本發(fa)明涉(she)及一種(zhong)用于將(jiang)相干的(de)激(ji)光束組(zu)合成至少(shao)一個組(zu)合的(de)激(ji)光束的(de)設(she)備(bei)和方法(fa)。本發(fa)明還(huan)涉(she)及一種(zhong)激(ji)光系統(tong)。

背景技術：

1、從de?10?2020?201?161?a1已知(zhi)一(yi)(yi)種用于(yu)組(zu)合(he)(he)多個(ge)(ge)相(xiang)干(gan)(gan)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)的(de)(de)設備，該設備包括用于(yu)將輸入激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)分(fen)離成多個(ge)(ge)相(xiang)干(gan)(gan)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)的(de)(de)分(fen)離裝(zhuang)置(zhi)、用于(yu)調整相(xiang)干(gan)(gan)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)之一(yi)(yi)的(de)(de)相(xiang)應相(xiang)位(wei)的(de)(de)多個(ge)(ge)相(xiang)位(wei)調整裝(zhuang)置(zhi)、以(yi)及(ji)用于(yu)將從光(guang)(guang)(guang)柵組(zu)件的(de)(de)多個(ge)(ge)光(guang)(guang)(guang)柵位(wei)置(zhi)發(fa)出的(de)(de)相(xiang)干(gan)(gan)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)組(zu)合(he)(he)成至(zhi)少一(yi)(yi)個(ge)(ge)組(zu)合(he)(he)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)的(de)(de)射束(shu)(shu)(shu)組(zu)合(he)(he)裝(zhuang)置(zhi)，其中射束(shu)(shu)(shu)組(zu)合(he)(he)裝(zhuang)置(zhi)具有微透(tou)鏡(jing)組(zu)件，該微透(tou)鏡(jing)組(zu)件具有恰好一(yi)(yi)個(ge)(ge)微透(tou)鏡(jing)陣列，用以(yi)形成該至(zhi)少一(yi)(yi)個(ge)(ge)組(zu)合(he)(he)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)。

2、從us?9,134,538?b1已(yi)知一(yi)種用(yong)于相干(gan)組合(he)(he)(he)多(duo)個(ge)(ge)光(guang)學(xue)射(she)(she)束(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)系統，該(gai)系統包括：諧(xie)振腔(qiang)；布置在諧(xie)振腔(qiang)內的(de)(de)(de)(de)多(duo)個(ge)(ge)放大(da)元(yuan)件(jian)(jian)；與(yu)放大(da)元(yuan)件(jian)(jian)處(chu)于光(guang)學(xue)通信(xin)(xin)的(de)(de)(de)(de)射(she)(she)束(shu)(shu)組合(he)(he)(he)元(yuan)件(jian)(jian)，以(yi)將光(guang)學(xue)射(she)(she)束(shu)(shu)相干(gan)地組合(he)(he)(he)成相干(gan)輸出(chu)射(she)(she)束(shu)(shu)；傳(chuan)感(gan)器(qi)，該(gai)傳(chuan)感(gan)器(qi)與(yu)射(she)(she)束(shu)(shu)組合(he)(he)(he)元(yuan)件(jian)(jian)處(chu)于光(guang)學(xue)通信(xin)(xin)，以(yi)檢測相干(gan)輸出(chu)射(she)(she)束(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)至(zhi)少(shao)一(yi)部(bu)分并且提(ti)供反饋信(xin)(xin)號，該(gai)反饋信(xin)(xin)號代表相干(gan)輸出(chu)射(she)(she)束(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)至(zhi)少(shao)一(yi)部(bu)分；以(yi)及與(yu)傳(chuan)感(gan)器(qi)耦(ou)合(he)(he)(he)的(de)(de)(de)(de)相位(wei)控制裝置，以(yi)便基于反饋信(xin)(xin)號調整光(guang)學(xue)射(she)(she)束(shu)(shu)中的(de)(de)(de)(de)至(zhi)少(shao)一(yi)個(ge)(ge)光(guang)學(xue)射(she)(she)束(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)相位(wei)。

3、從wo?2017/125345?a1已(yi)知(zhi)一種相(xiang)位調節(jie)系統(tong)，該(gai)相(xiang)位調節(jie)系統(tong)用于(yu)調節(jie)激(ji)光(guang)系統(tong)的(de)(de)要相(xiang)干(gan)組(zu)合的(de)(de)兩個激(ji)光(guang)束的(de)(de)相(xiang)對相(xiang)位，該(gai)激(ji)光(guang)系統(tong)被設置(zhi)成用于(yu)提供(gong)經相(xiang)位調節(jie)的(de)(de)總激(ji)光(guang)束。

