一種薄膜制作方法及系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及薄膜制作技術領域，尤其涉及一種薄膜制作方法及系統。
【背景技術】
[0002]OLED (Organic Light-Emitting D1de，有機發光二極管)顯示裝置因具有自發光、反應快、視角廣、亮度高、色彩艷、輕薄等優點而被廣泛應用在顯示技術中。在各種OLED的成膜工藝中，噴墨打印(IJP，ink jet print)是一種可直接進行圖案化薄膜沉積的新型制程技術。
[0003]在噴墨打印過程中，通常將OLED功能層材料作為溶質溶解在指定溶劑中(該指定溶劑可以是乙二醇、丙三醇、甲苯、均三甲苯、苯甲醚或環己基苯等有機物中的至少一種組成的溶劑)，制備出喂'墨打印的墨水，進而，如圖1所不，使用喂'墨打印機01將墨水02打印在襯底基板03上，并對打印后的襯底基板03進行干燥烘焙等工藝，使得墨水中的溶劑完全揮發，最終得到沉積在襯底基板上由OLED功能層材料組成的OLED薄膜。
[0004]然而，在上述噴墨打印過程中，噴墨打印機01的噴頭的尺寸遠小于襯底基板03的尺寸，噴墨打印機01需要通過多次打印才能將墨水02覆蓋在整個襯底基板03上，這樣一來，如圖2所示，相鄰的打印位置由于墨滴揮發的時間差以及每次噴出的墨滴氛圍差異，使整個襯底基板上墨滴的濃度不均勻，進而在襯底基板上出現多處邊界痕跡100，最終導致沉積在襯底基板上的OLED薄膜不均勻，影響OLED顯示裝置的發光均勻度。

【發明內容】

[0005]本發明的實施例提供一種薄膜制作方法及系統，可一定程度避免由于時間差和墨滴氛圍差異所導致的薄膜成膜不均勻的問題，提高顯示裝置的顯示品質。
[0006]為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案:
[0007]第一方面，本發明的實施例提供一種薄膜制作方法，包括:
[0008]在襯底基板之上形成墨滴，所述墨滴包括第一溶劑和溶解在所述第一溶劑中的薄膜材料；
[0009]對所述墨滴進行溶劑均勻化分配；
[0010]將溶劑均勻化分配后的所述墨滴中的第一溶劑蒸發掉后，形成薄膜。
[0011]結合第一方面，在第一方面的第一種可能的實現方式中，所述薄膜包括有機發光二極管器件中的空穴傳輸層、有機發光層、空穴注入層、電子注入層或電子傳輸層中的一種或幾種。
[0012]結合第一方面，在第一方面的第二種可能的實現方式中，對所述墨滴進行溶劑均勻化分配，包括:
[0013]將形成有墨滴的所述襯底基板放入溶劑倉中，其中，所述溶劑倉為密封結構。
[0014]結合第一方面的第二種可能的實現方式，在第一方面的第三種可能的實現方式中，所述溶劑倉內均勻分布有氣態的第二溶劑，所述第二溶劑與所述第一溶劑的成分相同。
[0015]結合第一方面的第三種可能的實現方式，在第一方面的第四種可能的實現方式中，所述溶劑倉內包括存儲結構，所述存儲結構中吸附有所述第二溶劑。
[0016]結合第一方面的第二至四種可能的實現方式中的任一種，在第一方面的第五種可能的實現方式中，在將形成有墨滴的所述襯底基板放入溶劑倉中之后，還包括:
[0017]對所述溶劑倉加熱。
[0018]第二方面，本發明的實施例提供一種薄膜制作系統，包括打印裝置和干燥裝置，所述系統還包括溶劑倉，其中，
[0019]所述打印裝置，用于在襯底基板之上打印墨滴，所述墨滴包括第一溶劑和溶解在所述第一溶劑中的薄膜材料；
[0020]所述溶劑平衡裝置，用于對所述墨滴進行溶劑均勻化分配；
[0021]所述干燥裝置，用于將溶劑均勻化分配后的墨滴中的第一溶劑蒸發掉后，形成薄膜。
[0022]結合第二方面，在第二方面的第一種可能的實現方式中，所述溶劑平衡裝置包括溶劑倉，
[0023]所述溶劑倉為密封結構，用于放置形成有墨滴的所述襯底基板，以使得所述襯底基板與外界隔絕。
