專利名稱：：光波導的制造方法以及由該制造方法所得到的光波導的制作方法
技術領域：
：本發明涉及光波導的制造方法以及光波導，特別涉及包括在基材上形成感光性樹脂層的工序，曝光所希望圖案的工序，以及使用堿性顯影液進行顯影的工序的光波導的制造方法以及由該制造方法所得到的光波導。
背景技術：
：近年來，就電子元件間或配線基板間的高速高密度信號傳送來說，在通過以往的電氣配線進行的傳送中，信號的相互干涉或衰減形成了障礙，并開始顯現出高速高密度化的界限。為了打破該界限，人們研究了使用光來連接電子元件或配線基板的技術，即所謂的光互連。作為光的傳輸通路，從加工容易度、低成本、配線自由度高，并且可以高密度化的觀點考慮，聚合物光波導正受到關注。作為聚合物光波導的形態，認為在假設應用于光電混載基板的玻璃環氧樹脂基板上制造的類型、或假設板相互連接的不具有硬支持基板的撓性類型是適合。作為簡單并高精度形成光波導的方法之一，已知有通過曝光·顯影形成芯圖案的方法。此處，曝光步驟是使光照射部分的感光性樹脂三維交聯而不溶解的工序，顯影步驟是使未曝光部分，即未反應部分的感光性樹脂溶解在顯影液中而除去的工序。以往，已知有使用有機溶劑作為顯影液的方法(例如，參照專利文獻1)，并且從顯影步驟的安全性和環境負荷的觀點考慮，還提出了使用堿性顯影液進行顯影的方法(例如，參照專利文獻2和3)。為了使堿顯影步驟所適用的光波導形成材料，可溶于堿性顯影液，在其中導入了羧基、酚性羥基等顯示酸性的官能基。因此，即使對于因曝光而不溶解的芯圖案，其酸性官能基也由于堿性顯影液而被中和，形成鹽。特別是在使用含有碳酸鈉、碳酸鉀、氫氧化鈉、氫氧化鉀等堿金屬化合物或氫氧化四甲基銨等有機堿所形成的堿性顯影液時，生成的1價鹽存在有化學不穩定的傾向。就殘存有不穩定鹽的芯圖案來說，其內部形成了不均勻的結構，因此不僅從高透明性(低光傳輸損耗)觀點考慮是不優選的，而且從光波導的可靠性觀點考慮也是不優選的。專利文獻1日本特開昭63-81301號公報專利文獻2日本特開平6-258537號公報專利文獻3日本特開號公報
發明內容本發明目的在于解決所述問題，提供一種透明性和可靠性優異的光波導的制造方法以及由該制造方法所制造的光波導。本發明人等反復進行深入研究，結果發現，通過在顯影工序和/或顯影后的洗滌工序中含有2價以上的金屬離子，或者通過在使用堿性顯影液顯影后進行用酸性水溶液洗滌的工序而形成光波導，可以解決所述問題。也就是說，本發明提供(1)一種光波導的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂層的工序，曝光所希望圖案的工序，以及使用含有2價以上金屬離子的堿性顯影液進行顯影的工序；(2)一種光波導的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂層的工序，曝光所希望圖案的工序，使用堿性顯影液進行顯影的工序，以及使用含有2價以上金屬離子的洗滌液或酸性水溶液進行洗滌的工序；以及(3)如上述(2)所述的光波導的制造方法，其中在所述顯影工序的堿性顯影液中含有2價以上的金屬離子。根據本發明的制造方法，可以有效地將芯圖案內殘存的不穩定1價鹽轉變為穩定的2價以上的鹽，或者可以有效地將其轉變回酸性官能基，因此能夠以高生產率得到透明性和可靠性優異的光波導。附圖的簡單說明[圖1]表示本發明所實施的回流試驗中回流爐內的溫度曲線圖。實施發明的最佳方式以下，對本發明的光波導的制造方法及光波導進行詳細說明。本發明的光波導的制造方法，至少包括在基材上形成由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂層的工序、曝光所希望圖案的工序、使用堿性顯影液進行顯影的工序，并根據需要包括洗滌工序。本發明的光波導的制造方法，特征在于在顯影工序和顯影后的洗滌工序的至少一個工序中含有2價以上的金屬離子，或者是在堿顯影后使用酸性水溶液進行洗滌。作為優選方式，具體來說，有以下4種方式。S卩，(a)—種光波導的制造方法，其具有在基材上形成光波導形成用感光性樹脂層的工序，在形成后曝光所希望圖案的工序，以及在曝光后使用含有2價以上金屬離子的堿性顯影液進行顯影的工序，(b)—種光波導的制造方法，其具有在基材上形成光波導形成用感光性樹脂層的工序，在形成后曝光所希望圖案的工序，在曝光后使用堿性顯影液進行顯影的工序，以及在顯影后使用含有2價以上金屬離子的洗滌液進行洗滌的工序，(c)一種光波導的制造方法，其具有在基材上形成光波導形成用感光性樹脂層的工序，在形成后曝光所希望圖案的工序，在曝光后使用含有2價以上金屬離子的堿性顯影液進行顯影的工序，以及在顯影后使用含有2價以上金屬離子的洗滌液進行洗滌的工序，和(d)—種光波導的制造方法，其具有在基材上形成光波導形成用感光性樹脂層的工序，在形成后曝光所希望圖案的工序，在曝光后使用堿性顯影液進行顯影的工序，以及在顯影后使用酸性水溶液進行洗滌的工序。作為本發明中所用的基材，沒有特別限制，可以列舉硅基板、玻璃基板、玻璃環氧樹脂基板、塑料基板、金屬基板、有樹脂層的基板、有金屬層的基板、塑料膜、有樹脂層的塑料膜、有金屬層的塑料膜等。作為在基材上形成感光性樹脂層的方法，沒有特別限制，例如，可以列舉使用光波導形成用感光性樹脂組合物通過旋涂法、浸涂法、噴涂法、棒涂法、輥涂法、簾涂法、照相凹版涂布法、絲網涂布法、噴墨涂布法等進行涂布的方法。當光波導形成用感光性樹脂組合物，是使用適當的有機溶劑進行稀釋的光波導形成用感光性樹脂清漆時，可以根據需要，在形成樹脂層后，加入干燥的工序。作為干燥方法，例如，可以列舉加熱干燥、減壓干燥等。并且，也可以根據需要將它們并用。作為形成感光性樹脂層的其它方法，可以列舉使用由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂膜并通過層疊法來形成的方法。另外，感光性樹脂膜如后文詳述，通常是在支持膜上涂布感光性樹脂組合物，并在其上層疊保護膜所形成的3層結構的膜。從可以提供生產率優異的光波導制造步驟的觀點考慮，使用上述光波導形成用感光性樹脂膜并通過層疊法進行制造的方法是優選的。以下，以使用光波導形成用感光性樹脂膜，形成下部包覆層、芯部和上部包覆層的光波導的制造方法為例進行說明，但本發明并不由此受到任何限制。首先，作為第1工序，將下部包覆層形成用感光性樹脂膜層疊在上述基材上。作為第1工序中的層疊方法，沒有特別限制，例如，可以列舉使用輥軸層壓機或平板型層壓機一邊加熱一邊壓合而進行層疊的方法等。另外，在本發明中，平板型層壓機是指將層疊材料夾在一對平板之間，并通過對平板加壓而進行壓合的層壓機，例如，可以優選使用真空加壓式層壓機。此處的加熱溫度，優選為20130°C，壓合壓力優選為0.11.OMPa，但這些條件并沒有特別限制。當下部包覆層形成用感光性樹脂膜上存在有保護膜時，在除去保護膜后進行層疊。此外，在通過真空加壓式層壓機進行層疊之前，也可以使用輥軸層壓機預先將下部包覆層形成用感光性樹脂膜暫時貼合在基板上。此時，從提高密合性和跟隨性的觀點考慮，優選在進行壓合的同時進行暫時貼合，并且在壓合時，也可以使用具有熱輥的層壓機一邊加熱一邊進行壓接。層壓溫度，優選為20130°C。如果為20°C以上，則下部包覆層形成用感光性樹脂膜和基材的密合性提高，如果為130°C以下，則在輥軸層壓時樹脂層不會過度流動，可以得到必要的膜厚。從以上觀點考慮，層壓溫度進一步優選為40100°C。層壓時的壓力優選為0.20.9MPa，層壓速度優選為0.13m/min，但這些條件并沒有特別限制。使層疊在基材上的下部包覆層形成用感光性樹脂膜光固化，并除去下部包覆層形成用感光性樹脂膜的支持膜，形成下部包覆層。形成下部包覆層時的活性光線的照射量，優選為0.15J/cm2，但該條件并沒有特別限制。此外，在活性光學透過基材時，為了有效進行固化，可以使用能夠同時從兩面照射活性光線的雙面曝光機。進一步，還可以一邊加熱一邊照射活性光線。另外，作為光固化后的處理，可以根據需要進行50200°C的加熱處理。作為第2工序，使用和第1工序相同的方法，將芯部形成用感光性樹脂膜層疊在下部包覆層上。此處，優選將芯部形成用感光性樹脂膜設計為折射率比下部包覆層形成用感光性樹脂膜高，并且由可以通過活性光線形成芯圖案的感光性樹脂組合物所形成。作為第3工序，將芯部(芯圖案)曝光。作為曝光芯圖案的方法，沒有特別限制，例如，可以列舉通過稱為原圖(artwork)的負掩模圖案以圖像狀照射活性光線的方法、使用激光直接描繪而不通過光掩模直接使活性光線照射于圖像上的方法等。作為活性光線的光源，例如，可以列舉超高壓水銀燈、高壓水銀燈、水銀蒸氣弧光燈、金屬鹵化物燈、氙燈、碳弧燈等有效發射紫外線的光源。而且，除此之外，還可以列舉照相用散光燈、太陽燈等有效發射可見光的光源。在曝光芯圖案時的活性光線的照射量，優選為0.01lOJ/cm2。如果為0.01J/cm2以上，則固化反應充分進行，并且芯圖案不會因后述的顯影工序而流失，如果為lOJ/cm2以下，則芯圖案不會因為曝光量過多而變粗，并且可以形成微細的芯圖案，因此是適宜的。由以上觀點可知，照射量進一步優選為0.055J/cm2，并特別優選為0.13J/cm2。芯圖案的曝光，可以間隔著芯部形成用感光性樹脂膜的支持膜進行，也可以在除去支持膜后進行。此外，在曝光后，從提高芯圖案的分辨率和密合性的觀點考慮，也可以根據需要進行曝光后加熱。從紫外線照射到曝光后加熱的時間，優選為10分鐘以內。如果為10分鐘以內，則通過紫外線照射所產生的活性種不會失活。