技術實現思路

1、本(ben)發明基于(yu)的(de)目的(de)在(zai)于(yu)，提(ti)供一種開(kai)篇提(ti)及(ji)的(de)設備(bei)和(he)一種開(kai)篇提(ti)及(ji)的(de)方(fang)法，借助(zhu)于(yu)該設備(bei)和(he)該方(fang)法可(ke)以在(zai)高(gao)時間和(he)/或空間動態下(xia)可(ke)靠(kao)性高(gao)地實(shi)現相干的(de)激光束的(de)組合。

2、根據本發明(ming)，該(gai)(gai)目的(de)(de)(de)在開篇提及的(de)(de)(de)設備中(zhong)以如(ru)下(xia)方式實(shi)(shi)現(xian)：該(gai)(gai)設備包(bao)括：相(xiang)(xiang)位(wei)調(diao)(diao)整裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)，該(gai)(gai)相(xiang)(xiang)位(wei)調(diao)(diao)整裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)用于調(diao)(diao)整相(xiang)(xiang)干的(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)之間的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)應(ying)相(xiang)(xiang)位(wei)差(cha)；放(fang)(fang)(fang)大(da)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)，該(gai)(gai)放(fang)(fang)(fang)大(da)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)用于放(fang)(fang)(fang)大(da)相(xiang)(xiang)干的(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)，其中(zhong)經(jing)放(fang)(fang)(fang)大(da)的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)干的(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)從放(fang)(fang)(fang)大(da)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)中(zhong)耦合(he)輸出；控(kong)制(zhi)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)，該(gai)(gai)控(kong)制(zhi)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)基(ji)于預(yu)定(ding)的(de)(de)(de)配屬(shu)規則(ze)操控(kong)相(xiang)(xiang)位(wei)調(diao)(diao)整裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)，以將經(jing)放(fang)(fang)(fang)大(da)的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)干的(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)之間的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)應(ying)相(xiang)(xiang)位(wei)差(cha)調(diao)(diao)整到預(yu)定(ding)的(de)(de)(de)目標相(xiang)(xiang)位(wei)差(cha)值；測(ce)量裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)，該(gai)(gai)測(ce)量裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)用于求取經(jing)放(fang)(fang)(fang)大(da)的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)干的(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)之間的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)應(ying)相(xiang)(xiang)位(wei)差(cha)，其中(zhong)借(jie)助于測(ce)量裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)求取經(jing)放(fang)(fang)(fang)大(da)的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)干的(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)之間的(de)(de)(de)實(shi)(shi)際(ji)相(xiang)(xiang)位(wei)差(cha)值；以及被(bei)配屬(shu)給控(kong)制(zhi)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)優化(hua)(hua)單元，該(gai)(gai)優化(hua)(hua)單元基(ji)于借(jie)助于測(ce)量裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)求取的(de)(de)(de)實(shi)(shi)際(ji)相(xiang)(xiang)位(wei)差(cha)值優化(hua)(hua)配屬(shu)規則(ze)。

3、在設(she)備運行時(shi)，可能出(chu)現基(ji)于配(pei)屬規則(ze)調(diao)整(zheng)的(de)(de)(de)(de)(de)目標相(xiang)位(wei)差(cha)值與現實(shi)(shi)存(cun)在的(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)際相(xiang)位(wei)差(cha)值之間的(de)(de)(de)(de)(de)偏差(cha)。其原因例如(ru)可以在于設(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)部件(jian)(例如(ru)相(xiang)位(wei)調(diao)整(zheng)裝置和/或放(fang)大裝置)的(de)(de)(de)(de)(de)升溫。這種(zhong)升溫可能影響經放(fang)大的(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)干的(de)(de)(de)(de)(de)激(ji)光束(shu)之間的(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)際相(xiang)位(wei)差(cha)。

4、因此在根(gen)據本發明的解決方案中，在設(she)備運(yun)行時，基于借助于測量(liang)裝置求取的實際(ji)相(xiang)位(wei)差值優化配屬規則。由(you)此可(ke)以使要(yao)調整的目標相(xiang)位(wei)差值與現實存在的實際(ji)相(xiang)位(wei)差值之間的偏(pian)差最小(xiao)化。由(you)此可(ke)以確保(bao)設(she)備的可(ke)靠運(yun)行。

