光波導用感光性樹脂組合物和光波導芯層形成用光固化性薄膜、以及使用了它們的光波 ...的制作方法
【技術領域】
[0001] 本發明設及被用作構成在光通信、光信息處理、其他一般光學中廣泛使用的光/電 傳輸用混載曉性印刷電路板中的光波導的忍層等的形成材料的光波導用感光性樹脂組合 物和光波導忍層形成用光固化性薄膜、W及使用了它們的光波導、光/電傳輸用混載曉性印 刷電路板。
【背景技術】
[0002] 迄今為止，在面向光/電傳輸用混載曉性印刷電路板的光波導忍層形成材料中使 用環氧樹脂系的感光性樹脂組合物，使用該材料的忍層在圖案形成時隔著光掩模進行光照 射，由此來制作期望的忍圖案。基于運種忍層形成材料的固化的圖案化一般進行基于I線 (波長365nm)的照射的固化反應，出于提高該材料的靈敏度的目的，例如使用了具有陽離子 部位的JT共輛面積較寬的Ξ苯基梳陽離子的光產酸劑。
[0003] 但是，使用如上所述的光產酸劑時，光產酸劑自身的光裂解后所含的副產物（死 骸）的共輛面積也寬，變得吸收短波長區域的光，出現光波導損耗變高的傾向，運成為使用 了光固化系樹脂的光波導材料的技術問題(專利文獻1)。
[0004] 現有技術文獻 [000引專利文獻
[0006] 專利文獻1:日本特開號公報

【發明內容】
巧007] 發明要解決的問題
[0008] 作為消除上述技術問題的方法，例如，通過使用熱固化系樹脂、熱塑性樹脂來代替 光固化系的樹脂而制成不使用光產酸劑的配混體系，從而可W避免上述技術問題。然而，作 為光波導，在考慮到維持圖案設計的自由度等的情況下，優選采用如W往那樣使用光固化 系樹脂的配混體系，從運樣的觀點出發，正強烈要求屬于使用了光固化系樹脂的配混體系 且能夠實現光損耗的降低化的忍層形成材料。
[0009] 本發明是鑒于運樣的情況而作出的，其目的在于，提供作為光波導形成用材料、尤 其是忍層形成材料的、能夠實現例如在作為光波導的傳輸光的波長850nm下的低損耗化的 光波導用感光性樹脂組合物和光波導忍層形成用光固化性薄膜、W及使用了它們的光波 導、光/電傳輸用混載曉性印刷電路板。
[誦]用于解決問題的方案
[0011]為了達成上述目的，本發明的第1主旨為一種光波導用感光性樹脂組合物，其含有 光固化性樹脂和光聚合引發劑，上述光聚合引發劑為下述通式(1)表示的光產酸劑。
[0012]
[001引讓述式（1)中，Ri、R2為氨或碳數1~15的烷基，彼此可w相同也可w不同。]
[0014] 另外，本發明的第2主旨為一種光波導忍層形成用光固化性薄膜，其是將上述第1 主旨的光波導用感光性樹脂組合物形成為薄膜狀而成的。
[0015] 進而，本發明的第3主旨為一種光波導，其是形成有基材和在該基材上的包層、進 而在上述包層中形成有規定圖案的用于傳輸光信號的忍層而成的光波導，上述忍層是通過 使上述第1主旨的光波導用感光性樹脂組合物、或上述第2主旨的光波導忍層形成用光固化 性薄膜固化而形成的。
[0016] 并且，本發明的第4主旨為一種光/電傳輸用混載曉性印刷電路板，其具備上述第3 主旨的光波導。
[0017] 本發明人為了得到作為具備高透明性的、即可實現低損耗化的光波導的忍層形成 材料的感光性樹脂組合物而反復進行了深入研究。其結果發現，作為光聚合引發劑使用上 述通式(1)表示的光產酸劑時，可達成期望的目的，從而完成了本發明。
[0018] W往，作為一般的光波導忍層形成材料，為了賦予基于光固化的對該材料的圖案 化性，使用了具有因光照而產酸的靈敏度、并且具有包含寬的η共輛體系骨架的Ξ苯基梳骨 架的光產酸劑。然而，在具有運種骨架的光產酸劑中，短波長吸收的拖尾延伸至長波長區 域，成為低損耗化的阻礙。即，固化物的熱劣化(著色）的產生機理來自在樹脂氧化劣化中發 生的π共輛體系擴展因子的產生。W往，在光固化性樹脂的配方設計中，對于光產酸劑的選 擇方針，從圖案化性的觀點出發采用賦予了對曝光波長365nm的靈敏度的、具有包含比較寬 的η共輛體系的陽離子骨架(例如Ξ苯基梳鹽系）的光產酸劑。但是，本發明發現，該寬的η共 輛體系骨架是由于產酸后的陽離子殘渣(死骸)的氧化劣化中的η共輛體系的擴展而變得容 易著色的要因，因此適宜的是，使用二苯基艦鐵陽離子系的光產酸劑對高透明性(低損耗） 是有用的。
