新型v字型沉積槽的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種沉積槽，尤其是一種新型V字型沉積槽。
【背景技術】
[0002]由于在PECVD沉積槽的頂部表面覆蓋有能夠污染物與沉積槽本體之間的粘合力的噴砂層與等離子層，因此，當沉積槽本體表面粘合的污染物過多時，其污染物會慢慢對噴砂層與等離子層進行腐蝕，從而滲透至沉積槽本體的表面，對其進行腐蝕。
[0003]另外，由于V字型沉積槽本體的底部為尖端部，因此，還具有不便于安裝、且通用性差的缺陷。

【發明內容】

[0004]針對上述問題中存在的不足之處，本實用新型提供一種具有良好防腐效果，以避免污染物對沉積槽進行腐蝕，并且便于安裝、且通用性強的新型V字型沉積槽。
[0005]為實現上述目的，本實用新型提供一種新型V字型沉積槽，包括沉積槽本體(I)、以及覆蓋在其頂部表面上的噴砂層(3)與電鍍層(4)，在所述沉積槽本體(I)與所述噴砂層
(3)之間還設有防腐層(2)，所述防腐層(2)由環氧富鋅涂層(21)、聚脲彈性材料層(22)與密封膠泥層(23)復合構成；
[0006]所述沉積槽本體(I)的底部表面為平面結構。
[0007]上述的新型V字型沉積槽，其中，所述環氧富鋅涂層(21)的厚度為50um。
[0008]上述的新型V字型沉積槽，其中，所述聚脲彈性材料層(22)的厚度為70um。
[0009]上述的新型V字型沉積槽，其中，所述沉積槽本體(I)為不銹鋼板槽，其厚度為1.2mm0
[0010]與現有技術相比，本實用新型具有以下優點:
[0011]1、本實用新型通過在其頂部表面增加防腐層，從而使其具有良好的防腐效果，以避免污染物對沉積槽進行腐蝕，其中，通過密封膠泥層可將聚脲彈性材料層表面的不規則處進行很好塑形，從而通過噴砂機更好的形成噴砂層；在防腐層中選用聚脲彈性材料，在噴涂時不需要配合任何溶劑，具有附著力好，強度高，抗老化，耐腐蝕，耐沖擊性能優良的特占.V，
[0012]2、由于將沉積槽本體的形狀由現有的U型結構優化為底部為平面的V字型結構，因此，具有便于安裝、且通用性強的特點。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的主視圖；
[0014]圖2為圖1中A部分的放大圖。
[0015]主要附圖標記說明如下:
[0016]1-沉積槽本體；2_防腐層；21_環氧富鋅涂層；22_聚脲彈性材料層；23_密封膠泥層；3-噴砂層；4-電鍍層。
【具體實施方式】
[0017]如圖1與圖2所示，本實用新型包括沉積槽本體1、以及覆蓋在其頂部表面上的噴砂層3與電鍍層4，其中，沉積槽本體I為不銹鋼板槽，其厚度為1.2mm，其底部表面為平面結構。
[0018]在沉積槽本體I與噴砂層3之間還設有防腐層2，防腐層2由環氧富鋅涂層21、聚脲彈性材料層22與密封膠泥層23復合構成。其中，環氧富鋅涂層21的厚度為50um，聚脲彈性材料層22的厚度為70um。
[0019]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，對發明而言僅僅是說明性的，而非限制性的。本專業技術人員理解，在發明權利要求所限定的精神和范圍內可對其進行許多改變，修改，甚至等效，但都將落入本實用新型的保護范圍內。
【主權項】
1.一種新型V字型沉積槽，包括沉積槽本體(I)、以及覆蓋在其頂部表面上的噴砂層(3)與電鍍層(4)，其特征在于，在所述沉積槽本體(I)與所述噴砂層(3)之間還設有防腐層(2)，所述防腐層(2)由環氧富鋅涂層(21)、聚脲彈性材料層(22)與密封膠泥層(23)復合構成； 所述沉積槽本體(I)的底部表面為平面結構。
2.根據權利要求1所述的新型V字型沉積槽，其特征在于，所述環氧富鋅涂層(21)的厚度為50um。
3.根據權利要求2所述的新型V字型沉積槽，其特征在于，所述聚脲彈性材料層(22)的厚度為70um。
4.根據權利要求1至3中任一所述的新型V字型沉積槽，其特征在于，所述沉積槽本體(I)為不銹鋼板槽，其厚度為1.2mm。
【專利摘要】本實用新型提供一種新型V字型沉積槽，包括沉積槽本體、以及覆蓋在其頂部表面上的噴砂層與電鍍層，在沉積槽本體與噴砂層之間還設有防腐層，防腐層由環氧富鋅涂層、聚脲彈性材料層與密封膠泥層復合構成；沉積槽本體的底部表面為平面結構。本實用新型通過在其頂部表面增加防腐層，從而使其具有良好的防腐效果，以避免污染物對沉積槽進行腐蝕；由于將沉積槽本體的形狀由現有的U型結構優化為底部為平面的V字型結構，因此，具有便于安裝、且通用性強的特點。
【IPC分類】C23C16-44
【公開號】CN204529975
【申請號】CN201520031813
【發明人】雷曉宏, 曹海濤
【申請人】北京通嘉宏盛科技有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年1月16日