曝光后加熱的溫度優選為40160°C，時間優選為30秒鐘10分鐘。作為第4工序，在間隔著芯部形成用感光性樹脂膜的支持膜進行曝光時，將其除去，并使用堿性顯影液進行顯影。作為顯影方法，沒有特別限制，例如，可以列舉噴霧法、浸漬法、拍打法、旋轉法、刷涂法、刮涂法等。此外，根據需要，也可以將這些顯影方法并用。作為堿性顯影液，沒有特別限制，例如，可以列舉堿性水溶液、由堿性水溶液和1種以上的有機溶劑所形成的堿性準水系顯影液等。作為所述堿性水溶液的堿，沒有特別限制，例如，可以列舉氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀等堿金屬氫氧化物；碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀等堿金屬碳酸鹽；碳酸氫鋰、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀等堿金屬碳酸氫鹽；磷酸鉀、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽；焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽；四硼酸鈉、硅酸鈉等鈉鹽；碳酸銨、碳酸氫銨等銨鹽；氫氧化四甲基銨、三乙醇胺、乙二胺、二乙三胺、2-氨基-2-羥甲基-1，3-丙二醇、1，3_二氨基丙醇-2-嗎啉等有機堿等。這些堿性水溶液的堿，可以單獨使用或2種以上組合使用。此外，顯影中所用的堿性水溶液的pH優選為914，進一步優選為1013。顯影中所用的堿性水溶液的溫度可以適應光波導形成用感光性樹脂層的顯影性來進行調節。此外，在堿性水溶液中，也可以混入表面活性劑、消泡劑等。作為所述堿性準水系顯影液，只要由堿性水溶液和1種以上的有機溶劑形成，就沒有特別限制。堿性準水系顯影液的PH，在能夠充分顯影的范圍內，優選盡可能小，并優選為pH813，進一步優選為pH912。作為所述有機溶劑，沒有特別限制，例如，甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇等醇；丙酮、甲乙酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等酮；乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁基醚等多元醇烷基醚等。這些有機溶劑，可以單獨使用或2種以上組合使用。此外，有機溶劑的濃度，通常優選為290質量％，并且堿性準水系顯影液的溫度可以適應光波導形成用感光性樹脂層的顯影性來進行調節。此外，在堿性準水系顯影液中，也可以混入表面活性劑、消泡劑等。在作為本發明方式的所述(a)(C)中，在所述堿性顯影液和后文詳述的洗滌液中含有2價以上的金屬離子是必要條件。作為2價以上的金屬離子，沒有特別限制，例如，可以列舉鎂離子、鈣離子、鋅離子、錳(II)離子、鈷(II)離子、鐵(II)離子、銅(II)離子、鐵(III)離子、鋁離子等。其中，從生成鹽的穩定性觀點考慮，優選為2價的金屬離子，特別優選為鎂離子或鈣離子。這些金屬離子，可以單獨使用或2種以上組合使用。作為使所述堿性顯影液中含有金屬離子的方法，沒有特別限制，例如，可以列舉將硫酸鎂、硫酸鈣、硫酸鋅、硫酸錳、硫酸鈷、硫酸鐵、硫酸銅、硫酸鋁等金屬硫酸鹽；氯化鎂、氯化鈣、氯化鋅、氯化錳、氯化鈷、氯化鐵、氯化銅、氯化鋁等金屬氯化物；碳酸鎂、碳酸鈣、碳酸鋅、碳酸錳、碳酸鈷、碳酸鐵、碳酸銅、碳酸鋁等金屬碳酸鹽；氫氧化鎂、氫氧化鈣、氫氧化鋅、氫氧化錳、氫氧化鈷、氫氧化鐵、氫氧化銅、氫氧化鋁等金屬氫氧化物等與堿性顯影液混合或者溶于堿性顯影液的方法等。此外，作為堿性顯影液，還可以使用本來就含有所述金屬離子的水。作為這種水，沒有特別限制，例如，可以列舉管道水、井水等。所述堿性顯影液中所含的2價以上的金屬離子的量，優選為150000質量ppm。如果為1質量PPm以上，則可以有效地將芯圖案中殘存的不穩定的1價鹽轉變為穩定的2價以上的鹽，并且如果為50000質量ppm以下，則芯圖案中不會殘留有過剩的金屬離子。由以上觀點可知，其進一步優選為1010000質量ppm，特別優選為305000質量ppm。作為顯影后的處理，優選使用由水和2價以上的金屬離子所形成的洗滌液進行洗滌(將洗滌工序作為第5工序)。作為2價以上的金屬離子，沒有特別限制，可以使用和上述離子相同的離子。其中，從生成的鹽的穩定性觀點考慮，優選為2價的金屬離子，特別優選為鎂離子或鈣離子。這些金屬離子，可以單獨使用或2種以上組合使用。作為使水中含有金屬離子的方法，沒有特別限制，可以列舉使用與使所述堿性顯影液中含有金屬離子時相同的物質，使其與堿性顯影液混合或溶于堿性顯影液的方法等。此外，作為洗滌液，還可以使用本來就含有所述金屬離子的水。作為這種水，沒有特別限制，例如，可以列舉管道水、井水等。所述洗滌液中所含的金屬離子的量，優選為150000質量ppm。如果為1質量ppm以上，則可以將芯圖案中殘存的不穩定的1價鹽轉變為穩定的2價以上的鹽，如果為50000質量ppm以下，則芯圖案中不會殘留有過剩的金屬離子。由以上觀點可知，其進一步優選為1010000質量ppm，特別優選為305000質量ppm。此外，在洗滌液中，也可以混入有機溶劑、表面活性劑、消泡劑等。接著，在作為本發明方式的所述(d)中，具有以下工序是必要條件在用堿性顯影液進行顯影的工序后，使用酸性水溶液進行洗滌的工序。作為洗滌方法，沒有特別限制，例如，可以列舉噴霧法、浸漬法、拍打法、旋轉法、刷涂法、刮涂法等。此外，根據需要，也可以將這些洗滌方法并用。作為所述酸性水溶液的酸，沒有特別限制，例如，可以列舉硫酸、鹽酸、硝酸、磷酸等無機酸；甲酸、乙酸、丙二酸、丁二酸等羧酸；乳酸、水楊酸、蘋果酸、酒石酸、檸檬酸等羥基酸等。這些酸可以單獨使用或2種以上組合使用。其中，從酸性度高、揮發性低、氧化性小的觀點考慮，優選硫酸。洗滌中所用的酸性水溶液的pH，優選為超過0且為5以下。如果超過0，則酸性度、腐蝕性不會過強，而如果為5以下，則可以有效地將芯圖案中殘存的不穩定的1價鹽轉變回原先的酸性官能基。由以上觀點可知，酸性水溶液的PH進一步優選為0.14，特別優選為0.33。酸性水溶液的溫度可以適應pH來進行調節。此外，在酸性水溶液中，也可以混入有機溶劑、表面活性劑、消泡劑等。作為洗滌后的處理，也可以根據需要使用水或由水和上述有機溶劑所形成的洗滌液進一步洗滌。有機溶劑可以單獨使用或2種以上組合使用。有機溶劑的濃度通常優選為290質量％，其溫度可以適應光波導形成用感光性樹脂層的顯影性來進行調節。作為洗滌后的處理，可以根據需要通過進行60250°C左右的加熱或0.11000mJ/cm2左右的曝光而使圖案進一步固化。作為第6工序，使用和第1及第2工序相同的方法，將上部包覆層形成用感光性樹脂膜層疊在下部包覆層和芯圖案上。此處，將上部包覆層形成用感光性樹脂膜設計為折射率比芯部形成用感光性樹脂膜低。此外，上部包覆層的厚度，優選比芯圖案的高度要大。接著，使用和第1工序相同的方法，使上部包覆層形成用感光性樹脂層(膜)光固化，并形成上部包覆層。形成上部包覆層時的活性光線的照射量，優選為0.130J/cm2，但該條件并沒有特別限制。此外，在活性光學透過基材時，為了有效進行固化，可以使用能夠同時從兩面照射活性光線的雙面曝光機。此外，也可以一邊進行50200°C的加熱一邊照射活性光線。另夕卜，作為光固化后的處理，可以根據需要進行50200°C的加熱處理。形成上部包覆層后，如果需要的話，可以除去支持膜，形成光波導。以下，對于本發明中所用的感光性樹脂組合物進行說明。感光性樹脂組合物，從在曝光所希望的圖案后，使用堿性顯影液進行顯影的觀點考慮，優選是含有具有羧基和酚性羥基中至少一種的化合物的樹脂組合物。其中，從透明性、耐熱性、保存穩定性的觀點考慮，優選是含有(A)含羧基的堿可溶性聚合物、(B)聚合性化合物和(C)光聚合引發劑的光波導形成用感光性樹脂組合物。以下，對本發明中所用的㈧成分進行說明。作為㈧成分的含羧基的堿可溶性聚合物，沒有特別限制，例如，可以列舉下述(1)(6)所表示的聚合物。(1)分子中具有羧基和乙烯性不飽和基團的化合物，與除此以外的具有乙烯性不飽和基團的化合物進行共聚所得的含羧基的堿可溶性聚合物。(2)在分子中具有羧基和乙烯性不飽和基團的化合物與除此以外的具有乙烯性不飽和基團的化合物的共聚物中，向側鏈上部分導入乙烯性不飽和基團所得的含羧基的堿可溶性聚合物。(3)使分子中具有環氧基和乙烯性不飽和基團的化合物與除此以外的具有乙烯性不飽和基團的化合物的共聚物，與分子中具有羧基和乙烯性不飽和基團的化合物反應，并使多元酸酐與生成的羥基反應所得的含羧基的堿可溶性聚合物。(4)使具有乙烯性不飽和基團的酸酐與除此以外的具有乙烯性不飽和基團的化合物的共聚物，與分子中具有羥基和乙烯性不飽和基團的化合物反應所得的含羧基的堿可溶性聚合物。(5)使雙官能環氧樹脂和二羧酸或雙官能酚化合物的加聚物，與多元酸酐反應所得的含羧基的堿可溶性聚合物。(6)使雙官能氧雜環丁烷(oxetane)化合物和二羧酸或雙官能酚化合物的加聚物的羥基，與多元酸酐反應所得的含羧基的堿可溶性聚合物。其中，從透明性、在堿性顯影液中的溶解性的觀點考慮，優選為上述⑴⑷所表示的含羧基的堿可溶性聚合物。另外，這些聚合物是具有(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸聚合物。