5、尤(you)其可以(yi)提出，在(zai)(zai)設(she)備運(yun)行(xing)(xing)(xing)時，借助于(yu)該(gai)至少一(yi)個組合(he)的(de)激(ji)(ji)光束(shu)在(zai)(zai)工(gong)件上執行(xing)(xing)(xing)激(ji)(ji)光加工(gong)過程。尤(you)其在(zai)(zai)設(she)備運(yun)行(xing)(xing)(xing)時，配屬規則在(zai)(zai)工(gong)件的(de)激(ji)(ji)光加工(gong)過程期(qi)(qi)間被優(you)化或在(zai)(zai)工(gong)件的(de)激(ji)(ji)光加工(gong)過程期(qi)(qi)間是可優(you)化的(de)。

6、尤其可以提出，借助于優(you)化(hua)單元以時間(jian)(jian)間(jian)(jian)隔更新配屬(shu)規(gui)則(ze)。尤其以規(gui)律(lv)的時間(jian)(jian)間(jian)(jian)隔更新配屬(shu)規(gui)則(ze)。然而原則(ze)上(shang)還(huan)可以實現(xian)的是，以不(bu)規(gui)律(lv)或隨(sui)機的時間(jian)(jian)間(jian)(jian)隔進行更新。

7、以時間間隔(ge)(ge)更(geng)新配(pei)屬規則應(ying)被理解為，配(pei)屬規則在(zai)這些時間間隔(ge)(ge)內(nei)通過(guo)優化單元在(zai)原則上可(ke)以改(gai)變(bian)或是可(ke)改(gai)變(bian)的。這并不(bu)意味著在(zai)每次更(geng)新時配(pei)屬規則的內(nei)容實際上發生變(bian)化。原則上可(ke)以實現的是，配(pei)屬規則的內(nei)容在(zai)一次或多(duo)次更(geng)新時保(bao)持不(bu)變(bian)。

8、通過配屬規(gui)則(ze)的(de)上述更新(xin)，可以確保在設備運(yun)行(xing)期(qi)間目標相位(wei)差值與實際相位(wei)差值之(zhi)間的(de)偏差最小化。

9、尤其(qi)可(ke)以提出(chu)，借(jie)(jie)助(zhu)于優化(hua)單元改(gai)變(bian)和/或調(diao)整配屬(shu)(shu)規則(ze)，使(shi)得借(jie)(jie)助(zhu)于控制裝置(zhi)根據(ju)配屬(shu)(shu)規則(ze)調(diao)整的(de)目標相位(wei)差值與借(jie)(jie)助(zhu)于測量裝置(zhi)測量到的(de)實際相位(wei)差值之(zhi)間的(de)偏差最小化(hua)。配屬(shu)(shu)規則(ze)在此不一定(ding)完全(quan)改(gai)變(bian)，而是例如(ru)還可(ke)以部分和/或局(ju)部地改(gai)變(bian)。

10、可以有利的是(shi)，借助于控制裝(zhuang)置以相(xiang)位調整頻(pin)率操(cao)控相(xiang)位調整裝(zhuang)置，并且以優化(hua)頻(pin)率更(geng)新配屬規則。尤其可以提出，相(xiang)位調整頻(pin)率大于優化(hua)頻(pin)率。

11、相位調整頻率(lv)(lv)尤(you)其應被理解為在(zai)設備(bei)運行時，控(kong)制裝置(zhi)操控(kong)或(huo)可以操控(kong)相位調整裝置(zhi)的(de)頻率(lv)(lv)或(huo)由該(gai)頻率(lv)(lv)得出的(de)時間間隔。

12、優化頻率尤其應被理(li)解為在設備運行時，更(geng)(geng)新或(huo)可(ke)以更(geng)(geng)新配屬(shu)規則(ze)的頻率或(huo)由該頻率得出的時間間隔。

13、相(xiang)(xiang)位(wei)調(diao)整頻率(lv)(lv)和(he)/或(huo)優(you)化(hua)頻率(lv)(lv)在設(she)備運(yun)行時不一定(ding)(ding)是(shi)恒(heng)定(ding)(ding)的，而是(shi)可(ke)以在運(yun)行時變化(hua)。相(xiang)(xiang)位(wei)調(diao)整頻率(lv)(lv)或(huo)優(you)化(hua)頻率(lv)(lv)尤其應被理解為在設(she)備運(yun)行時的瞬時相(xiang)(xiang)位(wei)調(diao)整頻率(lv)(lv)或(huo)優(you)化(hua)頻率(lv)(lv)。

