多靶大顆粒過濾裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種過濾裝置，具體的說是應用于真空鍍膜設備的多靶大顆粒過濾裝置。
【背景技術】
[0002]真空設備中的過濾大顆粒裝置是得到高質量薄膜的關鍵設備之一。
[0003]過濾裝置都是利用電子質量輕，受力時其速度容易改變的特性達到過濾目的的，如在軸向磁場環境下，電子沿著磁力線方向成螺旋狀前進，當磁場方向改變，電子業沿著磁力線做螺旋狀前進，因此，其前進方向偏離原行進方向(彎曲螺旋管口徑必須大于電子回旋半徑)，因此帶正電荷的例子也偏離原行進方向，而弧斑產生的液滴額碎片的方向不會改變，從而達到過濾大顆粒的目的。
[0004]為過濾大顆粒，工程上發展出了多種類型的過濾裝置。從簡單的擋板型過濾裝置，發展到烏克蘭的Aksenov和Ryabchikov等人提出了一種百葉窗式過濾器，可以使等離子體從過濾器葉片之間通過，而大直徑的宏觀粒子將被傾斜的葉片擋住，但是這種百葉窗式的過濾器形成的等離子體均勻區域只能達到直徑范圍是180_左右。螺線管型磁過濾裝置對大顆粒的過濾效率較高，但是系統效率降低。
[0005]上述種種磁過濾大顆粒裝置，在調試使用時都比較復雜，與此同時無法有效提高系統效率。

【發明內容】

[0006]本實用新型旨在克服現有技術的缺陷，提供一種多靶大顆粒過濾裝置，有效的提高了靶材的利用效率并改善了膜層質量。
[0007]為了解決上述技術問題，本實用新型是這樣實現的:
[0008]一種多靶大顆粒過濾裝置，其特征在于:包括矩形盒體、靶座、靶材、可視窗口和亥姆霍茲線圈；矩形盒體的一側安裝有靶座，靶座上設有至少兩個靶材安裝口，靶材裝在靶材安裝口 ；矩形盒體的另一側設有至少一個可視窗口 ；矩形盒體頂部設有一個基座，基座上繞有亥姆霍茲線圈。
[0009]本實用新型的有益效果是:磁路組件的設計改變了磁場的空間分布，實現了鍍膜時過濾大顆粒，有效的提高了靶材的利用效率并改善了膜層質量，而且過濾工藝調試只需要調節磁場大小。
【附圖說明】
[0010]下面結合附圖和實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明:
[0011]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0012]圖2為本實用新型的使用狀態示意圖。
【具體實施方式】
[0013]如圖1所示:一種多靶大顆粒過濾裝置，包括矩形盒體1、靶座2、靶材、可視窗口 3和亥姆霍茲線圈4 ;矩形盒體的一側安裝有靶座，靶座上設有至少兩個靶材安裝口 5，靶材裝在靶材安裝口 ；矩形盒體的另一側設有至少一個可視窗口，供觀察真空室內的電弧運動軌跡；矩形盒體頂部設有一個基座，基座上繞有亥姆霍茲線圈。如圖2所示:本實用新型多靶大顆粒過濾裝與真空設備6連通。
[0014]亥姆霍茲線圈是一對相同的載流圓線圈彼此平行且共軸，通以同方向電流，當線圈間距等于線圈半徑時，兩個載流線圈的總磁場在軸的中點附近的較大范圍內是均勻的。故在生產和科研中有較大的實用價值，也常用于弱磁場的計量標準。
【主權項】
1.一種多靶大顆粒過濾裝置，其特征在于:包括矩形盒體、靶座、靶材、可視窗口和亥姆霍茲線圈；矩形盒體的一側安裝有靶座，靶座上設有至少兩個靶材安裝口，靶材裝在靶材安裝口 ；矩形盒體的另一側設有至少一個可視窗口 ；矩形盒體頂部設有一個基座，基座上繞有亥姆霍茲線圈。
【專利摘要】本實用新型涉及一種多靶大顆粒過濾裝置，包括矩形盒體、靶座、靶材、可視窗口和亥姆霍茲線圈；矩形盒體的一側安裝有靶座，靶座上設有至少兩個靶材安裝口，靶材裝在靶材安裝口；矩形盒體的另一側設有至少一個可視窗口；矩形盒體頂部設有一個基座，基座上繞有亥姆霍茲線圈。本實用新型有效的提高了靶材的利用效率并改善了膜層質量。
【IPC分類】C23C14-35
【公開號】CN204401099
【申請號】CN201420741802
【發明人】單永賢
【申請人】上海金科納米涂層技術有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2014年12月2日