此處，(甲基)丙烯酰基是指丙烯酰基和/或甲基丙烯酰基，(甲基)丙烯酸聚合物是指以丙烯酸、丙烯酸酯、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸酯，以及它們的衍生物為單體，進行聚合所形成的聚合物。該(甲基)丙烯酸聚合物，可以是上述單體的均聚物，而且也可以是使這些單體中的2種以上進行聚合所得的共聚物。進一步，在不損害本發明效果的范圍內，還可以是含有上述單體，和根據需要具有(甲基)丙烯酰基以外的乙烯性不飽和基團的上述之外的單體的共聚物。此外，還可以是多種(甲基)丙烯酸聚合物的混合物。(A)成分的含羧基的堿可溶性聚合物的重均分子量優選為1，0003，000，000。如果為1，000以上，則由于分子量大，因而在作為樹脂組合物時的固化物的強度足夠，并且如果為3，000，000以下，則對于由堿性水溶液所形成的顯影液的溶解性以及和(B)聚合性化合物的相容性良好。由以上觀點考慮，(A)成分的重均分子量進一步優選為3，0002，000,000,并特別優選為5，0001，000,000。另外，本發明的重均分子量是用凝膠滲透色譜法(GPC)測定，并進行標準聚苯乙烯換算所得的值。(A)成分的含羧基的堿可溶性聚合物，可以將酸值規定為在通過顯影形成圖案的工序中，能夠通過所述堿性顯影液進行顯影。例如，在使用所述堿性水溶液時，酸值優選為20300mgK0H/g。如果為20mgK0H/g以上，則容易顯影，而如果為300mgK0H/g以下，則耐顯影液性不會降低。由以上觀點考慮，酸值進一步優選為30250mgK0H/g，并特別優選為40200mgK0H/g。另外，所謂耐顯影液性，是指未通過顯影除去而形成圖案的部分，不受顯影液侵害的性質。此外，在使用由堿性水溶液和1種以上的有機溶劑所形成的堿性準水系顯影液時，酸值優選為10260mgK0H/g。如果酸值為10mgK0H/g以上，則容易顯影，而如果為260mgK0H/g以下，則耐顯影液性(未通過顯影除去而形成圖案的部分，不受顯影液侵害的性質)不會降低。由以上觀點考慮，酸值進一步優選為20250mgK0H/g，并特別優選為30200mgK0H/g。(A)成分的配合量，相對于㈧成分和⑶成分的總量，優選為1085質量％。如果為10質量％以上，則光波導形成用感光性樹脂組合物的固化物強度和撓性足夠，而如果為85質量％以下，則曝光時通過(B)成分聚合進入而容易固化，并且耐溶劑性足夠。由以上觀點考慮，(A)成分的配合量進一步優選為2080質量％，特別優選為2575質量％。以下，對本發明中所用的⑶成分進行說明。作為⑶成分的聚合性化合物，沒有特別限制，例如，可以優選列舉具有乙烯性不飽和基團等聚合性取代基的化合物或分子內具有2個以上環氧基的化合物等。具體來說，可以列舉(甲基)丙烯酸酯、偏鹵乙烯、乙烯基醚、乙烯基酯、乙烯基吡啶、乙烯基酰胺、芳基化乙烯等，其中，從透明性的觀點考慮，優選(甲基)丙烯酸酯或芳基化乙烯。作為(甲基)丙烯酸酯，單官能(甲基)丙烯酸酯、2官能(甲基)丙烯酸酯或多官能(甲基)丙烯酸酯均可以使用。作為單官能(甲基)丙烯酸酯，沒有特別限制，例如，可以列舉(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷基酯、(甲基)丙烯酸十六烷基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸二十二烷基酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-3-氯-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丁酯等脂肪族(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸環戊酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯等脂環式(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸壬苯酯、(甲基)丙烯酸對異丙苯基苯酯、(甲基)丙烯酸鄰聯苯酯、(甲基)丙烯酸-1-萘酯、(甲基)丙烯酸-2-萘酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基-3-(鄰苯基苯氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基-3-(1-萘氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基-3-(2-萘氧基)丙酯等芳香族(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸-2-四氫化糠基酯、N-(甲基)丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二甲酰亞胺、2_(甲基)丙烯酰氧基乙基-N-咔唑等雜環式(甲基)丙烯酸酯；它們的乙氧化物；它們的丙氧化物；它們的乙氧化丙氧化物；它們的己內酯改性物寸。其中，從透明性和耐熱性的觀點考慮，優選上述脂環式(甲基)丙烯酸酯；上述雜環式(甲基)丙烯酸酯；它們的乙氧化物；它們的丙氧化物；它們的乙氧化丙氧化物；它們的己內酯改性物等。作為2官能(甲基)丙烯酸酯，沒有特別限制，例如，可以列舉乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3_丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-1，3-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4_丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基-1，5-戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-丁基-2-乙基-1，3-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9_壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，10_癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸甘油酯、三環癸烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯等脂肪族(甲基)丙烯酸酯；環己烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化環己烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯、三環癸烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯、氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、氫化雙酚F二(甲基)丙烯酸酯等脂環式(甲基)丙烯酸酯；雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、雙酚AF二(甲基)丙烯酸酯、芴型二(甲基)丙烯酸酯等芳香族(甲基)丙烯酸酯；異氰脲酸二(甲基)丙烯酸酯等雜環式(甲基)丙烯酸酯；它們的乙氧化物；它們的丙氧化物；它們的乙氧化丙氧化物；它們的己內酯改性物；新戊二醇型環氧基(甲基)丙烯酸酯等脂肪族環氧基(甲基)丙烯酸酯；環己烷二甲醇型環氧基(甲基)丙烯酸酯、氫化雙酚A型環氧基(甲基)丙烯酸酯、氫化雙酚F型環氧基(甲基)丙烯酸酯等脂環式環氧基(甲基)丙烯酸酯；間苯二酚型環氧基(甲基)丙烯酸酯、雙酚A型環氧基(甲基)丙烯酸酯、雙酚F型環氧基(甲基)丙烯酸酯、雙酚AF型環氧基(甲基)丙烯酸酯、芴型環氧基(甲基)丙烯酸酯等芳香族環氧基(甲基)丙烯酸酯等。其中，從透明性和耐熱性的觀點考慮，優選上述脂環式(甲基)丙烯酸酯；上述芳香族(甲基)丙烯酸酯；上述雜環式(甲基)丙烯酸酯；它們的乙氧化物；它們的丙氧化物；它們的乙氧化丙氧化物；它們的己內酯改性物；上述脂環式環氧基(甲基)丙烯酸酯；上述芳香族環氧基(甲基)丙烯酸酯。作為3官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯，沒有特別限制，例如，可以列舉三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、雙三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等脂肪族(甲基)丙烯酸酯；異氰脲酸三(甲基)丙烯酸酯等雜環式(甲基)丙烯酸酯；它們的乙氧化物；它們的丙氧化物；它們的乙氧化丙氧化物；它們的己內酯改性物；苯酚酚醛清漆型環氧基(甲基)丙烯酸酯；甲酚酚醛清漆型環氧基(甲基)丙烯酸酯等芳香族環氧基(甲基)丙烯酸酯。其中，從透明性和耐熱性的觀點考慮，優選上述雜環式(甲基)丙烯酸酯；它們的乙氧化物；它們的丙氧化物；它們的乙氧化丙氧化物；它們的己內酯改性物；上述芳香族環氧基(甲基)丙烯酸酯。