一種基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置及其制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及顯示領域，特別是涉及一種基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置及其制造方法。
【背景技術】
[0002]隨著噴墨打印技術的迅速發展，越來越多的廠家利用噴墨打印技術制造有機發光二極管(Organic Light-Emitting D1de，0LED)以及有機發光顯示裝置。
[0003]其中，現有技術中基于噴墨打印技術的OLED器件的簡易剖面結構如圖1所示，包括基板110、以及在基板110上依次形成的金屬電極120、氧化銦錫ITO陽極130、壩(bank)層140、有機發光層150、陰極160。
[0004]噴墨打印的關鍵步驟之一是將bank層140處理成為表面疏水性，關鍵步驟之二是把OLED墨水噴到bank層140所形成的槽內。由于大多數的OLED墨水為親水性，這樣OLED墨水噴到bank材料上時，因親水性和疏水性的接觸力不好，OLED墨水會滾落到bank層140所形成的槽內。然而由于墨水和槽的接觸角會直接影響墨水在槽內的均勻性，在進行OELD墨水噴涂，OLED墨水和槽的接觸角控制不當(例如接觸角> 90° )時，會導致ITO基底和有機發光(OLED)材料接觸差，槽和OLED材料間存在間隙，OLED材料分布為中間厚兩邊薄的特點，均勻性差，不利于發出均勻的光來。

【發明內容】

[0005]本發明提供一種基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置及其制造方法，能夠使得OLED材料分布均勻，使得OLED裝置發出均勻的光。
[0006]為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是:提供一種基于噴墨打印技術的有機發光(OLED)顯示裝置，所述裝置包括基板以及在基板上依次疊層設置的金屬層、陽極層、壩(bank)層、有機發光層、陰極層;其中，在所述金屬層覆蓋所述基板的區域開設有三個開口區域，暴露對應所述三個開口區域的基板;在所述壩層覆蓋所述陽極層的區域開設第四開口區域，暴露對應所述第四開口區域的所述陽極層，所述有機發光層設置于所述第四開口區域內，其特征在于，所述壩層平行于所述基板的表面還設置有疏水性材料層。
[0007]其中，所述疏水性材料層包括氟離子或氯離子。
[0008]其中，所述壩層為負性光阻。
[0009]其中，所述第四開口區域形成的形狀為倒置梯形。
[0010]為解決上述技術問題，本發明采用的另一個技術方案是:提供一種基于噴墨打印技術的有機發光(OLED)顯示裝置的制造方法，所述方法包括在基板上依次形成金屬層、陽極層以及壩(bank)層;其中，在所述金屬層覆蓋所述基板的區域開設有三個開口區域，暴露對應所述三個開口區域的基板;在所述壩層覆蓋所述陽極層的區域開設第四開口區域，暴露對應所述第四開口區域的所述陽極層;在暴露的所述陽極層、所述壩層的表面形成光致抗蝕劑層;其中，所述光致抗蝕劑層的光阻屬性與所述壩層的光阻屬性不同；對所述光致抗蝕劑層進行曝光處理，暴露所述壩層平行于所述基板的表面;在暴露的所述壩層表面形成疏水材料層;進行曝光顯影處理去除所述光致抗蝕劑層，利用噴墨打印技術在所述第四開口區域形成有機發光層，并在所述有機發光層上形成陰極層。
[0011]其中，在暴露的所述壩層表面形成疏水材料層的步驟具體為:對暴露的所述壩層表面進行干法蝕刻處理，在暴露的所述壩層表面形成疏水材料層。
[0012]其中，所述疏水材料層包括氟離子或氯離子。
[0013]其中，所述壩層為負性光阻，所述光致抗蝕劑層為正性光阻。
[0014]其中，對所述光致抗蝕劑層進行曝光處理，暴露所述壩層平行于所述基板的表面的步驟具體為:在預設時間內對所述光致抗蝕劑層進行曝光處理，暴露所述壩層平行于所述基板的表面。
[0015]上述方案，基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置在壩層平行于基板的表面還設置有疏水性材料層，壩層開設的第四開口區域未覆蓋疏水性材料層，能夠使得噴涂的OLED墨水能夠滾入第四開口區域，并且OLED墨水與第四開口區域的表面充分接觸，能夠使得噴涂的OELD墨水在第四開口區域均勻分布，從而形成均勻的有機發光層，有機發光顯示裝置能夠發出均勻光線。
