專利名稱：多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅膜烘烤裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅 膜烘烤裝置。主要用于對涂有氮化硅膜的石英坩堝進行烘烤。屬太陽能電 池技術領域。
(二)
背景技術：
多晶硅鑄錠采用石英坩堝作為容器，多晶硅在其中熔融、冷卻、退火 結晶。由于普通石英坩堝雜質含量大，高純坩堝成本又太高，而且坩堝會 與熔融硅產生如下反應
Si02+Si=2SiO
引起粘堝現象發生，同時對成品電池片電性能不利的氧元素和雜質元素也 能混入錠中。所以采用的方法是在普通石英坩堝內壁噴涂一層氮化硅。 在本實用新型作出以前，以往采用的多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩
堝的氮化硅噴涂工藝是將粉末氮化硅和去離子水按照一定配比制成漿狀， 在常壓下噴涂在坩堝內壁，在普通烘箱中烘干。它主要存在以下不足沒 有注意噴涂和烘干過程中潔凈度的需求。
(三) 發明內容
本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種合理、潔凈和經濟的多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅膜烘烤裝置。
本實用新型的目的是這樣實現的 一種多晶硅太陽能電池鑄錠用石英 坩堝的氮化硅膜烘烤裝置，包括石英坩堝、潔凈烘箱、真空泵、真空計、
加熱棒、閥門、管路和Ar氣站，所述石英坩堝置于密閉的潔凈烘箱內，所
述潔凈烘箱與真空泵相連，潔凈烘箱上安裝真空計，潔凈烘箱內設置有加
熱棒，潔凈烘箱通過管路與Ar氣站相連，管路上設有閥門。
本實用新型有以下特點
1、 氮化硅膜能阻止高溫熔融的硅液與石英坩堝反應，避免出現粘堝現象。
2、 同時氮化硅膜的出現，替代了高純石英坩堝的使用，能節約成本， 減少投資。
3、 還能最大程度阻止對成品電池片電性能不利的氧元素和雜質元素的 混入，為電池片的質量提供了保障。


圖1為本實用新型多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅膜烘烤 裝置示意圖。
圖中附圖標記說明
石英坩堝1
潔凈烘箱2
真空泵3
真空計4加熱棒5
閥門6
管路7
Ar氣站8。 具體實施方式
參見圖1，本實用新型所涉及的多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的 氮化硅膜烘烤裝置，主要由石英坩堝l、潔凈烘箱2、真空泵3、真空計4、 加熱棒5、閥門6、管路7和Ar氣站8組成。所述石英坩堝1置于密閉的 潔凈烘箱2內，所述潔凈烘箱2與真空泵3相連，潔凈烘箱2上安裝真空 計4，潔凈烘箱2內設置有加熱棒5，潔凈烘箱2通過管路7與Ar氣站8 相連，管路7上設有閥門6。
權利要求1、一種多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅膜烘烤裝置，其特征在于所述裝置包括石英坩堝(1)、潔凈烘箱(2)、真空泵(3)、真空計(4)、加熱棒(5)、閥門(6)、管路(7)和Ar氣站(8)，所述石英坩堝(1)置于密閉的潔凈烘箱(2)內，所述潔凈烘箱(2)與真空泵(3)相連，潔凈烘箱(2)上安裝真空計(4)，潔凈烘箱(2)內設置有加熱棒(5)，潔凈烘箱(2)通過管路(7)與Ar氣站(8)相連，管路(7)上設有閥門(6)。
專利摘要本實用新型涉及一種多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅膜烘烤裝置，所述裝置包括石英坩堝(1)、潔凈烘箱(2)、真空泵(3)、真空計(4)、加熱棒(5)、閥門(6)、管路(7)和Ar氣站(8)，所述石英坩堝(1)置于密閉的潔凈烘箱(2)內，所述潔凈烘箱(2)與真空泵(3)相連，潔凈烘箱(2)上安裝真空計(4)，潔凈烘箱(2)內設置有加熱棒(5)，潔凈烘箱(2)通過管路(7)與Ar氣站(8)相連，管路(7)上設有閥門(6)。采用本實用新型裝置烘烤石英坩堝的氮化硅膜合理、潔凈和經濟。
文檔編號C30B35/00GK201326036SQ20082021510
公開日2009年10月14日 申請日期2008年12月5日 優先權日2008年12月5日
發明者任向東, 左云翔, 鮑家興 申請人:江陰海潤太陽能電力有限公司