一種真空旋轉基片承載盤的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種真空旋轉基片承載盤，不僅僅適用于OLED器件，還適用于所有熱蒸鍍成膜器件，屬于機械技術領域。
【背景技術】
[0002]真空熱蒸發鍍膜在有機EL (Electro Luminescence)顯示器等平板顯示器(FPD-Flat Panel Display)的制造方法中被廣泛應用，以及相應薄膜器件的產業化中應用也非常廣泛，其基本原理是利用加熱的手段使源受熱蒸發，由固相/液相變成氣相，然后氣體分子或原子在蒸發源與基板(襯底)之間輸運，最后蒸發的分子或原子在基板(襯底)上沉積。
[0003]在有機發光顯示裝置中，發射可見光的有機發光層和接近有機發光層的有機層通過利用各種方法形成。尤其是真空沉積方法由于其簡單的工藝而經常被使用。在真空沉積方法中，將粉狀或固態的沉積材料填充到熔爐中，并通過對熔爐進行加熱而在期望的區域上形成沉積膜。現有的基片盤功能單一、密封性能差，且更換需停機步驟繁瑣。
【發明內容】
[0004]鑒于上述現有技術存在的缺陷，本發明的目的是提出一種真空旋轉基片承載盤。
[0005]本發明的目的，將通過以下技術方案得以實現:
一種真空旋轉基片承載盤，包括磁流體主體，所述磁流體主體下方通過轉動軸依次連接有基片盤、掩膜盤及擋板，所述擋板與掩膜盤相對轉動，所述磁流體主體的上方套設有一轉動把手，所述把手與磁流體主體之間設置有定位盤，所述轉動把手轉動帶動磁流體主體轉動，所述基片盤上開設有基片孔，所述基片孔下設置有基片托盤，所述擋板上于基片孔相應位置開設有孔，所述掩膜盤上通過磁性連接有掩膜板，所述轉動把手上連接有一指針，所述轉動把手轉動帶動指針在定位盤上進行指示。
[0006]優選地，所述基片孔設置有4個，所述擋板上開設的孔數量小于基片孔的數量。
[0007]優選地，所述掩膜板與掩膜盤通過定位銷固定。
[0008]優選地，所述轉動軸上套設有提升套，所述提升套的一端與基片盤通過螺栓固定連接。
[0009]優選地，所述掩膜盤通過螺栓與轉動軸固定。
[0010]優選地，所述磁流體主體上設置有冷卻水接口。
[0011 ] 優選地，每塊所述掩膜板上設置有兩種圖案。
[0012]本發明突出效果為:承載盤上集成的功能多，可放置四個基片，可在線更換掩膜板，通過定位盤可準確定位。轉動部分采用磁流體密封，漏率小，具有可靠的密封性。基片與掩膜板之間距離較小，所蒸鍍圖案邊緣影響小。采用鋁盤，減輕了基片架的重量，同時變形量小，增加了蒸鍍的精度。擋板與掩膜盤之間緊貼，遮擋效果較好。整體采用手動操作，成本低，經濟實用。
[0013]以下便結合實施例附圖，對本發明的【具體實施方式】作進一步的詳述，以使本發明技術方案更易于理解、掌握。
【附圖說明】
[0014]圖1是本裝置的立體結構示意圖。
[0015]圖2是本裝置的剖面結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]如圖1至圖2所示，本發明揭示了一種真空旋轉基片承載盤，包括磁流體主體6，所述磁流體主體6下方通過轉動軸4依次連接有用于放置基片的基片盤3、掩膜盤2及擋板1，所述掩膜盤2通過螺栓與轉動軸4固定，所述擋板I與掩膜盤2相對轉動，所述磁流體主體6的上方套設有一轉動把手7，所述轉動把手7上連接有一指針71，連接方式可以采用焊接或其他固定方式。
