專利名稱：真空泵用屏蔽電機的制作方法
技術領域：
本發明涉及真空設備領域，具體說是一種真空泵用屏蔽電機。
背景技術：
普通電機與真空泵的連接采用剛性聯軸器連接，當電機與泵軸通過剛性聯軸器傳遞動力時，起動沖擊較大，在高轉速情況下還可能出現異常尖銳叫噪聲；普通電機與真空泵連接，其主動軸的密封使用軸封，由于高頻振動及材料原因，軸封磨損較快，需要頻繁更換， 容易出現真空腔內介質泄漏的問題。

發明內容
為解決上述技術問題，本發明的目的是提供一種解決普通電機使用上由于軸封磨損導致的介質污染問題、剛性聯軸器引起的高頻振動與起動沖擊噪聲問題的真空泵用屏蔽電機，并且適合粉塵等惡劣工藝環境。具體方案是一種真空泵用屏蔽電機，包括真空泵殼、真空泵殼端蓋、電機殼、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、電機殼、端板焊接為一個整體，并在內部形成一個密閉腔，電機定子設置在所述密閉腔內，電機轉子熱脹裝配于主動軸上，所述密閉腔與電機轉子均處于真空腔內部，但密閉腔與真空環境隔絕，可通過引線孔直通大氣；為解決屏蔽電機溫升問題，所述電機殼的外壁車削有螺旋槽，還設置有套筒，所述套筒套裝電機殼外，并與電機殼過盈配合形成閉合的冷卻水槽，冷卻水入口孔和出口孔在電機殼端蓋上；電機殼與真空泵殼端蓋之間采用兩個0型氟橡膠圈密封，使密封圈間的環形空間，可直通大氣；電機轉子與屏蔽罩的間隙小于0. 2mm ；本發明中，電機轉子與真空泵軸為熱裝配，裝配后進行電機轉子外徑加工，以保證同軸度小于0. 015mm ；轉子需經過動平衡檢測，不平衡量小于lgmm。本發明具有如下優點本發明的電機轉子熱裝配在真空泵軸上，不存在電機與真空泵主動軸的剛性連接問題，可以避免普通電機的起動沖擊。電機整體在真空腔體內部， 使真空泵結構緊湊，并將真空泵主動軸與泵體與電機定子間的動密封轉換為腔體間的靜密封，可以避免軸封磨損泄漏問題。電機定子為一體結構，適合粉塵等惡劣工藝環境。


圖1為本發明結構示意圖；圖2為左視圖。其中1、電機殼，2、套筒，3、屏蔽罩，4、端板，5、主動軸，6、轉子，7、真空泵腔，8、氟橡膠0圈A，9、氟橡膠0圈B，10、真空泵殼，101、真空泵殼端蓋，102、螺旋槽，11、固定用螺紋孔，12、進水口，13、出水口，14、引線孔，15、密封面A，16、密封面B。
具體實施例方式下面結合附圖具體說明本發明，如圖1所示，本發明為一種真空泵用屏蔽電機，包括真空泵殼10、真空泵殼端蓋101、電機殼1、屏蔽罩3、端板4，所述屏蔽罩3、電機殼1、端板4焊接為一個整體，并在內部形成一個密閉腔，電機定子設置在所述密閉腔內，電機轉子 6熱脹裝配于主動軸5上，所述密閉腔與電機轉子6均處于真空腔7內部，但密閉腔與真空環境隔絕，可通過弓I線孔直通大氣。為解決屏蔽電機溫升問題，所述電機殼1的外壁車削有螺旋槽102，還設置有套筒 2，所述套筒2套裝電機殼1外，并與電機殼1過盈配合形成閉合的冷卻水槽，冷卻水進水孔 12和出水孔13在真空泵殼端蓋101上。氟橡膠0圈A8、氟橡膠0圈B9與密封面A15、密封面B16配合，使電機殼1的側面形成環形空間，可以直通大氣，固定用螺紋孔11、進水口 12、出水口 13、引線孔14均在此環形空間中，并可直通真空泵外部。閉腔內通過固定用螺紋孔11，由螺釘固定在真空泵殼10 上，電機定子由外部水冷降溫。電機轉子6與屏蔽罩3的間隙小于0. 2mm。本發明中，電機轉子6與真空泵軸5為熱裝配，裝配后進行電機轉子6外徑加工， 以保證同軸度小于0. 015mm ；轉子6需經過動平衡檢測，不平衡量小于lgmm。電機電源接通時，電機轉子6帶動主動軸5轉動，真空腔7被抽成真空狀態，此時電機整體在真空室內，泵體與電機之間為靜密封。
權利要求
1.一種真空泵用屏蔽電機，其特征在于包括真空泵殼、電機殼、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、電機殼、端板焊接為一個整體，并在內部形成一個密閉腔，電機定子設置在所述密閉腔內，電機轉子熱脹裝配于主動軸上，所述密閉腔與電機轉子均處于真空腔內部，但密閉腔與真空環境隔絕，可通過引線孔直通大氣。
2.按權利要求1所述的真空泵用屏蔽電機，其特征在于所述電機殼的外壁車削有螺旋槽，還設置有套筒，所述套筒套裝電機殼外，并與電機殼過盈配合形成閉合的冷卻水槽， 冷卻水入口孔和出口孔在電機殼端蓋上。
3.按權利要求1所述的真空泵用屏蔽電機，其特征在于電機殼與真空泵殼端蓋之間采用兩個0型氟橡膠圈密封。
4.按權利要求1所述的真空泵用屏蔽電機，其特征在于電機轉子與屏蔽罩的間隙小于 0. 2mmο
5.一種按權利要求1所述的真空泵用屏蔽電機的加工方法，其特征在于電機轉子與真空泵軸為熱裝配，裝配后進行電機轉子外徑加工，以保證同軸度小于0. 015mm。
6.按權利要求5所述的加工方法，其特征在于轉子需經過動平衡檢測，不平衡量小于 Igmm0
全文摘要
本發明公開一種真空泵用屏蔽電機，包括真空泵殼、電機殼、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、電機殼、端板焊接為一個整體，并在內部形成一個密閉腔，電機定子設置在所述密閉腔內，電機轉子熱脹裝配于主動軸上，所述密閉腔與電機轉子均處于真空腔內部，但密閉腔與真空環境隔絕，可通過引線孔直通大氣。本發明具有如下優點電機轉子熱裝配在真空泵軸上，不存在電機與真空泵主動軸的剛性連接問題，可以避免普通電機的起動沖擊。電機整體在真空腔體內部，使真空泵結構緊湊，并將真空泵主動軸與泵體與電機定子間的動密封轉換為腔體間的靜密封，可以避免軸封磨損泄漏問題。電機定子為一體結構，適用于多粉塵等的苛刻工藝環境，如半導體、光伏、制藥、冶金等行業。
文檔編號H02K15/02GK102280965SQ20101019913
公開日2011年12月14日 申請日期2010年6月12日 優先權日2010年6月12日
發明者孔祥玲, 張振厚, 王光玉, 薛玉茹 申請人:中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司