[0024]結合第二方面的第一種可能的實現方式，在第二方面的第二種可能的實現方式中，所述溶劑倉內包括存儲結構，
[0025]所述存儲結構用于吸附第二溶劑，所述第二溶劑與所述第一溶劑的成分相同。
[0026]結合第二方面的第二種可能的實現方式，在第二方面的第三種可能的實現方式中，所述存儲結構上設置有溶劑注入結構，
[0027]所述溶劑注入結構，用于向所述存儲結構中注入所述第二溶劑。
[0028]結合第二方面以及第二方面的第一至三種可能的實現方式中的任一種，在第二方面的第四種可能的實現方式中，所述系統還包括加熱裝置，
[0029]所述加熱裝置，用于對所述溶劑倉加熱。
[0030]結合第二方面以及第二方面的第一至三種可能的實現方式中的任一種，在第二方面的第五種可能的實現方式中，所述系統還包括傳動裝置，
[0031]所述傳動裝置，用于將形成有墨滴的所述襯底基板傳送至所述溶劑倉內。
[0032]本發明的實施例提供一種薄膜制作方法及系統，首先在襯底基板之上形成墨滴，由于襯底基板上不同位置形成墨滴時具有時間差和墨滴氛圍差異，導致襯底基板上不同位置的溶劑蒸發速度不同，此時，可以對獲取到的襯底基板上的墨滴進行溶劑均勻化分配，使墨滴在襯底基板上各個位置的濃度趨于一致，進而當墨滴中的第一溶劑蒸發掉后，由于襯底基板上各個位置上分配有濃度均勻的墨滴，進而制備出膜厚更加均勻的薄膜，這樣一來，可一定程度避免了現有技術中由于打印時間差和墨滴氛圍差異而導致打印后襯底基板上出現多處邊界痕跡，進而造成薄膜成膜不均勻的問題，提高顯示裝置的顯示品質。
【附圖說明】
[0033]為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0034]圖1為現有技術中噴墨打印機工作的原理示意圖；
[0035]圖2為現有技術中喂.墨打印后的襯底基板上墨滴的分布效果圖；
[0036]圖3為本發明實施例提供的一種薄膜制作方法的流程示意圖一；
[0037]圖4為本發明實施例提供的一種薄膜制作方法的流程示意圖二 ；
[0038]圖5為現有技術中未進行溶劑均勻化分配的襯底基板的打印效果圖；
[0039]圖6為本發明實施例提供的薄膜制作方法得到的襯底基板打印效果圖；
[0040]圖7為本發明實施例提供的一種薄膜制作系統的結構示意圖一；
[0041]圖8為本發明實施例提供的溶劑倉的不意圖一；
[0042]圖9為本發明實施例提供的溶劑倉的示意圖二 ；
[0043]圖10為本發明實施例提供的一種薄膜制作系統的結構示意圖二。
【具體實施方式】
[0044]以下描述中，為了說明而不是為了限定，提出了諸如特定系統結構、接口、技術之類的具體細節，以便透徹理解本發明。然而，本領域的技術人員應當清楚，在沒有這些具體細節的其它實施例中也可以實現本發明。在其它情況中，省略對眾所周知的裝置、電路以及方法的詳細說明，以免不必要的細節妨礙本發明的描述。
[0045]另外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本發明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。
[0046]實施例1
[0047]本發明的實施例提供一種薄膜制作方法，如圖3所示，包括:
[0048]101、在襯底基板上形成墨滴，該墨滴包括第一溶劑和溶解在第一溶劑中的薄膜材料。
[0049]102、對襯底基板上的墨滴進行溶劑均勻化分配。
[0050]103、將溶劑均勻化分配后的墨滴中的第一溶劑蒸發掉后，形成薄膜。
[0051]具體的，本發明實施例提供的一種薄膜制作方法可應用在IJP(int jet print，噴墨打印)技術中，使用噴墨打印機在襯底基板上噴灑墨滴，由于墨滴中含有薄膜材料，因此對該形成有墨滴的襯底基板干燥烘焙后便可得