上述單官能(甲基)丙烯酸酯、2官能(甲基)丙烯酸酯、3官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯，各自可以單獨使用或2種以上組合使用。此外，也可以將官能基團數不同的(甲基)丙烯酸酯組合使用。進一步，還可以和其它聚合性化合物組合使用。此外，作為所述(甲基)丙烯酸酯以外優選的⑶聚合性化合物，從和(A)含羧基的堿可溶性聚合物的相容性觀點考慮，可以列舉含有在分子內具有2個以上環氧基的化合物的物質。具體來說，可以列舉對苯二酚型環氧樹脂、間苯二酚型環氧樹脂、鄰苯二酚型環氧樹脂、雙酚A型環氧樹脂、四溴雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、雙酚AF型環氧樹脂、雙酚AD型環氧樹脂、聯苯型環氧樹脂、萘型環氧樹脂、芴型環氧樹脂等2官能苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；氫化雙酚A型環氧樹脂、氫化雙酚F型環氧樹脂、氫化2，2’-雙酚型環氧樹月旨、氫化4，4’_雙酚型環氧樹脂等氫化2官能苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；苯酚酚醛清漆型環氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環氧樹脂、二環戊二烯_苯酚型環氧樹脂、二環戊二烯_甲酚型環氧樹脂、四苯酚基乙烷型環氧樹脂等3官能以上的多官能苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；聚乙二醇型環氧樹脂、聚丙二醇型環氧樹脂、新戊二醇型環氧樹脂、1，6_己二醇型環氧樹脂等2官能脂肪醇縮水甘油醚型環氧樹脂；環己二醇型環氧樹脂、環己烷二甲醇型環氧樹脂、三環癸烷二甲醇型環氧樹脂等2官能脂環式醇縮水甘油醚型環氧樹脂；三羥甲基丙烷型環氧樹脂、山梨糖醇型環氧樹脂、甘油型環氧樹脂等3官能以上的多官能脂肪族醇縮水甘油醚型環氧樹脂；鄰苯二甲酸二縮水甘油酯等2官能芳香族縮水甘油酯；四氫化鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、六氫化鄰苯二甲酸二縮水甘油酯等2官能脂環式縮水甘油酯；N，N-二縮水甘油基苯胺、N，N-二縮水甘油基三氟甲基苯胺等2官能芳香族縮水甘油基胺；N，N,N’N’-四縮水甘油基_4，4-二氨基二苯基甲烷、1，3-雙(N，N-縮水甘油基氨基甲基)環己烷、N，N，鄰_三縮水甘油基_對_氨基苯酚等3官能以上的多官能芳香族縮水甘油基胺；脂環族二環氧基縮醛、脂環族二環氧基己二酸酯、脂環族二環氧基羧酸酯、乙烯基環己烯二氧化物等2官能脂環式環氧樹脂；2，2-雙(羥甲基)-1-丁醇的1，2-環氧基-4-(2-環氧乙基)環己烷加成物等3官能以上的多官能脂環式環氧樹脂；三縮水甘油基異氰脲酸酯等3官能以上的多官能雜環式環氧樹脂；有機聚硅氧烷型環氧樹脂等含硅的2官能或3官能以上的多官能環氧樹脂等。其中，從透明性和耐熱性的觀點考慮，優選上述2官能苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；上述氫化2官能苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；上述3官能以上的多官能苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；上述2官能脂環式醇縮水甘油醚苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；上述2官能芳香族縮水甘油酯苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；上述2官能脂環式縮水甘油酯苯酚縮水甘油醚型環氧樹脂；上述2官能脂環式環氧樹脂；上述多官能脂環式環氧樹脂；上述多官能雜環式環氧樹脂；上述2官能或多官能含硅環氧樹脂。以上化合物，可以單獨使用或2種以上組合使用，此外，還可以和其它聚合性化合物組合使用。(B)成分的聚合性化合物的配合量，相對于(A)成分和(B)成分的總量，優選為1590質量％。如果為15質量％以上，則在聚合(A)成分的含羧基的堿可溶性聚合物時容易固化，并且耐顯影液性足夠，而如果為90質量％以下，則固化膜的膜強度和撓性足夠。由以上觀點考慮，(B)成分的配合量進一步優選為2080質量％，并特別優選為2575質量％。以下，對本發明中所用的(C)成分進行說明。作為(C)成分的聚合引發劑，只要是可以通過紫外線等活性光線的照射而聚合開始的物質，就沒有特別限制，例如，在使用具有乙烯性不飽和基團的化合物作為(B)成分的聚合性化合物時，可以列舉光自由基聚合引發劑等。作為光自由基聚合引發劑，沒有特別限制，例如，可以列舉2，2_二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮等苯偶姻縮酮、1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-羥基-l-{4[4-(2-羥基-2-甲基丙酰基)芐基]苯基}-2_甲基丙烷-1-酮等α-羥基酮；苯基乙醛酸甲酯、苯基乙醛酸乙酯、氧基苯基乙酸2-(2_羥基乙氧基)乙酯、氧基苯基乙酸2-(2-氧基-2-苯基乙酰氧基乙氧基)乙酯等乙醛酸酯；2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉-4-基苯基)-丁烷-1-酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基芐基)-1-(4-嗎啉-4-基苯基)-丁烷-1-酮、1，2_甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-(4-嗎啉)-2-基丙烷-1-酮等α-氨基酮；1，2_辛二酮，1-[4-(苯硫基)，2-(0_苯甲酰肟)]、乙酮，1-[9_乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9Η-咔唑-3-基]，1-等肟酯；雙(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物、雙(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4，4-三甲基戊基膦氧化物、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基膦氧化物等膦氧化物；2-(鄰氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4，5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4，5_二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(對甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物等2，4，5-三芳基咪唑二聚物；二苯甲酮、N，N’-四甲基_4，4’-二氨基二苯甲酮、N，N’-四乙基_4，4’-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4’-二甲基氨基二苯甲酮等二苯甲酮化合物；2-乙基蒽醌、菲醌、2_叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1，4_萘醌、9，10-菲醌、2-甲基-1，4-萘醌、2，3-二甲基蒽醌等醌化合物；苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚；苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；偶苯酰二甲基縮酮等偶苯酰化合物；9-苯基吖啶、1，7_雙(9，9’_吖啶基庚烷)等吖啶化合物；N-苯基甘氨酸、香豆素等。此外，在所述2，4，5-三芳基咪唑二聚物中，三芳基咪唑部位的芳基的2個取代基，可以相同而得到對稱化合物，也可以不同而得到非對稱化合物。其中，從固化性、透明性和耐熱性的觀點考慮，優選上述α-羥基酮；上述乙醛酸酯；上述肟酯；上述膦氧化物。以上的光自由基聚合引發劑，可以單獨使用或2種以上組合使用。此外，還可以和適當的增感劑組合使用。此外，在使用環氧樹脂作為(B)成分的聚合性化合物時，作為(C)成分的光聚合引發劑，可以列舉光陽離子聚合引發劑等。作為光陽離子聚合引發劑，例如，可以列舉對甲氧基苯重氮鐺六氟磷酸鹽等芳基重氮鐺鹽、二苯基碘鐺六氟磷酸鹽、二苯基碘鐺六氟銻酸鹽等二芳基碘鐺鹽；三苯基锍六氟磷酸鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟磷酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍五氟羥基銻酸鹽等三芳基锍鹽；三苯基硒鐺六氟磷酸鹽、三苯基硒鐺四氟硼酸鹽、三苯基硒鐺六氟銻酸鹽等三芳基硒鐺鹽；二甲基苯甲酰甲基锍六氟銻酸鹽、二乙基苯甲酰甲基锍六氟銻酸鹽等二烷基苯甲酰甲基锍鹽；4-羥基苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4-羥基苯基芐基甲基锍六氟銻酸鹽等二烷基-4-羥基鹽；α-羥甲基苯偶姻磺酸酯、N-羥基酰亞胺磺酸鹽、α-磺酰氧基酮、β-磺酰氧基酮等磺酸酯等。