水汽阻隔膜、其制備方法與包含其的顯示器的制造方法
【技術領域】
[0001] 本申請設及顯示器領域，具體而言，設及一種水汽阻隔膜、其制備方法與包含其的 顯示器。
【背景技術】
[0002] 目前，有機發光二極管的rganic Li曲t-Emitting Diode,簡稱OL邸）顯示器越來 越普遍，在手機、媒體播放器及小型入口級電視等產品中最為顯著。主要原因是：〇L邸為自 發光材料，不需用到背光板，用簡單驅動電路即可發光；視角廣，畫質均勻，反應速度快，較 易彩色化；且其制程簡單，可制作成曉曲式面板，符合輕薄短小的要求。因此，其主要優點可 W歸結為：主動發光，視角范圍大，響應速度快，圖像穩定；亮度高，色彩豐富，分辨率高，驅 動電壓低；能耗低，可與太陽能電池、集成電路等相匹配。
[0003] 其中的柔性OL邸器件具有自發光、寬視角、抗彎曲能力強等優異性能，是實現柔 性顯示的較理想的選擇，但柔性襯底層對水、氧阻隔能力差是其實現柔性顯示的瓶頸之一。
[0004] 現有技術中的OL邸顯示器中的襯底層都不能很好地阻擋外界雜質液體和氣體的 侵入，當OL邸襯底層暴露在水和氧氣中時，器件的光電特性就會急劇衰退，使得器件在很 短的時間內就不能繼續使用，無法滿足顯示器對壽命要求。

【發明內容】
陽〇化]本申請旨在提供一種水汽阻隔膜、其制備方法與包含其的顯示器，W解決現有技 術中的襯底層的水汽阻隔效果較差問題。
[0006] 為了實現上述目的，根據本申請的一個方面，提供了一種水汽阻隔膜，該水汽阻隔 膜包括襯底與設置在上述襯底表面的水汽阻隔層，上述水汽阻隔層包括娃氧化物與侶氧化 物，且上述娃氧化物與上述侶氧化物的重量比在1:1~7:3之間，上述水汽阻隔膜的厚度在 20~200nm之間。
[0007] 進一步地，上述娃氧化物與上述侶氧化物的重量比為1 :1，上述水汽阻隔層的厚 度在20~40nm之間。
[0008] 進一步地，上述娃氧化物與上述侶氧化物的重量比為7:3,上述水汽阻隔層的厚度 在180~200nm之間。
[0009] 進一步地，上述娃氧化物為二氧化娃。
[0010] 進一步地，上述侶氧化物為氧化侶。
[0011] 進一步地，上述襯底的厚度在25~125 ym之間。
[0012] 進一步地，上述襯底為PET襯底。
[0013] 為了實現上述目的，本申請的另一個方面，提供了一種上述的水汽阻隔膜的制備 方法，上述制備方法包括采用磁控瓣射法、電子束蒸鍛法或等離子體增強化學氣相沉積法 將娃氧化物與侶氧化物沉積在襯底上形成水汽阻隔膜。
[0014] 為了實現上述目的，本申請的再一個方面，提供了一種顯示器，包括水汽阻隔膜， 該水汽阻隔膜為上述的水汽阻隔膜。
[0015] 進一步地，上述顯示器為OLED顯示器。
[0016] 應用本申請的技術方案，將水汽阻隔膜中的娃氧化物與侶氧化物的重量比控制在 1:1~7:3之間，且水汽阻隔層的厚度控制在20~200nm之間時，水汽阻隔膜能夠較好地阻 擋外界液體與氣體的侵入，進而提高了使用該水汽阻隔膜的器件的壽命。
【附圖說明】
[0017] 構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本申請的進一步理解，本申請的示 意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構成對本申請的不當限定。在附圖中：
[001引圖1示出了本申請一種實施方式提出的水汽阻隔膜的剖面結構示意圖。
【具體實施方式】
[0019] 應該指出，W下詳細說明都是例示性的，旨在對本申請提供進一步的說明。除非另 有指明，本文使用的所有技術和科學術語具有與本申請所屬技術領域的普通技術人員通常 理解的相同含義。
[0020] 需要注意的是，運里所使用的術語僅是為了描述【具體實施方式】，而非意圖限制根 據本申請的示例性實施方式。如在運里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數形式 也意圖包括復數形式，此外，還應當理解的是，當在本說明書中使用術語"包含"和/或"包 括"時，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。
[0021] 正如【背景技術】所介紹的，現有技術中的OL邸顯示器中的襯底層不能很好地阻擋 外界雜質液體和氣體的侵入，使得OL邸顯示器的壽命較短，為了解決如上的技術問題，本 申請提出了一種水汽阻隔膜、其制備方法與包含其的顯示器。
[0022] 本申請的一種典型的實施方式中，如圖1所示，提供了一種水汽阻隔膜，該水汽阻 隔膜包括襯底10與設置在襯底10表面的水汽阻隔層20,該水汽阻隔層20包括娃氧化物與 侶氧化物，且上述娃氧化物與上述侶氧化物的重量比在1:1~7:3之間，上述水汽阻隔膜的 厚度在20~200nm之間。
[0023] 當上述娃氧化物與上述侶氧化物的重量比在1:1~7:3之間，且水汽阻隔層20的 厚度在20~200皿之間時，水汽阻隔膜能夠較好地阻擋外界液體與氣體的侵入，進而提高 了使用該水汽阻隔膜的器件的壽命。
[0024] 本申請的一種實施例中，上述娃氧化物與上述侶氧化物的重量比為7:3之間，上 述水汽阻隔層20的厚度在180~200皿之間。由于水汽阻隔層20中起水汽阻隔作用的主 要是侶氧化物，所W當水汽阻隔層20中的侶氧化物占的比重較小時，要進一步保證該水汽 阻隔層20對液體與氣體的有較高的阻隔率，使得水汽阻隔率優于10 2g/m2 . day,需要較厚 的水汽阻隔層20。
[00巧]本申請的一種實施例中，上述娃氧化物與上述侶氧化物的重量比在5:5之間，上 述水汽阻隔層20的厚度在20~40皿之間。將娃氧化物與上述侶氧化物的重量比控制在 此范圍內，同時將水汽阻隔層20的厚度在20~40nm之間，能夠進步一步保證該膜對液體 與氣體的阻隔率，使得水汽阻隔率優于10 2g/m2 ? day。
[00%] 為了保證水汽阻隔膜具有良好的光學性能，本申請優選上述水汽阻隔層20的折 射率在I. 5~I. 6之間。
[0027] 本申請的一種優選實施例中，為了取材方便，節約成本，上述娃氧化物為二氧化 娃。
[0028] 同樣地，優選侶氧化物為氧化侶。
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