罐用激冷器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種罐。
[0002]發明背景
[0003]該罐是一種用于存儲在涉及半導體和電子材料的制造工藝中所使用的有機和無機金屬化合物的容器。這些有機和無機金屬化合物的大多數為特別設計的具有高純度的昂貴化合物，并且大多數此類前體對于空氣或水是非常敏感的，并且因此該罐由一種提供密封和耐化學品性的金屬制成。
[0004]該罐必須被保持在一個給定溫度下，以便保存存儲在其中的有機和無機金屬化合物。為此目的，使用一個用于冷卻該罐的激冷器。
[0005]該激冷器包圍該罐，從而使冷卻水循環用于冷卻該罐。在標題為“用于半導體制造設備的激冷器系統(CHILLER SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT) ”的注冊專利號10-0773474中披露了一種激冷器。
[0006]圖1是一個常規的激冷器10的截面圖。如該附圖中所示，激冷器10包括一個托架11，以及一個用于接收罐20的插入在托架11中的內殼體13。如由箭頭所指示的，通過一個入口管15供應的冷卻水在內殼體13與罐20之間流動，通過一個排放管17被排出。
[0007]在這種情況下，設計激冷器10使得從內殼體13排放的冷卻水在托架11與內殼體13之間的空間(S1)中被收集，并且然后通過排放管17被排出。在此，該冷卻水的溫度不同于外部的大氣溫度，并且因此蒸汽在托架11的外壁上冷凝產生露水(M)而導致問題。
【發明內容】
[0008]發明目的
[0009]根據本發明的一個實施例，提供一個用于該罐的激冷器用于防止在該托架的外壁上產生露水。
[0010]根據本發明的另一個實施例，提供一個用于該罐的激冷器用于通過改進蓋子與密封件的連接結構來防止冷卻水泄漏到外面。
[0011 ] 根據本發明的又另一個實施例，提供一個用于該罐的激冷器用于防止該罐移位。
[0012]根據本發明的一個另外的實施例，提供一個用于該罐的激冷器用于收集在蓋子的上表面上產生的露水，以便防止露水向下流到底部。
[0013]本領域的普通技術人員將從本發明的優選實施例中清楚地理解本發明的目的和優點。
[0014]發明概述
[0015]根據本發明的一個實施例，一個罐用激冷器包括:一個鼓形托架，具有一個開放上部；一個插入在該托架中的內殼體，具有一個在該托架的內壁表面與該內殼體之間的給定空間，用于接收該罐；以及一個排水容器，被安排在該內殼體與該托架之間，用于收集從該內殼體排放的冷卻水。
[0016]根據本發明的另一個實施例，該排水容器與該托架的內壁分開一個給定的空間。
[0017]根據本發明的另一個實施例，一個絕緣層被安排在該排水容器與該托架的內壁之間的給定空間中。
[0018]根據本發明的另一個實施例，一個冷卻水排放管通過該托架被連接到該排水容器上，以便將收集的所有冷卻水通過該冷卻水排放管從該內殼體排入到該排水容器中。
[0019]根據本發明的另一個實施例，該排水容器的形狀像一個圍繞該內殼體的環。
[0020]根據本發明的另一個實施例，多個倒三角形溢流孔以在該內殼體的上部內部中的孔之間的一個給定間隔形成，以便與該排水容器連通，使得在該內殼體中流動的冷卻水移動通過這些溢流孔至該排水容器。
[0021]根據本發明的另一個實施例，多個倒三角形溢流孔以在該內殼體的上部內部中的孔之間的一個給定間隔形成，以便與該排水容器連通，使得在該內殼體中流動的冷卻水移動通過這些溢流孔至該排水容器。
[0022]根據本發明的另一個實施例，一個鎖定裙(locking skirt)在該內殼體的底部中形成，以便用一個沿該罐的下部的圓周延伸的鎖條鎖定至一個給定長度。
[0023]根據本發明的另一個實施例，一個罐用激冷器包括:一個上密封部分，被固定地連接至該托架和該內殼體的上部；一個可拆卸密封件，被可拆卸地附接至該上密封部分的上表面；以及一個密封蓋，被連接至該可拆卸密封件的上部，用于壓著該可拆卸密封件，以便防止冷卻水流動到外面。