14、相(xiang)位(wei)調整頻率(lv)或(huo)(huo)瞬時(shi)相(xiang)位(wei)調整頻率(lv)在(zai)設備運行時(shi)尤其為至少(shao)1mhz和(he)(he)/或(huo)(huo)最高1ghz，并(bing)且優選地為至少(shao)10mhz和(he)(he)/或(huo)(huo)最高50mhz。由此，相(xiang)干的(de)激光束可以(yi)以(yi)高時(shi)間和(he)(he)/或(huo)(huo)空間分辨率(lv)組合成不(bu)同(tong)的(de)組合的(de)激光束。這例(li)如可以(yi)實現(xian)快速改變射束分布(bu)和(he)(he)/或(huo)(huo)脈沖參數，這例(li)如進而可以(yi)以(yi)提高的(de)速度以(yi)及提高的(de)時(shi)間和(he)(he)/或(huo)(huo)空間分辨率(lv)實現(xian)工件的(de)加工。

15、優(you)化頻率或瞬時優(you)化頻率在設備(bei)運行時尤其為至少0.5khz和(he)/或最高5khz，并且(qie)優(you)選地為至少2khz和(he)/或最高5khz。

16、由于相對(dui)于相位調整頻率(lv)降低的(de)優化頻率(lv)，因此可(ke)以比更(geng)新配(pei)屬規(gui)則(ze)明顯更(geng)快(kuai)地調整經放大的(de)相干(gan)的(de)激光束之(zhi)間的(de)相位差。由此，用于優化配(pei)屬規(gui)則(ze)所需的(de)數據傳輸速(su)率(lv)和(he)/或計算能力降低，同時可(ke)以非常快(kuai)速(su)地調整相位差。

17、出于(yu)同樣的(de)(de)原因可以有利的(de)(de)是，借助于(yu)測(ce)(ce)量(liang)裝置以測(ce)(ce)量(liang)間隔頻率求取經放大的(de)(de)相(xiang)干的(de)(de)激(ji)光束之間的(de)(de)實(shi)際相(xiang)位(wei)差值，其中相(xiang)位(wei)調整頻率大于(yu)測(ce)(ce)量(liang)間隔頻率。

18、測(ce)量(liang)間隔頻率尤其是至(zhi)少0.5khz和/或最高5khz。

19、例如，測(ce)量間(jian)隔頻(pin)(pin)率(lv)至少(shao)近似地與優化頻(pin)(pin)率(lv)相(xiang)對(dui)應(ying)。

20、可以有利的(de)(de)(de)是(shi)，借助于測量(liang)裝置(zhi)以測量(liang)精度頻率求取經放(fang)大的(de)(de)(de)相干的(de)(de)(de)激光束(shu)之間的(de)(de)(de)實際(ji)相位差值，該(gai)測量(liang)精度頻率大于或等(deng)于相位調(diao)整頻率。由此可以確保各個(ge)相位差的(de)(de)(de)測量(liang)足夠精確。

21、原(yuan)則上還可以實現的是，測量精度頻率(lv)比相位調整頻率(lv)小最多(duo)5倍。

22、測量精度(du)頻率(lv)(lv)在(zai)(zai)設備運行時(shi)(shi)不一(yi)定(ding)是(shi)(shi)恒定(ding)的，而(er)是(shi)(shi)可以在(zai)(zai)運行時(shi)(shi)變(bian)化(hua)。測量精度(du)頻率(lv)(lv)尤其(qi)應被理解為在(zai)(zai)設備運行時(shi)(shi)的瞬時(shi)(shi)測量精度(du)頻率(lv)(lv)。

23、測(ce)量精度頻率尤(you)其是至少1mhz和(he)/或最高(gao)50mhz。

24、尤其可以提出，配屬(shu)(shu)規(gui)則具有操控(kong)(kong)值(zhi)與各(ge)個經放(fang)大(da)的相(xiang)干的激(ji)光束的目標(biao)相(xiang)位(wei)差值(zhi)的配屬(shu)(shu)關(guan)系，控(kong)(kong)制裝置(zhi)利用這些操控(kong)(kong)值(zhi)操控(kong)(kong)相(xiang)位(wei)調(diao)整裝置(zhi)，和/或配屬(shu)(shu)規(gui)則是或包括(kuo)配屬(shu)(shu)表。

25、原則上還可以實現的是，配屬規則是或包(bao)括(kuo)數(shu)學函(han)數(shu)。

26、尤(you)其(qi)給控制裝(zhuang)置配屬有存(cun)(cun)儲裝(zhuang)置，配屬規則存(cun)(cun)儲在該存(cun)(cun)儲裝(zhuang)置中。控制裝(zhuang)置例如包括存(cun)(cun)儲裝(zhuang)置。

