本公開涉及(ji)半導體(ti)(ti)或光伏，具體(ti)(ti)涉及(ji)一種片(pian)材載具上下料裝置和方法，以及(ji)反應爐系(xi)統。

背景技術：

1、在(zai)對(dui)半導(dao)體或(huo)光伏材(cai)料(liao)(liao)進行(xing)加(jia)工(gong)時，通常需要將(jiang)待加(jia)工(gong)的(de)片(pian)(pian)狀(zhuang)材(cai)料(liao)(liao)送(song)入(ru)特定的(de)反(fan)應爐，在(zai)一定的(de)溫度和壓(ya)力(li)條件(jian)下進行(xing)加(jia)工(gong)。目前行(xing)業內通常采用(yong)舟(zhou)結(jie)構(gou)來承載待加(jia)工(gong)的(de)、加(jia)工(gong)中的(de)或(huo)者加(jia)工(gong)后的(de)片(pian)(pian)狀(zhuang)材(cai)料(liao)(liao)，舟(zhou)結(jie)構(gou)由舟(zhou)托承載，舟(zhou)托被放(fang)置于(yu)懸(xuan)臂(bei)槳結(jie)構(gou)的(de)槳葉支撐端，懸(xuan)臂(bei)槳結(jie)構(gou)設置于(yu)推舟(zhou)組(zu)件(jian)，在(zai)推舟(zhou)組(zu)件(jian)的(de)驅動(dong)下，懸(xuan)臂(bei)槳結(jie)構(gou)將(jiang)舟(zhou)結(jie)構(gou)以及舟(zhou)結(jie)構(gou)承載的(de)片(pian)(pian)狀(zhuang)材(cai)料(liao)(liao)送(song)入(ru)反(fan)應爐或(huo)從反(fan)應爐取出。

2、隨著舟結(jie)構(gou)的(de)重量和(he)長度(du)的(de)不斷(duan)增(zeng)加，懸臂槳(jiang)結(jie)構(gou)的(de)槳(jiang)通(tong)常需(xu)要做得(de)很長，槳(jiang)葉支撐(cheng)端受自身重力和(he)舟托、舟結(jie)構(gou)以(yi)及片狀材料等重力的(de)影響，不可(ke)避(bi)免地產生變形下垂，因此，需(xu)要設置多組調節結(jie)構(gou)來調節舟托和(he)舟結(jie)構(gou)進出反(fan)應爐(lu)時(shi)相對于反(fan)應爐(lu)的(de)位置，調節難度(du)大(da)。

技術實現思路

1、有鑒(jian)于此，本公(gong)開實施(shi)例(li)提供(gong)了一種(zhong)片材(cai)載(zai)(zai)具上下料裝置(zhi)(zhi)和方法，以及反(fan)應爐系(xi)統，解決(jue)了由于懸臂槳結(jie)構的槳變(bian)形，導致(zhi)片材(cai)載(zai)(zai)具進出反(fan)應爐時相(xiang)對(dui)于反(fan)應爐的位置(zhi)(zhi)的調(diao)節難(nan)度大的問題。

2、第一(yi)(yi)方面，本公開的(de)(de)實施(shi)例(li)提供了一(yi)(yi)種片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)上(shang)(shang)下(xia)料裝置，應(ying)用于(yu)(yu)反(fan)(fan)應(ying)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)應(ying)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)具(ju)有反(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)和(he)(he)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)口，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)口位(wei)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)的(de)(de)側(ce)面，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)應(ying)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)還(huan)包括(kuo)至少(shao)一(yi)(yi)個爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)設置于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)的(de)(de)底部(bu)；其中，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)上(shang)(shang)下(xia)料裝置包括(kuo)：承(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)板(ban)，水平(ping)放(fang)(fang)置于(yu)(yu)地(di)面或者機架(jia)；至少(shao)一(yi)(yi)個爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)，設置于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)承(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)板(ban)上(shang)(shang)，能夠與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)對(dui)接(jie)，被(bei)配(pei)置為(wei)承(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)包括(kuo)滾(gun)輪(lun)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)滾(gun)輪(lun)能夠在(zai)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)上(shang)(shang)滾(gun)動；推(tui)(tui)舟組件(jian)，設置于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)承(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)板(ban)上(shang)(shang)，被(bei)配(pei)置為(wei)對(dui)放(fang)(fang)置于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)上(shang)(shang)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)施(shi)加(jia)沿所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方向(xiang)(xiang)的(de)(de)推(tui)(tui)力(li)或拉力(li)；其中，在(zai)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)對(dui)接(jie)的(de)(de)情(qing)況下(xia)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方向(xiang)(xiang)與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方向(xiang)(xiang)相(xiang)(xiang)同(tong)，其中，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)推(tui)(tui)舟組件(jian)對(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)上(shang)(shang)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)施(shi)加(jia)沿所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方向(xiang)(xiang)的(de)(de)推(tui)(tui)力(li)，以(yi)使所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)滾(gun)輪(lun)相(xiang)(xiang)對(dui)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)滾(gun)動，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)被(bei)推(tui)(tui)入所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)；或者，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)推(tui)(tui)舟組件(jian)對(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)上(shang)(shang)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)施(shi)加(jia)沿所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方向(xiang)(xiang)的(de)(de)拉力(li)，以(yi)使所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)滾(gun)輪(lun)相(xiang)(xiang)對(dui)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)(nei)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)滾(gun)動，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)片(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)被(bei)拉出所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)。