[0024]根據本發明的另一個實施例，該上密封部分的上表面配備有一個沉陷給定深度的用于容納所述可拆卸密封件的座面(seat surface)，并且該密封蓋的上部配備有一個壓力斜坡凸起(pressure slope project1n)，該壓力斜坡凸起具有從內到外沿徑向方向增加的長度，用于壓著該可拆卸密封件。
[0025]根據本發明的另一個實施例，一個露水接收凹槽是通過使該密封蓋的上表面沉陷而形成的，像一個沿該周長的溝道以接收露水，并且一個除濕口袋被連接到該托架的上部的外表面以收集來自該露水接收凹槽的露水。
[0026]根據本發明的另一個實施例，一個罐用激冷器進一步包括一個口袋連接管，其一端被安排在該露水接收凹槽中并且另一端被可拆卸地附接至該除濕口袋。
[0027]發明效果
[0028]根據本發明的至少一個實施例，防止露水在該罐用激冷器的外部形成。
[0029]根據本發明的至少一個實施例，在該密封蓋的上表面上冷凝的露水被該露水接收凹槽接收，并且被排放至該除濕口袋，因此防止露水向下流動到底部。
[0030]根據本發明的至少一個實施例，該壓力斜坡凸起的傾斜表面壓著該可拆卸密封件以便有效地防止冷卻水泄漏到外面。
[0031]根據本發明的至少一個實施例，該內殼體的下部配備有一個用于防止該罐轉動的鎖定裙，因此穩定地固定該罐的位置。
[0032]附圖簡要說明
[0033]圖1是用于罐的一個常規激冷器的截面圖；
[0034]圖2是展示根據本發明的一個罐用激冷器的外部結構的透視圖；
[0035]圖3是展示根據本發明的一個罐用激冷器的拆分結構的透視圖；
[0036]圖4是根據本發明的一個罐用激冷器的截面圖、以及冷卻水的流動路徑；并且
[0037]圖5是根據本發明的一個罐用激冷器的上密封結構的放大視圖。
[0038]用于進行本發明的詳細說明
[0039]為了清楚地理解本發明，本發明的優選實施例參照附圖進行描述。本發明的一個實施例可以多樣地進行修改，并且本發明的范圍必須不受限于以下具體描述的實施例。提供這些實施例用于本領域的普通技術人員清楚地理解本發明。因此，這些組成部分的形狀等可以被放大以強調清楚的描述。應指出相同的元件由相同的參考號來表示。未描述可能混淆本發明的主旨的常規功能和結構。
[0040]圖2是根據本發明的一個實施例的罐用激冷器100的外部結構的透視圖，圖3是根據本發明的一個實施例的罐用激冷器100的拆分結構的透視圖，圖4是根據本發明的罐用激冷器100的截面圖、以及冷卻水的流動路徑，并且圖5是根據本發明的罐用激冷器100的上密封結構的放大視圖。
[0041]如這些附圖中所示，根據本發明的罐用激冷器100包圍一個罐200，并且使冷卻水循環以將罐200冷卻至一個給定溫度。在這種情況下，罐用激冷器100配備有一個用于使冷卻水循環的循環栗(未示出)。
[0042]根據本發明的一個實施例的激冷器100包括一個鼓形托架110，一個用于包圍罐200的插入托架110中的內殼體120，一個被安排在托架110與內殼體120之間的排水容器130，一個用于將冷卻水引導到內殼體120中的入口管140，一個用于將排水容器130的冷卻水排出到外部的排放管145，一個被連接到托架110和內殼體120的上部的上密封部分150，一個被可拆卸地附接至上密封部分150的可拆卸密封件160，一個被連接到可拆卸密封件160的上部的密封蓋170，以及一個被連接到托架110的外周表面用于收集密封蓋170中產生的露水的除濕口袋180。
[0043]托架110是作為用于包圍內殼體120和罐200的具有一個給定的直徑的圓筒而形成的。托架110包括一個托架主體111、一個用于連接托架主體111和內殼體120的內入口管113、以及一個被連接到托架110的底部的可移動容器115。
[0044]托架主體111使得冷卻水穩定地流入和流出，并且穩定地支撐罐200。托架主體111的下部配備有一個入口管140，并且其上部配備有一個排放管145。入口管140被連接到內入口管113。內入口管113被連接到一個在內殼體120的底部中的入口孔122，以便將冷卻水供應至內殼體120。
[0045]可移動容器115例如被連接到托架110的底部用于支撐有待移動的托架110。可移動容器115的下部配備有多個輪子116。
[0046]托架主體111的上部配備有一個用于連接內殼體120和托架