專利名稱：多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅噴涂裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于多晶硅太陽能電池鑄錠用的石英坩堝的氮化 硅噴涂裝置。主要用于在石英坩堝內壁噴涂氮化硅薄膜。屬太陽能電池技 術領域。
(二)
背景技術：
多晶硅鑄錠采用石英坩堝作為容器，多晶硅在其中熔融、冷卻、退火 結晶。由于普通石英坩堝雜質含量大，高純坩堝成本又太高，而且坩堝會 與熔融硅產生如下反應
Si02+Si=2SiO
引起粘堝現象發生，同時對成品電池片電性能不利的氧元素和雜質元素也 能混入錠中。所以采用的方法是在普通石英坩堝內壁噴涂一層氮化硅。 在本實用新型作出以前，以往采用的多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩
堝的氮化硅噴涂工藝是將粉末氮化硅和去離子水按照一定配比制成漿狀， 在常壓下噴涂在坩堝內壁，在普通烘箱中烘干。它主要存在以下不足沒 有注意噴涂和烘干過程中潔凈度的需求。
(三) 發明內容
本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種合理、潔凈和經濟的多晶硅太陽能電池鑄錠用石英柑堝的氮化硅噴涂裝置。
本實用新型的目的是這樣實現的 一種多晶硅太陽能電池鑄錠用石英 坩堝的氮化硅噴涂裝置，所述裝置包括石英坩堝、霧化頭、壓縮空氣站、 石墨加熱板、低壓容器、閥門、攪拌器和盛氮化硅漿容器，所述低壓容器 與壓縮空氣站相連，所述石英坩堝置于密閉的低壓容器內，石墨加熱板設 置于石英坩堝底部，霧化頭設置于石英坩堝內，霧化頭通過管路與盛氮化 硅漿容器相連，管路上設有閥門，盛氮化硅漿容器內設置有攪拌器。
本實用新型有以下特點
1、 氮化硅膜能阻止高溫熔融的硅液與石英坩堝反應，避免出現粘堝現象。
2、 同時氮化硅膜的出現，替代了高純石英坩堝的使用，能節約成本， 減少投資。
3、 還能最大程度阻止對成品電池片電性能不利的氧元素和雜質元素的 混入，為電池片的質量提供了保障。


圖1為本實用新型多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅噴涂裝 置示意圖。 圖中
石英坩堝1 霧化頭2 壓縮空氣站3石墨加熱板4
低壓容器5 閥門6 管路7 攪拌器8
盛氮化硅漿容器9
出氣口 10。 具體實施方式
參見圖1，本實用新型所涉及的多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的 氮化硅噴涂裝置，主要由石英坩堝l、霧化頭2、壓縮空氣站3、石墨加熱 板4、低壓容器5、閥門6、攪拌器8和盛氮化硅漿容器9組成。所述低壓 容器5與壓縮空氣站3相連，所述石英坩堝1置于密閉的低壓容器5內， 石墨加熱板4設置于石英坩堝1底部，霧化頭2設置于石英坩堝1內，霧 化頭2通過管路7與盛氮化硅漿容器9相連，管路7上設有閥門6，盛氮 化硅漿容器9內設置有攪拌器8。
權利要求1、一種多晶硅太陽能電池鑄錠用石英坩堝的氮化硅噴涂裝置，其特征在于所述裝置包括石英坩堝(1)、霧化頭(2)、壓縮空氣站(3)、石墨加熱板(4)、低壓容器(5)、閥門(6)、攪拌器(8)和盛氮化硅漿容器(9)，所述低壓容器(5)與壓縮空氣站(3)相連，所述石英坩堝(1)置于密閉的低壓容器(5)內，石墨加熱板(4)設置于石英坩堝(1)底部，霧化頭(2)設置于石英坩堝(1)內，霧化頭(2)通過管路(7)與盛氮化硅漿容器(9)相連，管路(7)上設有閥門(6)，盛氮化硅漿容器(9)內設置有攪拌器(8)。
專利摘要本實用新型涉及一種用于多晶硅太陽能電池鑄錠用的石英坩堝的氮化硅噴涂裝置。主要用于在石英坩堝內壁噴涂氮化硅薄膜。所述裝置包括石英坩堝(1)、霧化頭(2)、壓縮空氣站(3)、石墨加熱板(4)、低壓容器(5)、閥門(6)、攪拌器(8)和盛氮化硅漿容器(9)，所述低壓容器(5)與壓縮空氣站(3)相連，所述石英坩堝(1)置于密閉的低壓容器(5)內，石墨加熱板(4)設置于石英坩堝(1)底部，霧化頭(2)設置于石英坩堝(1)內，霧化頭(2)通過管路(7)與盛氮化硅漿容器(9)相連，管路(7)上設有閥門(6)，盛氮化硅漿容器(9)內設置有攪拌器(8)。采用本實用新型裝置在石英坩堝的內表面噴涂氮化硅合理、潔凈和經濟。
文檔編號C30B35/00GK201305659SQ20082021510
公開日2009年9月9日 申請日期2008年12月5日 優先權日2008年12月5日
發明者任向東, 左云翔, 鮑家興 申請人:江陰海潤太陽能電力有限公司