27、在(zai)實施方式中，設備包括至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)個附加(jia)(jia)(jia)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)，該至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)個附加(jia)(jia)(jia)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)用于(yu)求取經放(fang)(fang)大的(de)(de)(de)(de)相(xiang)干(gan)的(de)(de)(de)(de)激光束之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)相(xiang)應相(xiang)位(wei)差(cha)(cha)(cha)，其中借(jie)助(zhu)于(yu)該至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)個附加(jia)(jia)(jia)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)，求取經放(fang)(fang)大的(de)(de)(de)(de)相(xiang)干(gan)的(de)(de)(de)(de)激光束之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)實際相(xiang)位(wei)差(cha)(cha)(cha)值(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)。該至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)個附加(jia)(jia)(jia)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)尤其布置(zhi)(zhi)在(zai)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)之(zhi)后。借(jie)助(zhu)于(yu)該至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)個附加(jia)(jia)(jia)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)，尤其可(ke)(ke)以(yi)(yi)檢測(ce)實際相(xiang)位(wei)差(cha)(cha)(cha)值(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)附加(jia)(jia)(jia)測(ce)量值(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)，由(you)此(ci)可(ke)(ke)以(yi)(yi)以(yi)(yi)提高的(de)(de)(de)(de)準確(que)性(xing)求取相(xiang)應的(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)差(cha)(cha)(cha)。例如可(ke)(ke)以(yi)(yi)借(jie)助(zhu)于(yu)附加(jia)(jia)(jia)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)至(zhi)(zhi)少(shao)部分地補(bu)償可(ke)(ke)能由(you)借(jie)助(zhu)于(yu)測(ce)量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)測(ce)量導致的(de)(de)(de)(de)目(mu)(mu)標相(xiang)位(wei)差(cha)(cha)(cha)值(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)偏(pian)差(cha)(cha)(cha)。由(you)此(ci)，尤其改善配屬(shu)規則的(de)(de)(de)(de)優化和/或降低目(mu)(mu)標相(xiang)位(wei)差(cha)(cha)(cha)值(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)與(yu)實際相(xiang)位(wei)差(cha)(cha)(cha)值(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)偏(pian)差(cha)(cha)(cha)。

28、借助于該至少(shao)一個附加(jia)測量(liang)(liang)裝置(zhi)(zhi)(zhi)，尤其可以(yi)在射(she)束(shu)路徑中的(de)與測量(liang)(liang)裝置(zhi)(zhi)(zhi)的(de)測量(liang)(liang)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)不(bu)同的(de)測量(liang)(liang)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)處執行附加(jia)測量(liang)(liang)。附加(jia)測量(liang)(liang)裝置(zhi)(zhi)(zhi)的(de)測量(liang)(liang)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)例如可以(yi)位(wei)(wei)于工(gong)件的(de)區(qu)域中，借助于該至少(shao)一個組合(he)的(de)激光束(shu)加(jia)工(gong)該工(gong)件。由此，可以(yi)有針(zhen)對性地在與設備的(de)應用特(te)別相關的(de)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)處調整或(huo)測量(liang)(liang)目標相位(wei)(wei)差(cha)值或(huo)實(shi)際相位(wei)(wei)差(cha)值。

29、還(huan)可(ke)以提出，借助(zhu)于(yu)該至少一(yi)個附加測量(liang)裝置執行校(xiao)準測量(liang)，以定義配屬(shu)規則的(de)起始版(ban)本(ben)。

30、在此，設(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)一裝置(zhi)和(he)/或(huo)(huo)(huo)第(di)一元(yuan)件(jian)相(xiang)對于主(zhu)傳播方向(xiang)布(bu)置(zhi)在設(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)二裝置(zhi)和(he)/或(huo)(huo)(huo)第(di)二元(yuan)件(jian)之后(hou)應被(bei)理解為，相(xiang)干的(de)(de)(de)(de)(de)激(ji)光(guang)束或(huo)(huo)(huo)經放(fang)大的(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)干的(de)(de)(de)(de)(de)激(ji)光(guang)束在時間上首先入射到第(di)二裝置(zhi)和(he)/或(huo)(huo)(huo)第(di)二元(yuan)件(jian)上，并且隨后(hou)入射到第(di)一裝置(zhi)和(he)/或(huo)(huo)(huo)第(di)一元(yuan)件(jian)上。于是，第(di)二裝置(zhi)和(he)/或(huo)(huo)(huo)第(di)二元(yuan)件(jian)布(bu)置(zhi)在第(di)一裝置(zhi)和(he)/或(huo)(huo)(huo)第(di)一元(yuan)件(jian)之前。

31、該(gai)至少一個附加測(ce)量(liang)裝(zhuang)置的測(ce)量(liang)精度頻率(lv)和/或(huo)測(ce)量(liang)間(jian)(jian)隔(ge)頻率(lv)可以在(zai)原則上(shang)至少近似地與(yu)測(ce)量(liang)裝(zhuang)置的測(ce)量(liang)精度頻率(lv)或(huo)測(ce)量(liang)間(jian)(jian)隔(ge)頻率(lv)相對應。

