柱狀樣品表面涂層工件架的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于真空鍍膜設備技術領域，具體涉及一種柱狀樣品表面涂層工件架。
【背景技術】
[0002]在科研和生產活動中，越來越多的需要在柱狀樣品表面制備各種均勻涂層，在ICF(慣性約束聚變)物理實驗中，需要制備各種金屬柱腔，以實現科學研宄的目的。名稱為“一種應用于真空涂層領域的新型工件架”(專利號:ZL201120223819.6)和“真空鍍膜機工件架”(專利號:ZL201020609806.8)的中國專利公開了兩種用于真空鍍膜的工件架，但是以上兩種工件架均不能很好的實現柱狀樣品表面涂層的均勻涂鍍。

【發明內容】

[0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種柱狀樣品表面涂層工件架。
[0004]本實用新型的技術方案是
[0005]本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架，其特點是，所述的工件架包括驅動電機、驅動齒輪、主齒輪、固定中間軸、固定齒輪、自轉齒輪托架、自轉齒輪、柱狀樣品固定部件。其連接關系是，所述的驅動電機與驅動齒輪連接，驅動齒輪與主齒輪連接。在所述主齒輪的軸心設置有固定中間軸，主齒輪與固定中間軸通過軸承連接。所述的固定中間軸的一端固定設置有固定齒輪，另一端穿過主齒輪固定外接在真空鍍膜設備的基座上。所述的固定齒輪與主齒輪平行設置。在所述的主齒輪的圓周上均勻設置有自轉齒輪托架，自轉齒輪托架與主齒輪固定連接。所述的固定齒輪的圓周上均勻固定設置有自轉齒輪。所述的自轉齒輪的一端與自轉齒輪托架通過軸承連接，另一端與柱狀樣品固定部件固定套接。
[0006]所述的主齒輪、固定中間軸、固定齒輪為同軸心設置。
[0007]所述的自轉齒輪托架、自轉齒輪、柱狀樣品固定部件為對應設置，自轉齒輪托架、自轉齒輪、柱狀樣品固定部件設置數量均為八~十二個。
[0008]本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架中的柱狀樣品固定部件中軸線上設有柱狀樣品的安裝孔，工作時將柱狀樣品嵌套固定在安裝孔中，柱狀樣品在自轉齒輪的帶動下自轉，同時柱狀樣品與自轉齒輪固定并在固定齒輪上圍繞固定中間軸公轉，這樣涂鍍過程中柱狀樣品同時保持公轉和自轉運動，可以得到柱狀樣品表面均勻涂層。
[0009]本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架結構簡單、便于拆卸，能夠在真空室內使用，柱狀樣品表面涂層均勻。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架的結構示意圖；
[0011]圖2為本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架中的局部俯視圖；
[0012]圖3為本實用新型中的自傳齒輪、柱狀樣品固定部件與柱狀樣品的結構分解圖；
[0013]圖中，1.驅動電機 2.驅動齒輪 3.主齒輪 4.固定中間軸 5.固定齒輪 6.自轉齒輪托架 7.自轉齒輪 8.柱狀樣品固定部件。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖對本實用新型作具體描述:
[0015]實施例1
[0016]圖1為本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架的結構示意圖，圖2為本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架中的局部俯視圖，圖2中，自轉齒輪托6、自轉齒輪7、柱狀樣品固定部件8對應設置。圖3為本實用新型中的自傳齒輪、柱狀樣品固定部件與柱狀樣品的結構分解圖。在圖1~圖3中，本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架包括驅動電機1、驅動齒輪2、主齒輪3、固定中間軸4、固定齒輪5、自轉齒輪托架6、自轉齒輪7、柱狀樣品固定部件8 ;其連接關系是，所述的驅動電機I與驅動齒輪2連接，驅動齒輪2與主齒輪3連接。