其中，從固化性、透明性和耐熱性的觀點考慮，優選上述三芳基锍鹽。這些熱和光陽離子聚合引發劑，可以單獨使用或2種以上組合使用。此外，還可以和適當的增感劑組合使用。(C)成分的聚合引發劑的配合量，相對于(A)成分和(B)成分的總量100質量份，優選為0.110質量份。如果為0.1質量份以上，則固化充分，而如果為10質量份以下，則可以得到足夠的光透過性。由以上觀點考慮，(C)成分的配合量進一步優選為0.37質量份，特別優選為0.55質量份。并且，除此之外，根據需要，還可以在本發明所用的光波導形成用感光性樹脂組合物中，添加抗氧劑、抗黃變劑、紫外線吸收劑、可見光吸收劑、著色劑、增塑劑、穩定劑、填充劑等所謂的添加劑。以下，對于本發明中所用的光波導形成用感光性樹脂組合物進行說明。本發明中所用的光波導形成用感光性樹脂組合物，可以使用適當的有機溶劑進行稀釋，作為光波導形成用感光性樹脂清漆來使用。作為此處所用的有機溶劑，只要可以溶解該樹脂組合物，就沒有特別限制，例如，可以列舉甲苯、二甲苯、均三甲苯、異丙苯、對甲基異丙基苯等芳香族烴；四氫呋喃、1，4_二惡烷等環狀醚；甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇等醇；丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等酮；乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、Y-丁內酯等酯；碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等碳酸酯；乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚等多元醇烷基醚；乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯等多元醇烷基醚乙酸酯；N，N’-二甲基甲酰胺、N，N’-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等酰胺。這些有機溶劑，可以單獨使用或2種以上組合使用。此外，樹脂清漆中的固體成分濃度，通常優選為2080質量％。在調制光波導形成用感光性樹脂清漆時，優選通過攪拌進行混合。攪拌方法沒有特別限制，但是從攪拌效率的觀點考慮，優選使用螺旋槳進行攪拌。攪拌時螺旋槳的旋轉速度，沒有特別限制，并優選為101，OOOmirT1。如果為IOmirT1以上，則(A)(C)成分和有機溶劑的各種成分充分混合，而如果為I1OOOmirT1以下，則由螺旋槳的旋轉所產生的氣泡的混入變少。由以上觀點考慮，螺旋槳的旋轉速度進一步優選為50SOOmirT1，并特別優選為100SOOmirT1。攪拌時間沒有特別限制，優選為124小時。如果為1小時以上，則(A)(C)成分和有機溶劑的各種成分充分混合，而如果為24小時以下，則可以縮短清漆調制時間，實現生產率的提高。調制的光波導形成用感光性樹脂清漆，優選使用孔徑為50μπι以下的過濾器進行過濾。如果孔徑為50μm以下，則可以除去大的異物，在涂布清漆時不會產生排斥等，并且可以抑制芯部傳輸的光的散射。由以上觀點考慮，進一步優選使用孔徑為30μπι以下的過濾器進行過濾，并特別優選使用孔徑為10μm以下的過濾器進行過濾。調制的光波導形成用感光性樹脂清漆，優選在減壓下進行脫泡。脫泡方法沒有特別限制，例如，可以列舉使用真空泵和鐘形罩、帶有真空裝置的脫泡裝置的方法。減壓時的壓力沒有特別限制，優選樹脂清漆中所含的有機溶劑不會沸騰的壓力。此外，減壓脫泡時間沒有特別限制，優選為360分鐘。如果為3分鐘以上，則可以除去溶解在樹脂清漆內的氣泡，而如果為60分鐘以下，則樹脂清漆中所含的有機溶劑不揮發。以下，對本發明中所用的光波導形成用感光性樹脂膜進行說明。本發明中所用的光波導形成用感光性樹脂膜，可以通過將由所述光波導形成用感光性樹脂組合物所形成的，含有所述(A)(C)的光波導形成用感光性樹脂清漆涂布在適當的支持膜上，并除去溶劑而很容易地制造。此外，也可以將光波導形成用感光性樹脂組合物直接涂布在支持膜上而制造。作為支持膜，沒有特別限制，例如，可以列舉聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯；聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴；聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚醚硫化物、聚醚砜、聚醚酮、聚苯醚、聚苯硫醚、聚芳酯、聚砜、液晶聚合物等。其中，從柔軟性及韌性的觀點考慮，優選聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚苯醚、聚苯硫醚、聚芳酯、聚砜。此外，從提高曝光用活性光線的透過率以及降低芯圖案側壁的皸裂的觀點考慮，進一步優選使用高透明型的支持膜。作為這種高透明性的支持膜，可以列舉東洋紡織株式IttfUit白勺cosmoshineA1517>cosmoshineA4100。另外，從提高和樹脂層的剝離性的觀點考慮，可以根據需要使用通過聚硅氧烷類化合物、含氟化合物等實施了脫模處理的膜。支持膜的厚度，可以根據目標柔軟性適當改變，優選為3250μm。如果為3μπι以上，則膜強度充足，而如果為250μm以下，則可以得到足夠的柔軟性。由以上觀點考慮，支持膜的厚度進一步優選為5200μm,并特別優選為7150μm。其中，用于芯部形成用感光性樹脂膜的支持膜的厚度優選為550μπι。如果為5μm以上，則作為支持物的強度充足，而如果為50μm以下，則形成芯圖案時，光掩模和芯部形成用感光性樹脂組合物層的間隙不會變大，圖像形成性良好。由以上觀點考慮，用于芯部形成用感光性樹脂膜的支持膜的厚度進一步優選為1040μm,并特別優選為1530μm0就通過在支持膜上涂布光波導形成用感光性樹脂清漆或光波導形成用感光性樹脂組合物而制造的感光性樹脂膜來說，也可以根據需要在樹脂層上粘貼保護膜，形成由支持膜、樹脂層和保護膜所形成的3層結構。作為保護膜，沒有特別限制，從柔軟性和韌性的觀點考慮，例如，可以適當列舉聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯；聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴等。另外，從提高和樹脂層的剝離性的觀點考慮，可以根據需要使用通過聚硅氧烷類化合物、含氟化合物等實施了脫模處理的膜。保護膜的厚度，可以根據目標柔軟性適當改變，優選為10250μm。如果為10μm以上，則膜強度充足，而如果為250μm以下，則可以得到足夠的柔軟性。由以上觀點考慮，保護膜的厚度進一步優選為15200μm，特別優選為20150μm。對于本發明中所用的光波導形成用感光性樹脂膜的樹脂層的厚度，沒有特別限制，但以干燥后的厚度計，通常優選為5500μm。如果為5μπι以上，則由于厚度足夠，因而樹脂膜或樹脂膜固化物的強度充分，而如果為500μπι以下，則由于充分進行了干燥，因此樹脂膜中的殘留溶劑量不會增加，并在加熱樹脂膜固化物時，不會發泡。如此所得到的光波導形成用樹脂膜，可以通過例如卷繞為卷軸狀而很容易地保存。或者，還可以將卷軸狀的膜切割為適當的尺寸，而形成片狀進行保存。以下，對于通過本發明的制造方法所形成的光波導進行說明。就通過本發明的制造方法所形成的光波導而言，光傳輸損耗優選為0.3dB/cm以下。如果為0.3dB/cm以下，則光損失變小，傳送信號的強度充足。從以上觀點考慮，更優選0.2dB/cm以下。就通過本發明的制造方法所形成的光波導而言，在溫度為85°C、濕度為85%的高溫高濕放置試驗實施1000小時后的光傳輸損耗優選為0.3dB/cm以下。如果為0.3dB/cm以下，則光損失變小，傳送信號的強度充足。另外，所謂溫度為85°C、濕度為85%的高溫高濕放置試驗，是指在按照JPCA規格(JPCA-PE02-05-01S)的條件下實施的高溫高濕放置試驗。就通過本發明的制造方法所形成的光波導而言，在溫度為-55°C和125°C之間的溫度循環試驗實施1000個循環后的光傳輸損耗優選為0.3dB/cm以下。如果為0.3dB/cm以下，則光損失變小，傳送信號的強度充足。另外，所謂溫度為_55°C和125°C之間的溫度循環試驗，是指在按照JPCA規格(JPCA-PE02-05-01S)的條件下實施的溫度循環試驗。就通過本發明的制造方法所形成的光波導而言，在最高溫度為265°C的回流試驗實施3次后的光傳輸損耗優選為0.3dB/cm以下。如果為0.3dB/cm以下，則光損失變小，傳送信號的強度充足，同時，由于通過回流步驟進行部件安裝，因此適用范圍廣泛。另外，所謂最高溫度為265°C的回流試驗，是指在按照JEDEC規格(JEDECJESD22A113E)的條件下實施的無鉛焊接回流試驗。通過本發明的制造方法所形成的光波導，由于耐熱性和透明性優異，因此可以用作光模件的光傳輸通路。