32、尤其可以(yi)提出，該至少一(yi)個附加(jia)測(ce)(ce)量(liang)(liang)裝置的(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)精(jing)度(du)頻(pin)率和/或測(ce)(ce)量(liang)(liang)間(jian)隔(ge)頻(pin)率低于測(ce)(ce)量(liang)(liang)裝置的(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)精(jing)度(du)頻(pin)率或測(ce)(ce)量(liang)(liang)間(jian)隔(ge)頻(pin)率。

33、例(li)如，該至少一個附加測(ce)量裝置(zhi)的測(ce)量精度(du)頻(pin)率為至少0.5khz和/或最高500khz。

34、在實(shi)施方式中(zhong)，設(she)備包括至(zhi)少(shao)一個傳(chuan)(chuan)感器(qi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)，該(gai)至(zhi)少(shao)一個傳(chuan)(chuan)感器(qi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)用于測量(liang)影響(xiang)經放大(da)的相(xiang)干的激光束之(zhi)間的相(xiang)應相(xiang)位(wei)差的參數，其(qi)中(zhong)借助(zhu)于該(gai)至(zhi)少(shao)一個傳(chuan)(chuan)感器(qi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)求取的測量(liang)值被傳(chuan)(chuan)輸(shu)至(zhi)控制裝(zhuang)置和/或優(you)化(hua)單元(yuan)(yuan)。

35、尤其可以提(ti)出，將借助于(yu)該至少一個傳(chuan)感(gan)器(qi)元件求取(qu)的測量值(zhi)用于(yu)優化配屬規則。由此，尤其改善配屬規則的優化和/或降低(di)目標相(xiang)位(wei)差值(zhi)與實際(ji)相(xiang)位(wei)差值(zhi)之間(jian)的偏差。

36、尤其借助(zhu)于測量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)或(huo)該至(zhi)少一個附加測量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)，求取所有存(cun)在的(de)(de)(de)經放大的(de)(de)(de)相(xiang)干的(de)(de)(de)激(ji)光束(shu)之(zhi)間的(de)(de)(de)實際(ji)(ji)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)差(cha)(cha)值和/或(huo)所有存(cun)在的(de)(de)(de)經放大的(de)(de)(de)相(xiang)干的(de)(de)(de)激(ji)光束(shu)之(zhi)間的(de)(de)(de)成對實際(ji)(ji)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)差(cha)(cha)值。尤其借助(zhu)于測量裝(zhuang)置(zhi)(zhi)求取存(cun)在的(de)(de)(de)經放大的(de)(de)(de)相(xiang)干的(de)(de)(de)激(ji)光束(shu)的(de)(de)(de)所有可能組(zu)合的(de)(de)(de)實際(ji)(ji)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)差(cha)(cha)值。

37、尤其提(ti)出(chu)的(de)(de)是，借(jie)助于測(ce)量裝置或該(gai)至少一個(ge)附(fu)加(jia)測(ce)量裝置，在經(jing)放大的(de)(de)相干的(de)(de)激光束組(zu)合(he)成至少一個(ge)組(zu)合(he)的(de)(de)激光束之前測(ce)量經(jing)放大的(de)(de)相干的(de)(de)激光束之間的(de)(de)相應相位差。

38、測(ce)量裝置例如(ru)包括(kuo)多個(ge)測(ce)量單(dan)元(yuan)，其中相(xiang)應一(yi)個(ge)經放大的(de)相(xiang)干的(de)激光(guang)束和另一(yi)經放大的(de)相(xiang)干的(de)激光(guang)束耦(ou)合輸入(ru)到(dao)測(ce)量單(dan)元(yuan)中。

39、測(ce)(ce)(ce)量(liang)裝置(zhi)的(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)單元包括(kuo)至少(shao)一(yi)個測(ce)(ce)(ce)量(liang)元件，該至少(shao)一(yi)個測(ce)(ce)(ce)量(liang)元件用(yong)于(yu)測(ce)(ce)(ce)量(liang)這(zhe)兩個經放大的(de)相干的(de)激(ji)光(guang)(guang)束的(de)空間疊加的(de)強度。測(ce)(ce)(ce)量(liang)元件例(li)如被設計為光(guang)(guang)電(dian)(dian)探(tan)測(ce)(ce)(ce)器，或包括(kuo)光(guang)(guang)電(dian)(dian)探(tan)測(ce)(ce)(ce)器。光(guang)(guang)電(dian)(dian)探(tan)測(ce)(ce)(ce)器例(li)如可(ke)以是(shi)快速光(guang)(guang)電(dian)(dian)探(tan)測(ce)(ce)(ce)器和/或時鐘光(guang)(guang)電(dian)(dian)探(tan)測(ce)(ce)(ce)器和/或光(guang)(guang)電(dian)(dian)二極管。