3、在一些實施(shi)例中(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)片材載(zai)具(ju)(ju)上(shang)下料(liao)裝置(zhi)(zhi)還包(bao)括：限(xian)位(wei)(wei)件(jian)(jian)，設置(zhi)(zhi)于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)承載(zai)板上(shang)，并設置(zhi)(zhi)于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)爐(lu)外(wai)軌道的(de)(de)下方(fang)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)限(xian)位(wei)(wei)件(jian)(jian)具(ju)(ju)有限(xian)位(wei)(wei)部(bu)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)限(xian)位(wei)(wei)部(bu)延伸(shen)至所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)爐(lu)外(wai)軌道的(de)(de)側面(mian)，被配置(zhi)(zhi)為對所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)滾(gun)輪(lun)進(jin)行限(xian)位(wei)(wei)；彈性件(jian)(jian)，設置(zhi)(zhi)于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)限(xian)位(wei)(wei)件(jian)(jian)的(de)(de)下方(fang)；其中(zhong)(zhong)，在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)推(tui)舟組件(jian)(jian)對所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)爐(lu)外(wai)軌道上(shang)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)片材載(zai)具(ju)(ju)施(shi)加(jia)沿所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)爐(lu)外(wai)軌道的(de)(de)延伸(shen)方(fang)向的(de)(de)推(tui)力(li)或拉力(li)的(de)(de)過程(cheng)中(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)滾(gun)輪(lun)對所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)限(xian)位(wei)(wei)件(jian)(jian)施(shi)加(jia)壓力(li)，以壓縮(suo)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)彈性件(jian)(jian)，使(shi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)滾(gun)輪(lun)越過所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)限(xian)位(wei)(wei)件(jian)(jian)繼續在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)爐(lu)外(wai)軌道上(shang)滾(gun)動。

4、在(zai)一(yi)些實施例中(zhong)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)滾輪(lun)(lun)包括：第(di)(di)(di)一(yi)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)輪(lun)(lun)；第(di)(di)(di)二(er)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)輪(lun)(lun)；連(lian)(lian)接軸，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)連(lian)(lian)接軸連(lian)(lian)接所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)輪(lun)(lun)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)輪(lun)(lun)；其中(zhong)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)連(lian)(lian)接軸與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐外(wai)(wai)軌(gui)道的(de)(de)(de)頂(ding)部(bu)(bu)接觸，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)輪(lun)(lun)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐外(wai)(wai)軌(gui)道的(de)(de)(de)一(yi)側(ce)接觸，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)輪(lun)(lun)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐外(wai)(wai)軌(gui)道的(de)(de)(de)另一(yi)側(ce)接觸；其中(zhong)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)件(jian)具有第(di)(di)(di)一(yi)承(cheng)(cheng)載槽，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)承(cheng)(cheng)載槽被配(pei)置為容納所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐外(wai)(wai)軌(gui)道的(de)(de)(de)底部(bu)(bu)和與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐外(wai)(wai)軌(gui)道的(de)(de)(de)底部(bu)(bu)連(lian)(lian)接的(de)(de)(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐外(wai)(wai)軌(gui)道的(de)(de)(de)部(bu)(bu)分側(ce)面；其中(zhong)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)上表面具有弧形(xing)凹(ao)槽，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)弧形(xing)凹(ao)槽的(de)(de)(de)延伸方(fang)向與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)承(cheng)(cheng)載槽的(de)(de)(de)延伸方(fang)向垂(chui)直，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)弧形(xing)凹(ao)槽能夠(gou)容納至少部(bu)(bu)分所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)輪(lun)(lun)和/或至少部(bu)(bu)分所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)限(xian)(xian)(xian)(xian)位(wei)(wei)(wei)輪(lun)(lun)。