作為光模件的形式，例如，可以列舉在光波導的兩端連接了光纖的帶有光纖的光波導、在光波導的兩端連接了連接器的帶有連接器的光波導、將光波導和印刷線路板復合的光電復合基板、將光波導和使光信號與電信號相互轉化的光/電轉化元件組合起來的光電轉化模件、將光波導和波長分割過濾器組合起來的波長合/分波器等。另外，在光電復合基板中，作為復合化的印刷線路板，沒有特別限制，可以使用玻璃環氧基板等硬質基板、聚酰亞胺基板等撓性基板中的任一種。實施例以下，通過實施例更加具體地說明本發明，但本發明并不受到這些實施例的任何限制。制造例1[含羧基的堿可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-I的制作]在具有攪拌機、冷卻管、氣體導入管、滴入漏斗和溫度計的燒瓶中，稱量97質量份丙二醇單甲醚乙酸酯和24質量份乳酸甲酯，并一邊導入氮氣一邊攪拌。使液溫升至80°C，并用3小時滴入18質量份N-環己基馬來酰亞胺、43質量份甲基丙烯酸二環戊烯酯、53質量份甲基丙烯酸-2-羥基乙酯、20質量份甲基丙烯酸、1質量份2，2’-偶氮二異丁腈、65質量份丙二醇單甲醚乙酸酯和16質量份乳酸甲酯的混合物，然后在80°C攪拌3小時，并進一步在120°C連續攪拌1小時，然后冷卻至室溫。接著，加入0.07質量份二丁基錫二月桂酸酯和0.2質量份對甲氧基苯酚，并一邊導入空氣一邊攪拌。使液溫升至60°C，用30分鐘滴入31質量份2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯和47質量份丙二醇單甲醚乙酸酯的混合物，然后在60°C連續攪拌4小時，得到(甲基)丙烯酸聚合物(P-1溶液(固體成分為40質量％))。[酸值的測定]測定P-I的酸值，結果為60mgK0H/g。另外，酸值是由中和P_1溶液所需的0.1mol/L氫氧化鉀水溶液量所算出的。這時，將作為指示劑所添加的酚酞由無色變為粉色的點作為中和點。[重均分子量的測定]使用GPC(東曹株式會社制造，商品名SD-8022/DP-8020/RI-8020)測定P-I的重均分子量(標準聚苯乙烯換算)，結果為31，000。另外，色譜柱使用日立化成工業株式會社制造的商品GelpackGL-A150-S/GL-A160-S。制造例2[含羧基的堿可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-2的制作]在具有攪拌機、冷卻管、氣體導入管、滴入漏斗和溫度計的燒瓶中，稱量97質量份丙二醇單甲醚乙酸酯和24質量份乳酸甲酯，并一邊導入氮氣一邊攪拌。使液溫升至80°C，用3小時滴入18質量份N-環己基馬來酰亞胺、43質量份甲基丙烯酸芐酯、53質量份甲基丙烯酸-2-羥基乙酯、20質量份甲基丙烯酸、1質量份2，2’-偶氮二異丁腈、65質量份丙二醇單甲醚乙酸酯和16質量份乳酸甲酯的混合物，然后在80°C攪拌3小時，并進一步在120°C連續攪拌1小時，得到(甲基)丙烯酸聚合物P-2溶液(固體成分為40質量％)。使用和制造例1同樣的方法，測定P-2的酸值和重均分子量，結果分別為96mgK0H/g和29，000。制造例3[含羧基的堿可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-3的制作]在具有攪拌機、冷卻管、氣體導入管、滴入漏斗和溫度計的燒瓶中，稱量150質量份(固體成分為60質量份)上述P-2溶液(固體成分為40質量％)、0.04質量份二丁基錫二月桂酸酯、0.1質量份對甲氧基苯酚和21質量份丙二醇單甲醚乙酸酯，并一邊導入空氣一邊攪拌。使液溫升至60°C，用30分鐘滴入14質量份2_甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯，然后在60°C連續攪拌4小時，得到(甲基)丙烯酸聚合物P-3溶液(固體成分為40質量％)。使用和制造例1同樣的方法，測定P-3的酸值和重均分子量，結果分別為58mgK0H/g和30，000。制造例4[含羧基的堿可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-4的制作]在具有攪拌機、冷卻管、氣體導入管、滴入漏斗和溫度計的燒瓶中，稱量60質量份丙二醇單甲醚乙酸酯和60質量份乳酸甲酯，并一邊導入氮氣一邊攪拌。使液溫升至80°C，用3小時滴入18質量份N-環己基馬來酰亞胺、61質量份甲基丙烯酸芐酯、18質量份甲基丙烯酸-2-羥基乙酯、37質量份甲基丙烯酸、1質量份2，2’_偶氮二異丁腈、40質量份丙二醇單甲醚乙酸酯和40質量份乳酸甲酯的混合物，然后在80°C攪拌3小時，并進一步在120°C連續攪拌1小時，然后冷卻至室溫。接著，加入28質量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、0.2質量份對甲氧基苯酚和43質量份丙二醇單甲醚乙酸酯，并一邊導入空氣一邊攪拌。使液溫升至80°C，并加入0.7質量份三苯膦，然后在80°C攪拌1小時，并進一步在100°C連續攪拌24小時，得到(甲基)丙烯酸聚合物P-4溶液(固體成分為40質量％)。使用和制造例1同樣的方法，測定P-4的酸值和重均分子量，結果分別為SOmgKOH/g和31，000。制造例5[含羧基的堿可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-5的制作]在具有攪拌機、冷卻管、氣體導入管、滴入漏斗和溫度計的燒瓶中，稱量94質量份丙二醇單甲醚乙酸酯和40質量份乳酸甲酯，并一邊導入氮氣一邊攪拌。使液溫升至80°C，用3小時滴入20質量份N-環己基馬來酰亞胺、76質量份甲基丙烯酸-2-乙基己酯、25質量份甲基丙烯酸-2-羥基乙酯、27質量份甲基丙烯酸、0.8質量份2，2’_偶氮二異丁腈、63質量份丙二醇單甲醚乙酸酯和27質量份乳酸甲酯的混合物，然后在80°C攪拌3小時，并進一步在120°C連續攪拌1小時，然后冷卻至室溫。接著，加入21質量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、0.3質量份對甲氧基苯酚和32質量份丙二醇單甲醚乙酸酯，并一邊導入空氣一邊攪拌。使液溫升至80°C，并加入0.7質量份三苯膦，然后在80°C攪拌1小時，并進一步在100°C連續攪拌24小時，得到(甲基)丙烯酸聚合物P-5溶液(固體成分為40質量％)。使用和制造例1同樣的方法，測定P-5的酸值和重均分子量，結果分別為56mgK0H/g和47，000。實施例1[芯部形成用感光性樹脂清漆C0V-1的調制]在廣口塑料瓶中稱量作為(A)含羧基的堿可溶性(甲基)丙烯酸聚合物的150質量份(固體成分為60質量份)所述P-I溶液(固體成分為40質量％)、作為⑶聚合性化合物的20質量份乙氧化雙酚A二丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造，商品SA-BPE-IO)和20質量份對異丙苯基苯氧基乙基丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造，商品名A-CMP-1E)，以及作為(C)聚合引發劑的1質量份1-[4-(2_羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮(汽巴精化株式會社制造，商品名IRGA⑶RE2959)和1質量份雙(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化株式會社制造，商品名IRGA⑶RE819)，并使用攪拌機，在溫度為25°C、轉數為400rpm的條件下，攪拌6小時，調制芯部形成用感光性樹脂清漆。然后，使用孔徑2μm的聚四氟乙烯(fU7口>)過濾器(ADVANTEC東洋株式會社制造，商品名PF020)和孔徑為0.5μm的膜過濾器(ADVANTEC東洋株式會社制造，商品名J050A)，在溫度為25°C、壓力為0.4MPa的條件下進行加壓過濾。接著，使用真空泵和鐘形罩，在減壓度為50mmHg的條件下減壓脫泡15分鐘，得到芯部形成用感光性樹脂清漆C0V-1。[芯部形成用感光性樹脂膜C0F-1的制作]使用涂布機(株式會社平野(HiranoTecseed)”“”一K制造，多功能涂布機TM-MC)將所述芯部形成用感光性樹脂清漆C0V-1涂布在聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(東洋紡織株式會社制造，商品名A1517，厚度為16μm)的非處理面上，并在100°C干燥20分鐘，接著，粘貼脫模聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(帝人杜邦薄膜株式會社制造，商品名A31，厚度為25μπι)作為保護膜，得到芯部形成用感光性樹脂膜C0F-1。這時，樹脂層的厚度可以通過調節涂布機的間隙而任意調整，在本實施例中，固化后的膜厚調節為50μm。