用于更換壓力控制閥上的o型圈的系統及方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體技術領域，具體涉及一種用于更換壓力控制閥上的0型圈的系統及方法。
【背景技術】
[0002]等離子體增強化學氣相沉積裝置用于在特定工藝氣體下且結合等離子體增強條件下，對硅片表面進行化學氣相沉積而形成薄膜；它的特點是成膜速度快、成膜均勻度好。圖1為現有的等離子體增強化學氣相沉積裝置各個機構之間的連接關系示意圖，如圖1所示，等離子體增強化學氣相沉積裝置的工藝腔連接有前級真空管(foreline)，前級真空管將工藝腔和真空栗相連接；壓力控制閥位于前級真空管上，用于控制打開或關閉前級真空管，從而控制工藝腔內的壓力；壓力控制閥通過0型圈密封，0型圈需要定期更換來確保沒有內漏或外漏，從而保證工藝的順利進行和成膜質量。
[0003]然而，通常，要更換0型圈需要打開壓力控制閥；而壓力控制閥受互鎖裝置控制，互鎖裝置受控于控制裝置，控制裝置具有關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針，請參閱圖2，現有的等離子體化學氣相沉積系統的電路中，關閉壓力控制閥CM0電路15和關閉壓力控制閥互鎖裝置電路23的右端分別連接關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針，而左端連接有總機；如果工藝腔處于大氣狀態，前道真空腔處于真空狀態，此時開啟壓力控制閥將導致對工藝腔抽真空動作(pump down);如果工藝腔處于真空狀態，前道真空腔處于大氣狀態，此時開啟壓力控制閥將導致大氣回流到工藝腔中；因此，控制裝置不允許在上述兩種情況下開啟互鎖裝置，互鎖裝置不能開啟將導致壓力控制閥不能開啟；然而上述兩種情況是其中一種情況不存在則另一種情況必然存在的，因此，想要打開壓力控制閥來更換0型圈是十分困難的；只有當工藝腔和前道真空管均處于大氣狀態時，控制裝置才允許互鎖裝置打開，并且此時壓力控制閥才可開啟；那么，如何來實現控制裝置允許互鎖裝置開啟是更換0型圈必須要解決的問題。

【發明內容】

[0004]為了克服以上問題，本發明旨在提供了一種用于更換壓力控制閥上的0型圈的系統及方法，通過采用短接裝置，來短接關閉壓力控制閥的COM針和關閉壓力控制閥的互鎖裝置針，從而給控制裝置一個工藝腔和前道真空腔均處于大氣狀態的假信號，使控制裝置允許互鎖裝置打開，使壓力控制閥處于可開啟狀態。
[0005]為了達到上述目的，本發明提供了一種用于更換壓力控制閥上的0型圈的系統，所述系統包括等離子體增強化學氣相沉積裝置、對等離子體增強化學氣相沉積裝置的工藝腔的抽真空裝置，將所述工藝腔和所述抽真空裝置相連接的前級真空管，位于所述前級真空管上的控制所述前級真空管啟閉的壓力控制閥，用于將所述壓力控制閥與所述工藝腔鎖住的互鎖裝置、用于控制互鎖裝置啟閉的控制裝置，所述壓力控制閥具有0型圈，所述控制裝置具有關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針，當所述工藝腔和所述前級真空管均處于大氣狀態時，所述控制裝置才允許所述互鎖裝置打開，此時所述壓力控制閥才允許開啟，其還包括短接裝置，用于短接所述關閉壓力控制閥COM針和所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針，從而給所述控制裝置一個所述工藝腔和所述前級真空管均處于大氣狀態的假信號，使所述控制裝置允許所述互鎖裝置打開，使所述壓力控制閥處于可開啟狀態，以用于更換所述壓力控制閥上的0型圈。
[0006]優選地，所述短接裝置包括絕緣殼體，位于所述絕緣殼體前端的多個接頭，位于所述絕緣殼體后端的防漏電保護部件，多個所述接頭和所述防漏電保護部件分別將所述絕緣殼體前端和后端封閉，所述接頭包括用于與所述關閉壓力控制閥COM針相連接的第一接頭以及用于與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針相連接的第二接頭；所述絕緣殼體內部具有與所述第一接頭和所述第二接頭相連接的可更換的保險絲，所述保險絲串聯于所述關閉壓力控制閥COM針與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間，用于將所述關閉壓力控制閥COM針與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針短接，并且當所述關閉壓力控制閥COM針與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間的實際電壓超過它們之間的額定電壓時，所述保險絲熔斷，用于保護所述關閉壓力控制閥COM針與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間電路安全運行。
[0007]優選地，所述額定電壓為120V，所述保險絲允許的最大電流為0.5A。
[0008]優選地，所述絕緣殼體為兩部分對接而成，所述兩部分之間采用可拆卸方式固定。
[0009]為了實現上述目的，本發明還提供了一種用于更換壓力控制閥上的0型圈的方法，其采用上述的系統進行所述0型圈的更換，包括:
[0010]步驟01:利用所述短接裝置將所述關閉壓力控制閥COM針和所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間短接，從而給所述控制裝置一個所述工藝腔和所述前道真空腔均處于大氣狀態的假信號；
[0011]步驟02:所述控制裝置判斷認為所述工藝腔和所述前級真空管均處于大氣狀態，允許所述互鎖裝置打開；
[0012]步驟03:所述互鎖裝置打開后，所述壓力控制閥處于可開啟狀態；
[0013]步驟04:打開所述壓力控制閥，更換所述壓力控制閥上的0型圈。