[0017]所述轉動把手7與磁流體主體6之間設置有定位盤8，所述定位盤8上標示有角度分布。具體的，所述定位盤8套接于磁流體主體6的上端部，所述轉動把手7轉動，帶動磁流體主體6轉動，同時，也將帶動指針71在定位盤7上進行角度的指示。所述磁流體主體6為不銹鋼材質，且采用了磁性液體密封，保證了其密封性能。所述磁流體主體6上設置有用于冷卻承載盤的冷卻水接口。
[0018]所述基片盤3上開設有基片孔，為了提高效率，一般基片孔2設置有四個，均布與基片盤上。所述基片孔下設置有防止基片掉落的基片托盤31，所述擋板上于基片孔相應位置開設有孔，所述擋板I上開設的孔為I個，當開擋板I上開設有一個孔時，則同一時間可完成一個基片的蒸鍍，當然，擋板上的孔也可以開設有多個，但數量需要小于基片盤上基片孔數量。
[0019]所述掩膜盤2上通過磁性連接有四塊掩膜板，為了加強連接與固定，所述掩膜板與掩膜盤2通過定位銷加強固定，每塊所述掩膜板上設置有兩種圖案。為了方便更換掩膜板，所述轉動軸4上還套設有提升套5，所述提升套5的一端與基片盤3通過螺栓固定連接。需要更換時，只需要在提升套5處向上施力，即可將基片盤與掩膜盤分離，進行對掩膜板的更換，以此更換蒸鍍圖案，基片盤與研磨盤分離快速，掩膜板的更換時間快速，小于15S。
[0020]本發明尚有多種實施方式，凡采用等同變換或者等效變換而形成的所有技術方案，均落在本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種真空旋轉基片承載盤，其特征在于:包括磁流體主體，所述磁流體主體下方通過轉動軸依次連接有基片盤、掩膜盤及擋板，所述擋板與掩膜盤相對轉動，所述磁流體主體的上方套設有一轉動把手，所述把手與磁流體主體之間設置有定位盤，所述轉動把手轉動帶動磁流體主體轉動，所述基片盤上開設有基片孔，所述基片孔下設置有基片托盤，所述擋板上于基片孔相應位置開設有孔，所述掩膜盤上通過磁性連接有掩膜板，所述轉動把手上連接有一指針，所述轉動把手轉動帶動指針在定位盤上進行指示。2.根據權利要求1所述的一種真空旋轉基片承載盤，其特征在于:所述基片孔設置有4個，所述擋板上開設的孔數量小于基片孔的數量。3.根據權利要求1所述的一種真空旋轉基片承載盤，其特征在于:所述掩膜板與掩膜盤通過定位銷固定。4.根據權利要求1所述的一種真空旋轉基片承載盤，其特征在于:所述轉動軸上套設有提升套，所述提升套的一端與基片盤通過螺栓固定連接。5.根據權利要求1所述的一種真空旋轉基片承載盤，其特征在于:所述掩膜盤通過螺栓與轉動軸固定。6.根據權利要求1所述的一種真空旋轉基片承載盤，其特征在于:所述磁流體主體上設置有冷卻水接口。7.根據權利要求1所述的一種真空旋轉基片承載盤，其特征在于:每塊所述掩膜板上設置有兩種圖案。
【專利摘要】本發明揭示了一種真空旋轉基片承載盤，包括磁流體主體，所述磁流體主體下方通過轉動軸依次連接有基片盤、掩膜盤及擋板，擋板與掩膜盤相對轉動，磁流體主體的上方套設有一轉動把手，所述把手與磁流體主體之間設置有定位盤，所述轉動把手轉動帶動磁流體主體轉動，所述基片盤上開設有基片孔，所述基片孔下設置有基片托盤，所述擋板上于基片孔相應位置開設有孔，所述掩膜盤上通過磁性連接有掩膜板，所述轉動把手上連接有一指針，所述轉動把手轉動帶動指針在定位盤上進行指示。本發明的承載盤上集成的功能多，可放置四個基片，可在線更換掩膜板，通過定位盤可準確定位，且使用時精度高。
【IPC分類】C23C14/24, C23C14/04, C23C14/50
【公開號】CN105018893
【申請號】CN201510457426
【發明人】廖良生, 武啟飛, 陳敏
【申請人】蘇州方昇光電裝備技術有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年7月30日