專利名稱：金屬離子注入設備內動態水冷系統的制作方法
技術領域：
本發明具體涉及一種用于真空設備內動態狀況下冷卻的金屬離子注入 設備內動態水冷系統。
背景技術：
現有的金屬離子注入設備工件轉動裝置只能進行公轉和自轉，沒有水 冷卻功能。其缺點是工件在實施離子注入的過程中形成溫升，使輕薄型工件因溫度的升高 而產生形變和降低表面硬度，導致工件精度和機械性能的大幅降低。

發明內容
本發明的目的是提供一種工件裝卸方便、定位準確靈活、工件不變形、 能提高表面硬度和耐磨度的、具有水冷功能的一種金屬離子注入設備內動態水冷系統。本發明的技術方案是一種金屬離子注入設備內動態水冷系統，真空室下端外側 依次設有中心轉軸裝置和側邊驅動裝置，中心轉軸裝置是由軸承支撐的中心轉軸、套裝于 軸上的內套和固定于真空室的外套組成，外套與內套之間設軸承和密封圈；側邊驅動裝置 是由軸承、固定座支撐的側邊驅動軸和軸上端設有的驅動齒輪組成，軸的下端設有碰頭與 固定于真空室上的限位開關相配合；驅動齒輪與支撐架支撐的大齒輪環相嚙合，大齒輪環 圓周上設有多個工件托盤裝置；所述的工件托盤裝置是由固于大齒輪環圓周上的工件托盤 和小傳動齒輪組成，工件托盤上設有的小傳動齒輪與中心軸上端設有中心齒輪相嚙合；其 特征是外套外側設有進、出水口，通過內套的進、出水孔及進出水管與工件托盤內腔體相 連通，又通過串聯水管使多個工件托盤相連通。由于采用上述技術方案，轉動架采用支撐和中心定位裝置，實現上下盤的分離，通 過側邊的驅動使轉動架公轉，依靠定位裝置使工件托盤逐個對準離子注入源，再通過中心 軸的驅動使工件托盤自轉。工件托盤可以逐個定位自轉，在注入的過程中工件托盤內腔持 續有冷卻水循環，對工件進行其冷卻。因而具有工件裝卸方便、定位準確靈活、工件不變形、 能提高表面硬度和耐磨度、具有水冷功能的優點。
以下結合附圖
和具體實施來對本發明的技術方案做進一步詳細說明。附圖是本發明結構示意圖。
具體實施例方式參考附圖，一種金屬離子注入設備內動態水冷系統，真空室12下 端外側依次設有中心轉軸裝置和側邊驅動裝置，中心轉軸裝置是由軸承支撐的中心轉軸 10、套裝于軸上的內套13和固定于真空室的外套14組成，外套14與內套13之間設軸承和 密封圈11 ；側邊驅動裝置是由軸承、固定座15支撐的側邊驅動軸4和軸上端設有的驅動齒 輪16組成，軸的下端設有碰頭17與固定于真空室上的限位開關18相配合；驅動齒輪16與 支撐架2支撐的大齒輪環1相嚙合，大齒輪環1圓周上設有多個工件托盤裝置；所述的工件 托盤裝置是由固于大齒輪環1圓周上的工件托盤3和小傳動齒輪6組成，工件托盤3上設 有的小傳動齒輪6與中心軸上端設有中心齒輪5相嚙合；外套14外側設有進、出水口 19、 20，通過內套13的進、出水孔及進出水管7、9與工件托盤3內腔體相連通，又通過串聯水管 8使多個工件托盤3相連通。
權利要求
一種金屬離子注入設備內動態水冷系統，真空室(12)下端外側依次設有中心轉軸裝置和側邊驅動裝置，中心轉軸裝置是由軸承支撐的中心轉軸(10)、套裝于軸上的內套(13)和固定于真空室的外套(14)組成，外套(14)與內套(13)之間設軸承和密封圈(11)；側邊驅動裝置是由軸承、固定座(15)支撐的側邊驅動軸(4)和軸上端設有的驅動齒輪(16)組成，軸的下端設有碰頭(17)與固定于真空室上的限位開關(18)相配合；驅動齒輪(16)與支撐架(2)支撐的大齒輪環(1)相嚙合，大齒輪環(1)圓周上設有多個工件托盤裝置；所述的工件托盤裝置是由固于大齒輪環(1)圓周上的工件托盤(3)和小傳動齒輪(6)組成，工件托盤(3)上設有的小傳動齒輪(6)與中心軸上端設有中心齒輪(5)相嚙合；其特征是外套(14)外側設有進、出水(19、20)，通過內套(13)的進、出水孔及進出水管(7、9)與工件托盤(3)內腔體相連通，又通過串聯水管(8)使多個工件托盤(3)相連通。
全文摘要
本發明具體涉及一種用于真空設備內動態狀況下冷卻的金屬離子注入設備內動態水冷系統。其特征是外套外側設有進、出水口，通過內套的進、出水孔及進出水管與工件托盤內腔體相連通，又通過串聯水管使多個工件托盤相連通。因而具有工件定位準確、束斑范圍內注入離子均勻、工件溫升小、幾何形狀穩定，保證工件表面硬度和耐磨性等優點。
文檔編號C23C14/48GK101886250SQ200910015430
公開日2010年11月17日 申請日期2009年5月15日 優先權日2009年5月15日
發明者欒庚祖, 王桂岳, 趙松強 申請人:龍口市比特真空技術有限公司