在所述主齒輪3的軸心設置有固定中間軸4，主齒輪3與固定中間軸4通過軸承連接。所述的固定中間軸4的一端固定設置有固定齒輪5，另一端穿過主齒輪3固定外接在真空鍍膜設備的基座上；所述的固定齒輪5與主齒輪3平行設置。在所述的主齒輪3的圓周上均勻設置有自轉齒輪托架6，自轉齒輪托架6與主齒輪3固定連接；所述的固定齒輪5的圓周上均勻固定設置有自轉齒輪7 ;所述的自轉齒輪7的一端與自轉齒輪托架6通過軸承連接，另一端與柱狀樣品固定部件8的一端固定套接，柱狀樣品固定部件8的另一端與柱狀樣品嵌套。
[0017]所述的主齒輪3、固定中間軸4、固定齒輪5為同軸心設置。
[0018]所述的自轉齒輪托架6、自轉齒輪7、柱狀樣品固定部件8為對應設置，自轉齒輪托架6、自轉齒輪7、柱狀樣品固定部件8設置數量均為八一一十二個。
[0019]本實施例中，自轉齒輪托架設置有八個，自轉齒輪托架6是其中一個；自轉齒輪設置有八個，自轉齒輪7是其中一個；柱狀樣品固定部件設置有八個，柱狀樣品固定部件8是其中一個。
[0020]本實用新型在工作時將柱狀樣品嵌套固定在柱狀樣品固定部件8的安裝孔中，柱狀樣品在自轉齒輪7的帶動下自轉，同時柱狀樣品與自傳齒輪7固定并在固定齒輪5上圍繞固定中間軸4公轉，這樣涂鍍過程中柱狀樣品同時保持公轉和自轉運動，可以得到柱狀樣品表面均勻涂層。柱狀樣品固定部件8的中間軸與自轉齒輪7的中間軸成小于45度的角，這樣自轉齒輪7轉動時，柱狀樣品會圍繞自轉齒輪7中間軸擺動，進一步提高柱狀樣品拐角處的厚度均勻性。
[0021]實施例2
[0022]本實施例與實施例1的結構相同，不同之處是，設置的自轉齒輪托架為十二個；自轉齒輪設置為十二個；柱狀樣品固定部件設置為十二個。
【主權項】
1.一種柱狀樣品表面涂層工件架，其特征在于，所述的工件架包括驅動電機(1)、驅動齒輪(2)、主齒輪(3)、固定中間軸(4)、固定齒輪(5)、自轉齒輪托架(6)、自轉齒輪(7)、柱狀樣品固定部件(8);其連接關系是，所述的驅動電機(I)與驅動齒輪(2)連接，驅動齒輪(2)與主齒輪(3)連接；在所述主齒輪(3)的軸心設置有固定中間軸(4)，主齒輪(3)與固定中間軸(4)通過軸承連接；所述的固定中間軸(4)的一端固定設置有固定齒輪(5)，另一端穿過主齒輪(3)固定外接在真空鍍膜設備的基座上；所述的固定齒輪(5)與主齒輪(3)平行設置；在所述的主齒輪(3)的圓周上均勻設置有自轉齒輪托架(6)，自轉齒輪托架(6)與主齒輪(3)固定連接；所述的固定齒輪(5)的圓周上均勻固定設置有自轉齒輪(7);所述的自轉齒輪(7)的一端與自轉齒輪托架(6)通過軸承連接，另一端與柱狀樣品固定部件(8)固定套接。
2.根據權利要求1所述的柱狀樣品表面涂層工件架，其特征在于，所述的主齒輪(3)、固定中間軸(4)、固定齒輪(5)為同軸心設置。
3.根據權利要求1所述的柱狀樣品表面涂層工件架，其特征在于，所述的自轉齒輪托架(6 )、自轉齒輪(7 )、柱狀樣品固定部件(8 )為對應設置，自轉齒輪托架(6 )、自轉齒輪(7 )、柱狀樣品固定部件(8 )設置數量均為八~十二個。
【專利摘要】本實用新型提供了一種柱狀樣品表面涂層工件架，所述工件架中的驅動電機帶動驅動齒輪轉動，同時帶動主齒輪轉動；自傳齒輪通過自轉齒輪托架與主齒輪固定連接，主齒輪帶動自轉齒輪在固定齒輪上轉動；固定齒輪與固定中間軸固定連接，固定中間軸穿過主齒輪固定在真空鍍膜設備的基座上。其中自轉齒輪和自轉齒輪托架通過軸承連接，主齒輪和固定中間軸通過軸承連接。工作時，柱狀樣品在自轉齒輪的帶動下自轉，同時圍繞固定中間軸公轉，可以得到柱狀樣品表面均勻涂層。本實用新型的柱狀樣品表面涂層工件架結構簡單、便于拆卸，能夠在真空室內使用，能夠獲得柱狀樣品表面的均勻涂層。
【IPC分類】C23C14-50
【公開號】CN204529969
【申請號】CN201520177601
【發明人】劉艷松, 何智兵, 許華, 李俊, 何小珊, 王濤
【申請人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年3月27日