[0019] 在本發明中，作為光產酸劑，使用上述通式（1)表示的二苯基艦鐵陽離子系的光產 酸劑，因此完全沒有對曝光波長365nm的靈敏度，雖然需要混線曝光（寬頻光），但得到的固 化物比迄今為止使用的、使用了 Ξ苯基梳鹽系光產酸劑的固化物更難著色，能夠賦予高透 明性(低損耗）。 巧020]發明的效果
[0021] 運樣，本發明為含有前述通式（1)表示的光產酸劑的光波導用感光性樹脂組合物。 因此，使用該光波導用感光性樹脂組合物形成例如光波導的忍層時，可得到優異的高透明 性(低損耗）。
[0022] 并且，上述光聚合引發劑的含量為特定的范圍時，可得到良好的光固化性，并且能 夠得到更加優異的圖案化性和初始損耗的要求物性。
【具體實施方式】
[0023] 接著，對本發明的實施方式進行詳細說明。但是，本發明不受該實施方式的限定。
[0024] 《光波導用感光性樹脂組合物》
[0025] 本發明的光波導用感光性樹脂組合物下有時簡稱為"感光性樹脂組合物"。）是 使用光聚合性樹脂和特定的光聚合引發劑而得到的。本發明的特征在于，作為上述特定的 光聚合引發劑，使用后述的光產酸劑。需要說明的是，在本發明中，"液態"、或者"固體"是指 在25 Γ的溫度下呈現"液態"或"固體"狀態。
[0026] W下依次對各種成分進行說明。
[0027] <光聚合性樹脂〉
[0028] 作為上述光聚合性樹脂，可列舉出迄今為止使用的芳香族系樹脂等。并且，作為上 述芳香族系樹脂，優選使用常溫下顯示為固體狀的芳香族系樹脂。
[0029] 作為上述芳香族系樹脂，例如可列舉出雙酪A型環氧樹脂、甲酪酪醒清漆型環氧樹 月旨、含巧骨架的環氧樹脂、特殊酪醒清漆型環氧樹脂（例如Ξ菱化學株式會社制的157S70 等）、苯乙締系環氧樹脂（例如日油株式會社制的MARPR00F G-0250SP等)等。運些可W單獨 使用或組合巧巾W上使用。
[0030] 上述甲酪酪醒清漆型環氧樹脂在常溫下呈現為固體狀，例如可列舉出下述通式 (2)表示的甲酪酪醒清漆型環氧樹脂。
[0031]
[00創[上述式(2)中，R為碳數1~6的烷基，彼此可W相同也可W不同。另外，η為正數。]
[0033] 上述式(2)中，優選R全部為甲基。
[0034] 作為上述通式（2)表示的甲酪酪醒清漆型環氧樹脂，具體而言可列舉出YDCN- 704Α、YDCN-700-10、YDCN-700-7、YDCN-700-5 (均為新日鐵住金化學株式會社制)等。運些可 W單獨使用或組合巧巾W上使用。
[0035] 另外，作為上述含巧骨架的環氧樹脂，可列舉出主鏈中具有巧骨架的液態環氧樹 月旨，其在常溫下呈現液態，例如可列舉出下述通式(3)表示的環氧樹脂。
[0036]
[0037] [式(3)中，Ri~R4為氨原子或碳數1~6的烷基，彼此可W相同也可W不同。另外，R5 ~R6為氨原子或甲基，彼此可W相同也可W不同。η各自獨立地表示0~10的整數。]
[0038] 上述式(3)中，優選化~R6為氨原子，具體而言，可列舉出0GS0L EG-200(0saka Gas 化6111；[。日1800.,1^1(1.制）等。
[0039] <特定的光聚合引發劑〉
[0040] 上述特定的光聚合引發劑是為了對感光性樹脂組合物賦予基于光照射的固化性 而使用的。并且，在本發明中，作為上述特定的光聚合引發劑，使用下述通式（1)表示的光產 酸劑。
[0041]
[0042] [上述式（1)中，虹、化為氨或碳數1~15的烷基，彼此可W相同也可W不同。]
[004引上述式（1)中，優選Ri、R2為碳數1~15的烷基，特別優選為具有碳數10~13的烷基 的混合物。具體而言，可列舉出WPI-116(和光純藥工業株式會社制)等艦鐵鹽型的光聚合引 發劑。
[0044] 關于上述特定的光聚合引發劑[通式（1)表示的光產酸劑]的含量，相對于感光性 樹脂組合物的樹脂成分(光聚合性樹脂）1〇〇重量份，優選設定為0.1~3重量份，更優選為 0.5~1重量份。即，特定的光聚合引發劑的含量過少時，難W得到可滿足的、基于光照射(紫 外線照射)的光固化性，過多時，光靈敏度提高，可觀察到圖案化時造成形狀異常的傾向、W 及可觀察到初始損耗的要求物性惡化的傾向。
[0045] 需要說明的是，在本發明中，雖然僅使用上述通式（1)表示的光產酸劑是特別優選 的方式，但除了上述通式（1)表示的光產酸劑W外，在不損害本發明的效果的范圍內，也可 W組合使用迄今為止所使用的光產酸劑。作為運樣的光產酸劑，例如可列舉出Ξ苯基梳六 氣錬酸鹽、Ξ苯基梳六氣憐酸鹽、對(苯基硫代)苯基二苯