[包覆層形成用感光性樹脂清漆CLV-I的調制]在廣口塑料瓶中稱量作為㈧含羧基的堿可溶性(甲基)丙烯酸聚合物的150質量份(固體成分為60質量份)所述P-I溶液(固體成分為40質量％)、作為⑶聚合性化合物的20質量份乙氧化異氰脲酸三丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造，商品名A-9300)和20質量份乙氧化環己烷二甲醇二丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造，商品名A-CHD-4E)，以及作為(C)聚合引發劑的1質量份1-[4-(2_羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮(汽巴精化株式會社制造，商品名IRGA⑶RE2959)和1質量份雙(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化株式會社制造，商品名IRGA⑶RE819)，并使用攪拌機，在溫度為25°C、轉數為^OmirT1的條件下，攪拌6小時，調制包覆層形成用感光性樹脂清漆。然后，使用孔徑2μπι的聚四氟乙烯(polyflon)過濾器(ADVANTEC東洋株式會社制造，商品名PF020)和孔徑為0.5μm的膜過濾器(ADVANTEC東洋株式會社制造，商品名J050A)，在溫度為25°C、壓力為0.4MPa的條件下進行加壓過濾。接著，使用真空泵和鐘形罩，在減壓度為50mmHg的條件下減壓脫泡15分鐘，得到包覆層形成用感光性樹脂清漆CLV-I。[包覆層形成用感光性樹脂膜CLF-I的制作]使用涂布機(株式會社平野(HiranoTecseed)制造，多功能涂布機TM-MC)將所述包覆層形成用感光性樹脂清漆CLV-I涂布在聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(東洋紡織株式會社制造，商品名A1517，厚度為16μm)的非處理面上，并在100°C干燥20分鐘，接著，粘貼脫模聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(帝人杜邦薄膜株式會社制造，商品名A31，厚度為25μπι)作為保護膜，得到包覆層形成用感光性樹脂膜CLF-I。這時，樹脂層的厚度可以通過調節涂布機的間隙而任意調整，在本實施例中，固化后的膜厚調節為，下部包覆層形成用感光性樹脂膜為30μm,上部包覆層形成用感光性樹脂膜為80μm。[光波導的制作]使用輥軸層壓機(日立化成TechnoPlant株式會社制造，商品名HLM-1500)，在壓力為0.4MPa、溫度為80°C、速度為0.4m/min的條件下，將除去了保護膜(A31)的下部包覆層形成用感光性樹脂膜CLF-I層疊在FR-4基板(日立化成工業株式會社制造，商品名E-679FB)上。進一步，使用真空加壓式層壓機(株式會社名機制作所制造，商品名MVLP-500/600)，在壓力為0.5MPa、溫度為80°C以及加壓時間為30秒的條件下進行壓合。接著，使用紫外線曝光機(大日本網屏株式會社制造，商品名MAP-1200-L)，照射2000mJ/cm2紫外線(波長365nm)后，除去支持膜(A1517)，形成下部包覆層。接著，使用所述輥軸層壓機，在壓力為0.4MPa、溫度為80°C、速度為0.4m/min的條件下，將除去了保護膜(A31)的芯部形成用感光性樹脂膜C0F-1層疊在下部包覆層上。進一步，使用所述真空加壓式層壓機，在壓力為0.5MPa、溫度為80°C以及加壓時間為30秒的條件下進行壓合。接著，通過寬度為50μm的負光掩膜，并使用所述紫外線曝光機，照射200mJ/cm2紫外線(波長365nm)，曝光芯部(芯圖案)。在80°C曝光5分鐘后，進行加熱，然后除去支持膜(A1517)，使用1質量％的碳酸鈉水溶液進行顯影。接著，使用0.3質量％的硫酸水溶液(PH=1)洗滌，并進一步使用純水洗滌，然后在100°C加熱干燥1小時。接著，使用所述真空加壓式層壓機，在壓力為0.5MPa、溫度為80°C以及加壓時間為30秒的條件下，將除去了保護膜(A31)的上部包覆層形成用感光性樹脂膜CLF-I層疊在芯圖案和下部包覆層上。照射2000mJ/cm2紫外線(波長365nm)，并除去支持膜(A1517)，然后通過在130°C加熱處理1小時，形成上部包覆層，得到帶有玻璃環氧樹脂基板的光波導。然后，使用切片機(株式會社DISC制造，商品名DAD-341)，切割波導長度為IOcm的光波導。實施例28禾Π比較例14按照表1所示的配合比，調制芯部形成用感光性樹脂清漆C0V-24。并且，按照表2所示的配合比，調制包覆層形成用感光性樹脂清漆CLV-24。使用和實施例1相同的方法，制作芯部形成用感光性樹脂膜C0F-24和包覆層形成用感光性樹脂膜CLF-24。除了使用這些光波導形成用感光性樹脂膜，并使用表3所示的堿性顯影液作為堿性顯影液外，使用和實施例1相同的方法，制作光波導。光波導制作中所用的芯部形成用感光性樹脂膜和包覆層形成用感光性樹脂膜的組合以及光波導的制造方法示于表3。另外，在比較例14中，不進行顯影后的酸洗滌而制作光波導。[表1]__配合成分COV~1COV-2COV-3COV-4P-1^ii.*1150(固體成分40質量(固體成分60)_____卩-2溶液*2150(A)(甲基)丙烯酸(固體成分40質量％)__(固體成分60)____聚合物(質量份)P-3溶液‘3150(固體成分40質量％)__(固體成分60)_」P-4溶液·4-150(固體成分40質量％)_____(固體成分60)A-BPE-IO'5__20____20__20(B)聚合性化合EA-0500*6__-___20__-一__—-物(質量份)A-CMP-IE*7__20__20___-_.__-A-40IP*8-2020(C)聚合引發劑IRGACURE2959*911__1____1(質量份)IRGACURE819*101__1__1__1·芯部形成用感光性樹脂膜.__COF-ICOF-2COF-3COF-4*1通過制造例1所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*2通過制造例2所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*3通過制造例3所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*4通過制造例4所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*5乙氧化雙酚A二丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造)*6乙氧化芴型二丙烯酸酯(大阪氣體化學株式會社制造)*7對異丙苯基苯氧基乙基丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造)*8:2_羥基_3-(鄰苯基苯氧基)丙基丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造)*9[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基丙烷酮(汽巴精化株式會社制造)*10雙(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化株式會社制造)[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>*1通過制造例1所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*11通過制造例5所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*12乙氧化異氰脲酸三丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造)*13氫化雙酚A型環氧基丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造)*14乙氧化環己烷二甲醇二丙烯酸酯(新中村化學工業株式會社制造)*15乙氧化異氰脲酸二丙烯酸酯(東亞合成株式會社制造):1-[4-(2_羥基乙氧基)苯基]_2_羥基_2_甲基丙烷酮(汽巴精化株式會社制造)*10雙(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化株式會社制造)[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>以下方法制作光波導。[光波導的制作]使用輥軸層壓機(日立化成TechnoPlant株式會社制造，商品名HLM-1500)，在壓力為0.4MPa、溫度為80°C、速度為0.4m/min的條件下，將除去了保護膜(A31)的下部包覆層形成用感光性樹脂膜CLF-I層疊在FR-4基板(日立化成工業株式會社制造，商品名E-679FB)上。進一步，使用真空加壓式層壓機(株式會社名機制作所制造，商品名MVLP-500/600)，在壓力為0.5MPa、溫度為80°C以及加壓時間為30秒的條件下進行壓合。接著，使用紫外線曝光機(大日本網屏株式會社制造，商品名MAP-1200-L)，照射2000mJ/cm2紫外線(波長365nm)后，除去支持膜(A1517)，形成下部包覆層。接著，使用所述輥軸層壓機，在壓力為0.4MPa、溫度為80°C、速度為0.4m/min的條件下，將除去了保護膜(A31)的芯部形成用感光性樹脂膜C0F-1層疊在下部包覆層上。進一步，使用所述真空加壓式層壓機，在壓力為0.5MPa、溫度為80°C以及加壓時間為30秒的條件下進行壓合。接著，通過寬度為50μm的負光掩膜，并使用所述紫外線曝光機，照射200mJ/cm2紫外線(波長365nm)，曝光芯部(芯圖案)。