蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種半導體加工設備，尤其是一種蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置。
【背景技術】
[0002]蒸發鍍膜是將熔點較低的金屬進行加熱，使得金屬蒸發并附著于待加工的圓片之上以形成鍍膜的工藝。現有的蒸發鍍膜工藝中，圓片往往采用夾持固定方式，然而，由于圓片多用于半導體生產，其厚度較薄，在長時間的夾持狀態下圓片極易發生損壞。

【發明內容】

[0003]本發明要解決的技術問題是提供一種蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置，其可避免圓片在固定與工作過程中受到損傷。
[0004]為解決上述技術問題，本發明涉及一種蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置，其包括有工作腔室，工作腔室的下端面設置有用于放置金屬物料的放置臺，放置臺內部設置有電熱源，工作腔室上端部設置有用于固定圓片的固定臺，固定臺由設置在工作腔室外部的電機進行驅動;所述固定臺的軸線位置設置有吸附管道，其連通至設置在工作腔室外部的真空吸附栗;所述吸附管道包括有第一管道與第二管道，第一管道與真空吸附栗進行連接，第二管道與固定臺進行連接，第二管道延伸至第一管道內部，第一管道與第二管道的連接位置設置有密封圈；所述第二管道之上設置有從動齒輪，工作腔室的上端部設置有與從動齒輪相嚙合的主動齒輪，主動齒輪由電機進行驅動。
[0005]作為本發明的一種改進，所述吸附管道中，第二管道于固定臺一側的端部直徑至少為固定臺的直徑的1/3。采用上述設計，其可確保第二管道對于圓片產生足夠的吸附力。
[0006]作為本發明的一種改進，所述吸附管道中，第二管道于固定臺一側的端部設置有多個沿固定臺徑向進行延伸的輔助吸附管道，多個輔助吸附管道關于第二管道的軸線成旋轉對稱，每一個輔助吸附管道均經由固定臺的端面與圓片相接觸。采用上述設計，其可通過多個輔助吸附管道對圓片的各個位置進行吸附，從而避免圓片軸心局部受力過大進而導致其損壞。
[0007]采用上述技術方案，其可通過真空吸附栗產生的吸附作用對圓片進行固定，并通過主動齒輪與從動齒輪間的嚙合，以實現第二管道連通固定臺進行旋轉，從而使得圓片在實現其旋轉加工的同時，避免常規固定方式對其表面進行損壞。
【附圖說明】
[0008]圖1為本發明示意圖；
[0009]附圖標記列表:
[0010]I—工作腔室、2—放置臺、3—固定臺、4 一電機、5—吸附管道、51—第一管道、52—第二管道、53—密封圈、6—真空吸附栗、7—從動齒輪、8—主動齒輪、9 一輔助吸附管道。
【具體實施方式】
[0011]下面結合【具體實施方式】，進一步闡明本發明，應理解下述【具體實施方式】僅用于說明本發明而不用于限制本發明的范圍。
[0012]實施例1
[0013]如圖1所示的一種蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置，其包括有工作腔室I，工作腔室I的下端面設置有用于放置金屬物料的放置臺2，放置臺2內部設置有電熱源，工作腔室I上端部設置有用于固定圓片的固定臺3，固定臺3由設置在工作腔室I外部的電機4進行驅動;所述固定臺3的軸線位置設置有吸附管道5，其連通至設置在工作腔室I外部的真空吸附栗6;所述吸附管道5包括有第一管道51與第二管道52，第一管道51與真空吸附栗6進行連接，第二管道52與固定臺3進行連接，第二管道52延伸至第一管道51內部，第一管道I與第二管道52的連接位置設置有密封圈53;所述第二管道52之上設置有從動齒輪7，工作腔室I的上端部設置有與從動齒輪7相嚙合的主動齒輪8，主動齒輪8由電機4進行驅動。
[0014]作為本發明的一種改進，所述吸附管道中，第二管道52于固定臺3—側的端部直徑為固定臺3的直徑的1/3。采用上述設計，其可確保第二管道對于圓片產生足夠的吸附力。
[0015]采用上述技術方案，其可通過真空吸附栗產生的吸附作用對圓片進行固定，并通過主動齒輪與從動齒輪間的嚙合，以實現第二管道連通固定臺進行旋轉，從而使得圓片在實現其旋轉加工的同時，避免常規固定方式對其表面進行損壞。
[0016]實施例2
[0017]作為本發明的一種改進，所述吸附管道5中，第二管道52于固定臺3—側的端部設置有四個沿固定臺3徑向進行延伸的輔助吸附管道9，多個輔助吸附管道9關于第二管道52的軸線成旋轉對稱，每一個輔助吸附管道9均經由固定臺3的端面與圓片相接觸。采用上述設計，其可通過多個輔助吸附管道對圓片的各個位置進行吸附，從而避免圓片軸心局部受力過大進而導致其損壞。
[0018]本實施例其余特征與優點均與實施例1相同。
【主權項】
1.一種蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置，其包括有工作腔室，工作腔室的下端面設置有用于放置金屬物料的放置臺，放置臺內部設置有電熱源，工作腔室上端部設置有用于固定圓片的固定臺，固定臺由設置在工作腔室外部的電機進行驅動;其特征在于，所述固定臺的軸線位置設置有吸附管道，其連通至設置在工作腔室外部的真空吸附栗;所述吸附管道包括有第一管道與第二管道，第一管道與真空吸附栗進行連接，第二管道與固定臺進行連接，第二管道延伸至第一管道內部，第一管道與第二管道的連接位置設置有密封圈;所述第二管道之上設置有從動齒輪，工作腔室的上端部設置有與從動齒輪相嚙合的主動齒輪，主動齒輪由電機進行驅動。2.按照權利要求1所述的蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置，其特征在于，所述吸附管道中，第二管道于固定臺一側的端部直徑至少為固定臺的直徑的1/3。3.按照權利要求1所述的蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置，其特征在于，所述吸附管道中，第二管道于固定臺一側的端部設置有多個沿固定臺徑向進行延伸的輔助吸附管道，多個輔助吸附管道關于第二管道的軸線成旋轉對稱，每一個輔助吸附管道均經由固定臺的端面與圓片相接觸。
【專利摘要】本實用新型公開了一種蒸發鍍膜工藝中的圓片固定裝置，其包括有工作腔室，工作腔室上端部設置有固定臺；所述固定臺的軸線位置設置有吸附管道，其連通至設置在工作腔室外部的真空吸附泵；所述吸附管道包括有第一管道與第二管道，第一管道與真空吸附泵進行連接，第二管道與固定臺進行連接，第二管道延伸至第一管道內部，第一管道與第二管道的連接位置設置有密封圈；所述第二管道之上設置有從動齒輪，工作腔室的上端部設置有與從動齒輪相嚙合的主動齒輪，主動齒輪由電機進行驅動；采用上述技術方案，其可使得圓片在實現其旋轉加工的同時，避免常規固定方式對其表面進行損壞。
【IPC分類】C23C14/24, C23C14/50
【公開號】CN205188416
【申請號】CN201520929695
【發明人】史進, 伍志軍
【申請人】蘇州賽森電子科技有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年11月20日