[0014]優選地，所述短接裝置包括絕緣殼體，位于所述絕緣殼體前端的多個接頭，位于所述絕緣殼體后端的防漏電保護部件，多個所述接頭和所述防漏電保護部件分別將所述絕緣殼體前端和后端封閉，所述接頭包括用于與所述關閉壓力控制閥COM針相連接的第一接頭以及用于與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針相連接的第二接頭；所述絕緣殼體內部具有與所述第一接頭和所述第二接頭相連接的可更換的保險絲，所述保險絲串聯于所述關閉壓力控制閥的COM針與所述關閉壓力控制閥的互鎖裝置針之間；
[0015]所述步驟01包括:將所述短接裝置的第一接頭與所述關閉壓力控制閥COM針相連接，將所述短接裝置的第二接頭與所述關于壓力控制閥互鎖裝置針相連接，從而實現所述關閉壓力控制閥COM針與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間的短接。
[0016]優選地，所述步驟01之后，且在所述步驟02之前還包括一個電路保護判斷過程:當所述關閉壓力控制閥COM針與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間的實際電壓超過它們之間的額定電壓時，所述保險絲熔斷，此時，停止進行所述步驟02;然后，當所述關閉壓力控制閥COM針與所述關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間的電路檢修好以后，將所述保險絲更換為相同型號的新的保險絲，并且執行所述步驟01，直至新的所述保險絲不熔斷，然后，開始進行所述步驟02。
[0017]優選地，所述額定電壓為120V，所述保險絲允許的最大電流為0.5A。
[0018]優選地，所述絕緣殼體為兩部分對接而成，所述兩部分之間采用可拆卸方式固定。
[0019]本發明的用于更換壓力控制閥上的0型圈的系統及方法，通過采用短接裝置，來短接關閉壓力控制閥COM針和關閉壓力控制閥互鎖裝置針，從而給控制裝置一個工藝腔和前道真空腔均處于大氣狀態的假信號，使控制裝置允許互鎖裝置打開，使壓力控制閥處于可開啟狀態，進而實現對壓力控制閥上的0型圈的更換，并且使得該更換過程簡單安全有效。
【附圖說明】
[0020]圖1為現有的等離子體增強化學氣相沉積裝置各個機構之間的連接關系示意圖
[0021]圖2為現有的控制裝置的電路連接示意圖
[0022]圖3為本發明的一個較佳實施例的用于更換壓力控制閥上的0型圈的系統的結構關系不意圖
[0023]圖4為本發明的一個較佳實施例的短接裝置的結構示意圖
[0024]圖5為本發明的一個較佳實施例的用于更換壓力控制閥上的0型圈的方法的流程示意圖
【具體實施方式】
[0025]為使本發明的內容更加清楚易懂，以下結合說明書附圖，對本發明的內容作進一步說明。當然本發明并不局限于該具體實施例，本領域內的技術人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發明的保護范圍內。
[0026]本發明的用于更換壓力控制閥上的0型圈的系統，由于控制裝置控制互鎖裝置的啟閉，如果互鎖裝置不開啟，則壓力控制裝置不能開啟，所以，需要使得控制裝置允許互鎖裝置開啟才能打開壓力控制裝置；而且只有當等離子體增強化學氣相沉積裝置的工藝腔和前級真空管均處于大氣狀態時，控制裝置才允許互鎖裝置打開，此時壓力控制閥才允許開啟；控制裝置上具有關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針，關閉壓力控制閥COM針連接于壓力控制閥的電路上，關閉壓力控制閥互鎖裝置針連接于互鎖裝置的電路上；當本發明的短接裝置將關閉壓力控制閥COM針和關閉壓力控制閥互鎖裝置針短接時，關閉壓力控制閥COM針和關閉壓力控制閥互鎖裝置針通過短接裝置串聯起來，造成壓力控制閥電路和互鎖裝置電路短路，使得控制裝置判斷認為前級真空管和工藝腔均為大氣壓力，從而允許互鎖裝置開啟，進行可以開啟壓力控制閥，以用于更換所述壓力控制閥上的0型圈。
[0027]請繼續參閱圖2，現有的等離子體化學氣相沉積系統的電路中，關閉壓力控制閥CM0電路15和關閉壓力控制閥互鎖裝置電路23的右端分別連接關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針，而左端連接有總機，當把控制裝置上的關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針所連接的電路15和電路23拔除后，通過短接裝置把控制裝置上的關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針短接，使得控制裝置上的關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間形成回路，此時，控制裝置檢測到關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間形成回路的狀態，會發送信號給互鎖裝置，例如，關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針分別連接電路15和電路23時，關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間沒有形成回路時，互鎖裝置的命令代碼為0，互鎖裝置呈關閉狀態，當關閉壓力控制閥COM針以及關閉壓力控制閥互鎖裝置針之間沒有形成回路時，控制裝置發送信號使互鎖裝置的命令代碼變為1，此時互鎖裝置呈打開狀態，當互鎖裝置打開時，壓力控制閥就可以打開了。
[0028]以下結合附圖3-5和具體實施例對本發明的用于更換壓力控制閥上的0型圈的系統及方法作進一步詳細說明。需說明的