩11與內膽12之間包括設于底部的第一排氣管21與第一排液管，所述內膽12頂部設有第一進液管25，爐體底部設有進氣總管24與排氣總管23，所述第一排氣管21與排氣總管23會合后連接換熱器31熱氣入口，所述進氣罐4的出氣口連接換熱器31的冷氣入口，換熱器31的熱氣出口連接進氣總管24，換熱器31的冷氣出口連接儲氣罐33，儲氣罐33的液體出口通過栗51與第一排液管均連接文丘里管52的入口端，文丘里管52的出口連接設于內膽12頂部的第一進液管25.
[0017]換熱器31的冷氣出口通過32連接儲氣罐33入口。
[0018]儲氣罐33的氣體出口連接氣體燃燒裝置。
[0019]工作過程:
[0020]鐘罩11與內膽12之間的氣體通過第一排氣管21排出，內膽12內部的氣體通過排氣總管排出，兩股氣體會合后連接換熱器31的熱氣入口，進氣罐4連接換熱器31的冷氣入口，兩股氣體在換熱器31內進行熱量交換，換熱器31的熱氣通過進氣總管24進入內膽12內部，換熱器31的冷氣出口通過32連接儲氣罐33，或直接連接儲氣罐33，儲氣罐33內的氣體通過氣體出口進入氣體處理裝置，液體出口通過栗51連接文丘里管52的入口，第一排液管排出的三氯氫液同樣進入文丘里管52，文丘里管52將三氯氫液通過第一排液管引射到內膽12內部。
[0021]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統，其特征在于:包括爐體、換熱器、冷凝器、進氣罐、儲氣罐、文丘里管，所述爐體包括鐘罩與內膽，所述鐘罩與內膽之間包括設于底部的第一排氣管與第一排液管，所述內膽頂部設有第一進液管，爐體底部設有進氣總管與排氣總管，所述第一排氣管與排氣總管會合后連接換熱器熱氣入口，所述進氣罐的出氣口連接換熱器的冷氣入口，換熱器的熱氣出口連接進氣總管，換熱器的冷氣出口連接儲氣罐，儲氣罐的液體出口通過栗與第一排液管均連接文丘里管的入口端，文丘里管的出口連接設于內膽頂部的第一進液管。2.根據權利要求1所述的多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統，其特征在于:換熱器的冷氣出口通過冷凝器連接儲氣罐入口。3.根據權利要求1所述的多晶硅還原爐尾氣回收液冷卻系統，其特征在于:儲氣罐的氣體出口連接氣體燃燒裝置。
【文檔編號】C01B33/035GK205709891SQ201620280819
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年4月6日
【發明人】金兆東, 金節
【申請人】天津正安無縫鋼管有限公司