5、在(zai)一(yi)些(xie)實(shi)施例中，所(suo)(suo)述(shu)(shu)推(tui)舟(zhou)組(zu)(zu)件(jian)(jian)包括：夾(jia)(jia)(jia)持(chi)組(zu)(zu)件(jian)(jian)，被配(pei)置為對所(suo)(suo)述(shu)(shu)片材載(zai)具進行夾(jia)(jia)(jia)持(chi)；驅(qu)動組(zu)(zu)件(jian)(jian)，設置于所(suo)(suo)述(shu)(shu)承載(zai)板(ban)上，與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)夾(jia)(jia)(jia)持(chi)組(zu)(zu)件(jian)(jian)連接，被配(pei)置為驅(qu)動所(suo)(suo)述(shu)(shu)夾(jia)(jia)(jia)持(chi)組(zu)(zu)件(jian)(jian)沿(yan)所(suo)(suo)述(shu)(shu)爐外軌道的(de)延伸方向運動，以對所(suo)(suo)述(shu)(shu)片材載(zai)具施加沿(yan)所(suo)(suo)述(shu)(shu)爐外軌道的(de)延伸方向的(de)推(tui)力或拉力。

6、在一些實施(shi)例中，所述(shu)(shu)(shu)片材載具上下(xia)料裝(zhuang)置還包(bao)括：第(di)一推舟(zhou)(zhou)滑(hua)軌(gui)，設置于所述(shu)(shu)(shu)承(cheng)載板上，所述(shu)(shu)(shu)第(di)一推舟(zhou)(zhou)滑(hua)軌(gui)的延(yan)伸(shen)方向與(yu)所述(shu)(shu)(shu)爐外軌(gui)道的延(yan)伸(shen)方向相同；第(di)一推舟(zhou)(zhou)滑(hua)塊，與(yu)所述(shu)(shu)(shu)第(di)一推舟(zhou)(zhou)滑(hua)軌(gui)可滑(hua)動(dong)(dong)連接，并與(yu)所述(shu)(shu)(shu)夾持組件(jian)連接，以使(shi)所述(shu)(shu)(shu)夾持組件(jian)能夠(gou)在所述(shu)(shu)(shu)驅(qu)動(dong)(dong)組件(jian)的驅(qu)動(dong)(dong)下(xia)，沿所述(shu)(shu)(shu)第(di)一推舟(zhou)(zhou)滑(hua)軌(gui)運(yun)動(dong)(dong)。

7、在一些實施例中(zhong)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)片材(cai)載具上(shang)下料裝置(zhi)還(huan)包括：驅(qu)(qu)動源，設置(zhi)于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)承(cheng)載板(ban)上(shang)，被(bei)配(pei)置(zhi)為提供驅(qu)(qu)動力；第(di)(di)(di)二(er)推舟(zhou)滑(hua)軌(gui)(gui)，設置(zhi)于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)承(cheng)載板(ban)上(shang)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)推舟(zhou)滑(hua)軌(gui)(gui)的(de)延伸(shen)(shen)方向與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)延伸(shen)(shen)方向相同；至少一個第(di)(di)(di)二(er)推舟(zhou)滑(hua)塊，與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)推舟(zhou)滑(hua)軌(gui)(gui)可滑(hua)動連接，且(qie)位于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)下方并與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)連接，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)驅(qu)(qu)動源與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)連接，其中(zhong)，在所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)驅(qu)(qu)動源的(de)驅(qu)(qu)動下，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)帶動所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)推舟(zhou)滑(hua)塊沿所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)推舟(zhou)滑(hua)軌(gui)(gui)運動，以使所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)爐(lu)(lu)內軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)對(dui)接。

