一種真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種鍍膜厚度調節裝置，具體涉及一種鍍膜厚度自動調節裝置。
【背景技術】
[0002]現有的真空鍍膜裝置結構復雜，制造成本較高，在實際使用過程中，容易出現機械故障，需要人員定期維護，最主要的是，在鍍膜過程中，鍍膜厚度不能自由調節，工作效率較低。

【發明內容】

[0003]發明目的:本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種鍍膜厚度可以自由調節，工作效率大大提高，結構簡單，機械故障少，使用壽命長的真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置。
[0004]技術方案:為了解決上述技術問題，本實用新型所述的一種真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置，它包括陽極罩，在所述陽極罩一端設有導軌，在所述導軌上設有擋板，所述擋板在導軌上作直線運動，在所述擋板一側中部設有滾珠絲桿，在所述滾珠絲桿端部設有步進電機，在所述滾珠絲桿上設有真空箱體，在所述真空箱體與滾珠絲桿的連接處設有磁流體密封裝置。
[0005]所述擋板為鈦合金擋板。
[0006]在所述陽極罩上設有等尚子體發射窗口。
[0007]所述真空箱體的一側為大氣側，另一側為真空側，所述磁流體密封裝置安裝在真空箱的大氣側。
[0008]本實用新型通過步進電機和磁流體密封裝置調節動能從大氣端到真空端，再由滾珠絲桿帶動鈦合金擋板沿水平方向在導軌上作往復運動，從而達到了調節等離子陽極罩窗口大小的目的控制濺射等離子體的產額大小來調節鍍膜膜層厚度。
[0009]有益效果:本實用新型與現有技術相比，其顯著優點是:本實用新型整體結構簡單，采用導軌及設在導軌上的鈦合金擋板，可以用來控制陽極罩的等離子體發射窗口的大小，從而實現鍍膜厚度的自由調節，采用步進電機、磁流體密封裝置和滾珠絲桿，實現擋板的自由精確調節，大大提高工作效率，本裝置機械故障少，使用壽命長，符合實際使用要求。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明。
[0012]如圖1所示，本實用新型所述的一種真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置，它包括陽極罩1，在所述陽極罩I 一端設有導軌2，在所述導軌2上設有擋板3，所述擋板3在導軌2上作直線運動，在所述擋板3 —側中部設有滾珠絲桿4，在所述滾珠絲桿4端部設有步進電機5，在所述滾珠絲桿4上設有真空箱體6，在所述真空箱體6與滾珠絲桿4的連接處設有磁流體密封裝置7 ;所述擋板3為鈦合金擋板；在所述陽極罩I上設有等離子體發射窗口 8 ;所述真空箱體6的一側為大氣側，另一側為真空側，所述磁流體密封裝置7安裝在真空箱6的大氣側。本實用新型整體結構簡單，采用導軌及設在導軌上的鈦合金擋板，可以用來控制陽極罩的等離子體發射窗口的大小，從而實現鍍膜厚度的自由調節，采用步進電機、磁流體密封裝置和滾珠絲桿，實現擋板的自由精確調節，大大提高工作效率，本裝置機械故障少，使用壽命長，符合實際使用要求。
[0013]本實用新型提供了一種思路及方法，具體實現該技術方案的方法和途徑很多，以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍，本實施例中未明確的各組成部分均可用現有技術加以實現。
【主權項】
1.一種真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置，其特征在于:它包括陽極罩(I)，在所述陽極罩(I) 一端設有導軌(2)，在所述導軌(2)上設有擋板(3)，所述擋板(3)在導軌(2)上作直線運動，在所述擋板(3) —側中部設有滾珠絲桿(4)，在所述滾珠絲桿(4)端部設有步進電機(5)，在所述滾珠絲桿(4)上設有真空箱體￠)，在所述真空箱體(6)與滾珠絲桿(4)的連接處設有磁流體密封裝置(7)。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置，其特征在于:所述擋板(3)為鈦合金擋板。
3.根據權利要求1所述的真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置，其特征在于:在所述陽極罩(I)上設有等離子體發射窗口(8)。
4.根據權利要求1所述的真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置，其特征在于:所述真空箱體(6)的一側為大氣側，另一側為真空側，所述磁流體密封裝置(7)安裝在真空箱(6)的大氣側。
【專利摘要】本實用新型涉及一種真空鍍膜用陽極罩自動調節裝置，它包括陽極罩，在所述陽極罩一端設有導軌，在所述導軌上設有擋板，所述擋板在導軌上作直線運動，在所述擋板一側中部設有滾珠絲桿，在所述滾珠絲桿端部設有步進電機，在所述滾珠絲桿上設有真空箱體，在所述真空箱體與滾珠絲桿的連接處設有磁流體密封裝置。本實用新型鍍膜厚度可以自由調節，工作效率大大提高，結構簡單，機械故障少，使用壽命長。
【IPC分類】C23C14-54
【公開號】CN204401101
【申請號】CN201420658956
【發明人】曹俊
【申請人】無錫康力電子有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2014年11月6日