40、相(xiang)干的(de)激(ji)光(guang)束(shu)(shu)可以是脈(mo)沖(chong)激(ji)光(guang)束(shu)(shu)或(huo)連續波激(ji)光(guang)束(shu)(shu)。相(xiang)干的(de)激(ji)光(guang)束(shu)(shu)尤其是超短(duan)脈(mo)沖(chong)激(ji)光(guang)束(shu)(shu)。

41、設(she)備尤(you)其(qi)設(she)置成(cheng)(cheng)將經(jing)放(fang)大的(de)相(xiang)(xiang)干(gan)的(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)組合成(cheng)(cheng)至少一個(ge)相(xiang)(xiang)干(gan)的(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)。相(xiang)(xiang)干(gan)的(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)和/或(huo)經(jing)放(fang)大的(de)相(xiang)(xiang)干(gan)的(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)尤(you)其(qi)分(fen)別是以被組合成(cheng)(cheng)至少一個(ge)組合的(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)為(wei)目(mu)的(de)的(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)。

42、放(fang)大(da)(da)裝置例如可(ke)以包括光纖放(fang)大(da)(da)器、平板放(fang)大(da)(da)器、棒式放(fang)大(da)(da)器或盤(pan)式放(fang)大(da)(da)器。

43、可(ke)以提出，放(fang)大裝置(zhi)具有(you)頻率轉換(huan)級或(huo)放(fang)大裝置(zhi)配屬有(you)設備的頻率轉換(huan)級。

44、尤其借(jie)助于相位(wei)(wei)調(diao)整(zheng)裝置可以調(diao)整(zheng)相干(gan)的(de)(de)(de)激(ji)光(guang)束之(zhi)間(jian)和/或(huo)經放大的(de)(de)(de)相干(gan)的(de)(de)(de)激(ji)光(guang)束之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)相應(ying)相位(wei)(wei)差(cha)。

45、借助于相(xiang)(xiang)位(wei)調整裝置(zhi)執(zhi)行的(de)(de)相(xiang)(xiang)干(gan)的(de)(de)激(ji)光束之(zhi)間的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)差(cha)的(de)(de)變化尤其引起對應的(de)(de)經放(fang)大的(de)(de)相(xiang)(xiang)干(gan)的(de)(de)激(ji)光束之(zhi)間的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)差(cha)的(de)(de)變化。

46、在實施方式中，設備(bei)包(bao)括(kuo)組(zu)合(he)裝置，該(gai)組(zu)合(he)裝置用(yong)于將(jiang)經放大的相干(gan)的激光束(shu)組(zu)合(he)成(cheng)至少(shao)一(yi)(yi)個組(zu)合(he)的激光束(shu)。組(zu)合(he)裝置例如包(bao)括(kuo)至少(shao)一(yi)(yi)個微透鏡陣(zhen)列和(he)/或(huo)至少(shao)一(yi)(yi)個衍射光學元件和(he)/或(huo)至少(shao)一(yi)(yi)個干(gan)涉儀光學系統和(he)/或(huo)至少(shao)一(yi)(yi)個影響偏振的元件。

47、組合裝置例(li)如(ru)包括至少(shao)一(yi)個衍射光學元件，其(qi)中該至少(shao)一(yi)個衍射光學元件例(li)如(ru)包括具有周(zhou)期性圖案的(de)光柵(zha)結構(gou)。由此，例(li)如(ru)可(ke)以根據“填充孔徑(filled-aperture)”原理實現相干的(de)激光束(shu)的(de)組合。

48、可以提出，組合裝置包括(kuo)用于組合相干的激(ji)光束的至少一(yi)個(ge)微透(tou)鏡陣(zhen)列。由此，例如(ru)可以根據“混合孔(kong)徑(mixed-aperture)”原理(li)實現相干的激(ji)光束的組合。

49、原(yuan)則上還可以實(shi)現的(de)(de)(de)(de)是，在(zai)沒有組合裝置的(de)(de)(de)(de)情況下(xia)將經放大(da)的(de)(de)(de)(de)相干的(de)(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)組合成至(zhi)少一個(ge)組合的(de)(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)。例如經放大(da)的(de)(de)(de)(de)相干的(de)(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)通過在(zai)遠場中的(de)(de)(de)(de)傳(chuan)播(bo)而組合成該至(zhi)少一個(ge)組合的(de)(de)(de)(de)激光束(shu)(shu)(“平鋪孔徑(tiled-aperture)”原(yuan)理)。