【附圖說明】
[0016]圖1是現有技術中基于噴墨打印技術的OLED器件的簡易剖面結構示意圖；
[0017]圖2是本發明基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置一實施例的簡易剖面結構示意圖；
[0018]圖3是本發明基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置的制造方法一實施例的流程圖；
[0019]圖4至圖10是本發明制造基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置的方法的不同制造階段一實施例的有機發光顯示裝置的剖視圖。
【具體實施方式】
[0020]以下描述中，為了說明而不是為了限定，提出了諸如特定系統結構、接口、技術之類的具體細節，以便透徹理解本發明。
[0021]請參閱圖2，圖2是本本發明基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置一實施例的簡易剖面結構示意圖。本實施例中的有機發光(organic light-emitting d1de，OLED)顯示裝置包括玻璃基板210、以及在玻璃基板210上依次疊層設置的金屬層220、陽極層230、壩(bank)層240、疏水性材料層250、有機發光層260、以及陰極層270。
[0022]其中，在金屬層220覆蓋玻璃基板210的區域開設有三個開口區域，暴露對應該三個開口區域的玻璃基板210;在壩層240覆蓋陽極層230的區域開設第四開口區域，暴露對應第四開口區域的陽極層230，有機發光層260設置于第四開口區域內；疏水性材料層250設置于壩層240平行于玻璃基板210的表面，且第四開口區域的表面未覆蓋疏水性材料層250。
[0023]金屬層220用于與陽極層230連接，減小內部阻抗。進一步地，陽極層230的材料可以為氧化銦錫(ITO)，但并不限于此，還可以為其他透明導電材料，此處不作限制。
[0024]壩層240的材料為光阻材料，壩層240開設的第四開口區域用于利用噴墨打印技術能夠將OLED墨水噴涂到第四開口區域，能夠形成有機發光層260。
[0025]進一步地，壩層240的材料為負性光阻材料，可以理解的是，在其他實施例中壩層240的材料為正性光阻材料，此處不作限制。
[0026]進一步地，第四開口區域形成的形狀為倒置梯形。第四開口區域的表面與陽極層230所在平面形成的角度大于90度，以在噴涂OLED墨水時，OLED墨水能夠與第四開口區域的表面充分接觸，從而防止OLED墨水無法噴涂到第四開口區域的表面的情況。
[0027]疏水性材料層250用于與壩層240的材料形成疏水基團。由于OLED墨水一般為親水性材料，在向壩層240的第四開口區域噴涂OLED墨水時，覆蓋壩層240平行于玻璃基板210的表面的疏水性材料層250使得噴涂的OLED墨水均滾入第四開口區域，并使OLED墨水與第四開口區域的表面充分接觸(0LED墨水與第四開口區域表面的接觸角小于90度)，均勻分布OELD墨水，從而形成均勻的有機發光層260。
[0028]由于疏水性材料層250設置于壩層240平行于玻璃基板210的表面，且第四開口區域的表面未覆蓋疏水性材料層250，這樣能夠避免第四開口區域的表面也呈疏水性，進而避免噴涂的OLED墨水與第四開口區域的表面接觸不良導致OLED墨水分布不均勻而造成OLED顯示裝置發光不均勻的情況。
[0029]進一步地，疏水性材料層250包括氟離子或氯離子，但并不限于此，還可以為其他的疏水離子。
[0030]上述方案，基于噴墨打印技術的有機發光顯示裝置在壩層平行于基板的表面還設置有疏水性材料層，壩層開設的第四開口區域未覆蓋疏水性材料層，能夠使得噴涂的OLED墨水能夠滾入第四開口區域，并且OLED墨水與第四開口區域的表面充分接觸，能夠使得噴涂的OELD墨水在第四開口區域均勻分布，從而形成均勻的有機發光層，有機發光顯示裝置能夠發出均勻光線。
[0031]第四開口區域所形成的形狀為倒梯形，且第四開口區域的表面與陽極層所在表面形成的角度大于90度，能夠防止OLED墨水無法噴涂到第四開口區域的表面的情況。
[0032]請參閱圖3，圖3是本發明基于噴墨打印技術的有機發光(OLED)顯示裝置的制造方法一實施例的流程圖。本實施例中基于噴墨打印技術的有機發光(OLED)顯示裝置的制造方法包括以下步驟:
[0033]S301:在基板上依次形成金屬層、陽極層以及壩(bank)層；其中，在所述金屬層覆蓋所述基板的區域開設有三個