在80°C曝光5分鐘后，進行加熱，然后除去支持膜(A1517)，使用含有硫酸鎂的1質量％碳酸鈉水溶液進行顯影，其中硫酸鎂的量是作為鎂離子為100質量ppm。接著，使用含有硫酸鎂的水進行洗滌，其中硫酸鎂的量是作為鎂離子為100質量ppm，然后進一步使用純水洗滌，再在100°C加熱干燥1小時。接著，使用所述真空加壓式層壓機，在壓力為0.5MPa、溫度為80°C以及加壓時間為30秒的條件下，將除去了保護膜(A31)的上部包覆層形成用感光性樹脂膜CLF-I層疊在芯圖案和下部包覆層上。照射2000mJ/cm2紫外線(波長365nm)，并除去支持膜(A1517)，然后通過在130°C下加熱處理1小時，形成上部包覆層，得到帶有玻璃環氧樹脂基板的光波導。然后，使用切片機(株式會社DISC制造，商品名DAD-341)，切割波導長度為IOcm的光波導。實施例1020和比較例58除了使用所述芯部形成用感光性樹脂膜C0F-1和C0F-4，包覆層形成用樹脂膜CLV-I和CLV-4，并使用表4所示的堿性顯影液和洗滌液作為堿性顯影液和洗滌液外，使用和實施例9相同的方法，制作光波導。光波導制作中所用的芯部形成用感光性樹脂膜和包覆層形成用感光性樹脂膜的組合以及光波導的制造方法示于表4。[表4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>^Sj^^Il垵燭爺雄砩&-&^1%1寸IddTJ88輜沒氣^I^^^媯^雄-fs-Bs^O/。一寸-SQ寸-dou.^制^^Il樓媯^幕^謎洪ITsuIIJ89￥■社“^^Il—挺縫關盔鸞。/a^ISo-IfcooF_H_______K__Il__X^^^^筆f趣缺娑雄B^fM%^Tdnu寸—dou宕軍螭械JE________.___^_^____^~一Ε眾孕‘^Il姨姨^埭-fB-Ss^m%一寸ιπυ寸-do。61^~...^^該媯^雄-f-y。一^lsu寸-ao。^^^I~%I寸—§寸-J8^S^長,53Γ-WIST^^挺媯關雄4。/。一寸Iπο./寸Ifcoo,9雙I^#奮樓姨關雄^-y。一寸lPHqu寸-dou..■51螺桄心..^I02取VKf鋌媯乂-ef磁博。/UVso7Jou2？蝎垅中^SKfI丨！挺勉^霊鸞。/二^~TsuTfcouP為I^葉--^羣-fITsuI—do。H每螭垅光^~^^丨丨^舊館I^i^^oT-HVsuTfcouIl軍螭垅的_____^__^__I_____^__；__—_m^審博MM^湊媯4-srn/oT—ITsuιιδυO二φ€秘定OnI___________^50202鋌媯^蓐鎦博％1Vsu-1Su^JI8_____^__^___的長—^----^ss_慰波_1-^----^----輸以I用使_-__11_-__-_4U2244Oi22Oo______FLS-300-01-VCL)作為光源，以及光接收感應器(株式會社ADVANTEST制造，商品名Q82214)、入射纖維(GI-50/125多模纖維，NA=0.20)和出射纖維(SI-114/125，NA=0.22)，并通過截斷法(cutback)(測定波導長度為10、5、3、2cm)測定實施例120和比較例18中所得的光波導(波導長度為IOcm)的光傳輸損耗，并根據以下基準進行評價。〇0.3dB/cm以下X大于0.3dB/cm[高溫高濕試驗]使用高溫高濕試驗機(ESPEC株式會社制造，商品名PL-2KT)，并在按照JPCA規格(JPCA-PE02-05-01S)的條件下，對實施例120和比較例18中所得的光波導(波導長度為IOcm)實施1000小時溫度為85°C、濕度為85%的高溫高濕放置試驗。使用和所述相同的光源、光接收感應器、入射纖維和出射纖維，測定高溫高濕試驗實施后的光波導的光傳輸損耗，并根據以下基準進行評價。〇0.3dB/cm以下X大于0.3dB/cm[溫度循環試驗]使用溫度循環試驗機(楠本化成株式會社制造，商品名ETACWINTECHNT1010)，并在按照JPCA規格(JPCA-PE02-05-01S)的條件下，對實施例120和比較例18中所得的光波導(波導長度為IOcm)實施1000循環的溫度為-55°C和125°C之間的溫度循環試驗。詳細的溫度循環試驗條件示于表5。[表5]____溫度('C)__時間(min)步驟1-5515ι個循環周期-—------__步驟Σ125_15使用和所述相同的光源、光接收感應器、入射纖維和出射纖維，測定溫度循環試驗實施后的光波導的光傳輸損耗，并根據以下基準進行評價。〇0.3dB/cm以下X大于0.3dB/cm[回流試驗]使用回流試驗機(古河電氣工業公司制造，商品名salamanderXNA-645PC)，并在按照IPC/JEDECJ-STD-020B的條件下實施3次最高溫度為265°C的回流試驗。詳細的回流條件示于表6，回流爐內的溫度曲線示于圖1。[表6]<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>使用和所述相同的光源、光接收感應器、入射纖維和出射纖維，測定回流試驗實施后的光波導的光傳輸損耗，并根據以下基準進行評價。〇0.3dB/cm以下X大于0.3dB/cm以上的光傳輸損耗的測定結果示于表7。<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>中和/或顯影后未使用2價以上的金屬離子處理而形成光波導，或者在顯影后未進行酸洗滌所形成的光波導，其透明性和可靠性差。工業實用性通過使用本發明的制造方法，可以有效地將芯圖案內殘存的不穩定1價鹽轉變為穩定的2價以上的鹽，或者可以有效地將其轉變回酸性官能基，因此能夠以高生產率得到透明性和可靠性優異的光波導。權利要求一種光波導的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂層的工序，曝光所希望圖案的工序，以及使用含有2價以上金屬離子的堿性顯影液進行顯影的工序。2.一種光波導的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂層的工序，曝光所希望圖案的工序，使用堿性顯影液進行顯影的工序，以及使用含有2價以上金屬離子的洗滌液或酸性水溶液進行洗滌的工序。3.如權利要求2所述的光波導的制造方法，其中，在所述顯影工序的堿性顯影液中含有2價以上的金屬離子。4.如權利要求13任一項所述的光波導的制造方法，其中，所述2價以上的金屬離子是鎂離子和/或鈣離子。5.如權利要求2所述的光波導的制造方法，其中，所述酸性水溶液是含有硫酸的水溶液。6.如權利要求2或5所述的光波導的制造方法，其中，所述酸性水溶液的pH為大于O且小于等于5。7.如權利要求16任一項所述的光波導的制造方法，其中，所述堿性顯影液是堿性水溶液。8.如權利要求16任一項所述的光波導的制造方法，其中，所述堿性顯影液是由堿性水溶液和1種以上的有機溶劑所形成的堿性準水系顯影液。9.如權利要求18任一項所述的光波導的制造方法，其中，所述感光性樹脂層是通過涂布感光性樹脂組合物而形成的。10.如權利要求18任一項所述的光波導的制造方法，其中，所述感光性樹脂層是層疊由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂膜而形成的。11.如權利要求110任一項所述的光波導的制造方法，其中，所述感光性樹脂組合物是含有具有羧基和酚性羥基中至少一種基團的化合物的樹脂組合物。12.如權利要求111任一項所述的光波導的制造方法，其中，所述感光性樹脂組合物是含有(A)含羧基的堿可溶性聚合物、(B)聚合性化合物和(C)光聚合引發劑的樹脂組合物。13.如權利要求12所述的光波導的制造方法，其中，(A)含羧基的堿可溶性聚合物是含羧基的堿可溶性(甲基)丙烯酸聚合物。14.由權利要求113任一項所述的制造方法所得到的光波導。15.如權利要求14所述的光波導，其光傳輸損耗為0.3dB/cm以下。16.如權利要求14或15所述的光波導，其在溫度為85°C、濕度為85%的高溫高濕放置試驗實施1000小時后的光傳輸損耗為0.3dB/cm以下。17.如權利要求1416任一項所述的光波導，其在溫度為-55°C和125°C之間的溫度循環試驗實施1000個循環后的光傳輸損耗為0.3dB/cm以下。18.如權利要求1417任一項所述的光波導，其在最高溫度為265°C的回流試驗實施3次后的光傳輸損耗為0.3dB/cm以下。全文摘要本發明提供一種光波導的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂層的工序，曝光所希望圖案的工序，以及使用含有2價以上金屬離子的堿性顯影液進行顯影的工序；本發明還提供光波導的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性樹脂組合物所形成的感光性樹脂層的工序，曝光所希望圖案的工序，使用堿性顯影液進行顯影的工序，以及使用含有2價以上金屬離子的洗滌液或酸性水溶液進行洗滌的工序。本發明還提供一種透明性和可靠性優異的光波導的制造方法以及通過該制造方法所制造的光波導。文檔編號G02B6/12GK101802667SQ20088010730公開日2010年8月11日申請日期2008年9月18日優先權日2007年9月19日發明者山口正利,牧野龍也,高橋敦之申請人:日立化成工業株式會社