8、在(zai)一些實施例中，所(suo)(suo)述(shu)第二推舟(zhou)滑(hua)塊(kuai)的數量為多(duo)(duo)個(ge)；其中，所(suo)(suo)述(shu)片(pian)材載具上下料裝置還包括(kuo)：連(lian)接(jie)板(ban)，設(she)置于多(duo)(duo)個(ge)所(suo)(suo)述(shu)第二推舟(zhou)滑(hua)塊(kuai)上，并與多(duo)(duo)個(ge)所(suo)(suo)述(shu)第二推舟(zhou)滑(hua)塊(kuai)連(lian)接(jie)；支撐(cheng)塊(kuai)，設(she)置于所(suo)(suo)述(shu)連(lian)接(jie)板(ban)上，并與所(suo)(suo)述(shu)連(lian)接(jie)板(ban)連(lian)接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)支撐(cheng)塊(kuai)具有第二承載槽(cao)，所(suo)(suo)述(shu)第二承載槽(cao)被配置為容納所(suo)(suo)述(shu)爐外(wai)軌(gui)道(dao)(dao)的底部和與所(suo)(suo)述(shu)爐外(wai)軌(gui)道(dao)(dao)的底部連(lian)接(jie)的所(suo)(suo)述(shu)爐外(wai)軌(gui)道(dao)(dao)的部分側面。

9、在一些(xie)實施(shi)例中，所述(shu)片(pian)材載(zai)具上下(xia)料裝置(zhi)(zhi)還包括：至(zhi)少一個傳感器(qi)，設(she)置(zhi)(zhi)于所述(shu)承載(zai)板上，被配(pei)置(zhi)(zhi)為(wei)檢測所述(shu)爐外(wai)軌道上是否存在所述(shu)片(pian)材載(zai)具，或者檢測所述(shu)片(pian)材載(zai)具的位置(zhi)(zhi)。

10、在(zai)一些實施例中，所(suo)述(shu)爐(lu)外(wai)軌(gui)道的數量(liang)為(wei)多個，多個所(suo)述(shu)爐(lu)外(wai)軌(gui)道相對于所(suo)述(shu)推舟組(zu)件對稱設(she)置。

11、第二方面(mian)，本(ben)公開的實施例提供了一(yi)種(zhong)反(fan)(fan)應(ying)爐(lu)系統(tong)，包括：反(fan)(fan)應(ying)爐(lu)，具(ju)有反(fan)(fan)應(ying)腔和(he)爐(lu)口(kou)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)爐(lu)口(kou)位于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)反(fan)(fan)應(ying)腔的側面(mian)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)反(fan)(fan)應(ying)爐(lu)還包括至少一(yi)個爐(lu)內軌(gui)道，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)爐(lu)內軌(gui)道設置(zhi)于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)反(fan)(fan)應(ying)腔的底部；如第一(yi)方面(mian)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)的片(pian)材載具(ju)上下料裝(zhuang)置(zhi)，被配(pei)置(zhi)為(wei)通過與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)爐(lu)內軌(gui)道對接將片(pian)材載具(ju)由所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)爐(lu)口(kou)送入所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)反(fan)(fan)應(ying)腔。

12、第(di)三方(fang)(fang)(fang)面(mian)，本(ben)公(gong)開的(de)(de)實施(shi)例(li)提供了一種片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)上下(xia)(xia)料方(fang)(fang)(fang)法(fa)，應(ying)用(yong)于(yu)(yu)反(fan)(fan)(fan)(fan)應(ying)爐(lu)和(he)(he)第(di)一方(fang)(fang)(fang)面(mian)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)的(de)(de)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)上下(xia)(xia)料裝置(zhi)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)(fan)(fan)應(ying)爐(lu)具(ju)有反(fan)(fan)(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)和(he)(he)爐(lu)口(kou)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)口(kou)位于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)的(de)(de)側面(mian)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)(fan)(fan)應(ying)爐(lu)還包(bao)括(kuo)至少一個爐(lu)內(nei)(nei)(nei)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)內(nei)(nei)(nei)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)設置(zhi)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)的(de)(de)底部(bu)；其(qi)中，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)上下(xia)(xia)料方(fang)(fang)(fang)法(fa)包(bao)括(kuo)：將(jiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)上下(xia)(xia)料裝置(zhi)的(de)(de)爐(lu)外(wai)(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)內(nei)(nei)(nei)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)對(dui)(dui)(dui)接(jie)，且所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)外(wai)(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方(fang)(fang)(fang)向(xiang)與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)內(nei)(nei)(nei)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方(fang)(fang)(fang)向(xiang)相(xiang)(xiang)同；利用(yong)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)上下(xia)(xia)料裝置(zhi)的(de)(de)推舟(zhou)組件對(dui)(dui)(dui)放置(zhi)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)外(wai)(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)上的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)施(shi)加(jia)沿(yan)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)外(wai)(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方(fang)(fang)(fang)向(xiang)的(de)(de)推力，以(yi)使(shi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)的(de)(de)滾(gun)(gun)輪(lun)(lun)相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)(dui)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)外(wai)(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)內(nei)(nei)(nei)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)滾(gun)(gun)動，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)被推入(ru)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)；或者，利用(yong)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)推舟(zhou)組件對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)內(nei)(nei)(nei)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)上的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)施(shi)加(jia)沿(yan)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)外(wai)(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)延(yan)(yan)伸方(fang)(fang)(fang)向(xiang)的(de)(de)拉力，以(yi)使(shi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)的(de)(de)滾(gun)(gun)輪(lun)(lun)相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)(dui)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)外(wai)(wai)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)爐(lu)內(nei)(nei)(nei)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)滾(gun)(gun)動，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)片(pian)(pian)材(cai)(cai)(cai)載(zai)(zai)具(ju)被拉出所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)(fan)(fan)(fan)應(ying)腔(qiang)。

