技術編號：8820594
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。由于在PECVD沉積槽的頂部表面覆蓋有能夠污染物與沉積槽本體之間的粘合力的噴砂層與等離子層，因此，當沉積槽本體表面粘合的污染物過多時，其污染物會慢慢對噴砂層與等離子層進行腐蝕，從而滲透至沉積槽本體的表面，對其進行腐蝕。另外，由于V字型沉積槽本體的底部為尖端部，因此，還具有不便于安裝、且通用性差的缺陷。發明內容針對上述問題中存在的不足之處，本實用新型提供一種具有良好防腐效果，以避免污染物對沉積槽進行腐蝕，并且便于安裝、且通用性強的新型V字型沉積槽。為實現上述...
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