13、本(ben)公開實施(shi)(shi)例提供(gong)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)種片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)上(shang)(shang)下(xia)料(liao)裝置(zhi)(zhi)，應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)用于(yu)反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)，反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)具(ju)(ju)有反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)腔和(he)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)口(kou)，爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)口(kou)位于(yu)反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)腔的(de)(de)(de)(de)側(ce)面，反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)還包括至(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)個爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)，爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)設(she)置(zhi)(zhi)于(yu)反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)腔的(de)(de)(de)(de)底部。片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)上(shang)(shang)下(xia)料(liao)裝置(zhi)(zhi)包括：承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)板(ban)、至(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)個爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)和(he)推舟(zhou)組件(jian)(jian)(jian)，承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)板(ban)水平放置(zhi)(zhi)于(yu)地面或者機架，至(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)個爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)設(she)置(zhi)(zhi)于(yu)承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)板(ban)上(shang)(shang)，能夠與爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)對(dui)接(jie)，被(bei)配(pei)(pei)置(zhi)(zhi)為(wei)承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)，片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)包括滾(gun)(gun)輪，滾(gun)(gun)輪能夠在(zai)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)和(he)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)上(shang)(shang)滾(gun)(gun)動，推舟(zhou)組件(jian)(jian)(jian)設(she)置(zhi)(zhi)于(yu)承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)板(ban)上(shang)(shang)，被(bei)配(pei)(pei)置(zhi)(zhi)為(wei)對(dui)放置(zhi)(zhi)于(yu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)施(shi)(shi)加(jia)沿爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)延伸(shen)(shen)方向的(de)(de)(de)(de)推力(li)(li)或拉力(li)(li)。在(zai)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)與爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)對(dui)接(jie)的(de)(de)(de)(de)情況(kuang)下(xia)，爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)延伸(shen)(shen)方向與爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)延伸(shen)(shen)方向相(xiang)同，推舟(zhou)組件(jian)(jian)(jian)對(dui)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)施(shi)(shi)加(jia)沿爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)延伸(shen)(shen)方向的(de)(de)(de)(de)推力(li)(li)，以使(shi)(shi)滾(gun)(gun)輪相(xiang)對(dui)于(yu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)和(he)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)滾(gun)(gun)動，片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)被(bei)推入反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)腔；推舟(zhou)組件(jian)(jian)(jian)對(dui)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)施(shi)(shi)加(jia)沿爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)延伸(shen)(shen)方向的(de)(de)(de)(de)拉力(li)(li)，以使(shi)(shi)滾(gun)(gun)輪相(xiang)對(dui)于(yu)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)和(he)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)滾(gun)(gun)動，片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)被(bei)拉出反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)腔。該(gai)片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)上(shang)(shang)下(xia)料(liao)裝置(zhi)(zhi)采(cai)用爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)外(wai)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)和(he)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)承(cheng)(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)，取代了懸臂槳(jiang)結構，軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)具(ju)(ju)備強大的(de)(de)(de)(de)支撐力(li)(li)，且不存在(zai)變形的(de)(de)(de)(de)問題，從而(er)降低了片(pian)(pian)(pian)材(cai)(cai)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)進(jin)出反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)時相(xiang)對(dui)于(yu)反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)位置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)調節難度。