50、至少(shao)(shao)一個透(tou)鏡元件例如可以被設置成用于(yu)將經放大的相干(gan)的激(ji)光(guang)束成像成至少(shao)(shao)一個組合(he)的激(ji)光(guang)束。由此，例如可以根(gen)據“平鋪孔(kong)徑”原理實現相干(gan)的激(ji)光(guang)束的組合(he)。

51、可以提出，組合裝(zhuang)置(zhi)具有頻率轉(zhuan)換級(ji)(ji)或組合裝(zhuang)置(zhi)配屬有設備的頻率轉(zhuan)換級(ji)(ji)。頻率轉(zhuan)換級(ji)(ji)尤其連接在組合裝(zhuang)置(zhi)上游。

52、尤其可以提出，設備包括用于提供相(xiang)干的激光束的至少(shao)一個激光源。

53、根據(ju)本發(fa)明，開篇提及的(de)激(ji)(ji)光系統包括用于(yu)(yu)提供相干(gan)的(de)激(ji)(ji)光束的(de)至少(shao)一個激(ji)(ji)光源和用于(yu)(yu)組合相干(gan)的(de)激(ji)(ji)光束的(de)上述設備。

54、尤其可以(yi)設置有唯(wei)一或多(duo)個激(ji)(ji)光(guang)源(yuan)，以(yi)提(ti)供(gong)相干(gan)(gan)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)束(shu)(shu)。在(zai)唯(wei)一激(ji)(ji)光(guang)源(yuan)的(de)(de)情(qing)況下(xia)，通過分離借助(zhu)于(yu)該激(ji)(ji)光(guang)源(yuan)提(ti)供(gong)的(de)(de)輸入(ru)激(ji)(ji)光(guang)束(shu)(shu)產生多(duo)個相干(gan)(gan)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)束(shu)(shu)。在(zai)多(duo)個激(ji)(ji)光(guang)源(yuan)的(de)(de)情(qing)況下(xia)，例如借助(zhu)于(yu)激(ji)(ji)光(guang)源(yuan)之一分別提(ti)供(gong)至少(shao)一個相干(gan)(gan)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)束(shu)(shu)。

55、根據本發明，在開篇提及的(de)用于(yu)(yu)(yu)(yu)組合相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)干(gan)(gan)的(de)激(ji)(ji)光束(shu)(shu)的(de)方法中(zhong)提出，借(jie)(jie)(jie)助于(yu)(yu)(yu)(yu)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)調(diao)整裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)調(diao)整相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)干(gan)(gan)的(de)激(ji)(ji)光束(shu)(shu)之(zhi)間的(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)應相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)差；借(jie)(jie)(jie)助于(yu)(yu)(yu)(yu)放(fang)大(da)(da)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)放(fang)大(da)(da)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)干(gan)(gan)的(de)激(ji)(ji)光束(shu)(shu)，其中(zhong)經(jing)放(fang)大(da)(da)的(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)干(gan)(gan)的(de)激(ji)(ji)光束(shu)(shu)從(cong)放(fang)大(da)(da)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)中(zhong)耦合輸(shu)出；借(jie)(jie)(jie)助于(yu)(yu)(yu)(yu)控制(zhi)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)基(ji)于(yu)(yu)(yu)(yu)預定(ding)的(de)配(pei)屬(shu)規(gui)則操(cao)控相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)調(diao)整裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)，以(yi)將經(jing)放(fang)大(da)(da)的(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)干(gan)(gan)的(de)激(ji)(ji)光束(shu)(shu)之(zhi)間的(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)應相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)差調(diao)整到(dao)預定(ding)的(de)目標相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)差值(zhi)；借(jie)(jie)(jie)助于(yu)(yu)(yu)(yu)測(ce)量裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)求(qiu)取經(jing)放(fang)大(da)(da)的(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)干(gan)(gan)的(de)激(ji)(ji)光束(shu)(shu)之(zhi)間的(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)應相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)差，其中(zhong)借(jie)(jie)(jie)助于(yu)(yu)(yu)(yu)測(ce)量裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)求(qiu)取經(jing)放(fang)大(da)(da)的(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)干(gan)(gan)的(de)激(ji)(ji)光束(shu)(shu)之(zhi)間的(de)實(shi)際相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)差值(zhi)；以(yi)及借(jie)(jie)(jie)助于(yu)(yu)(yu)(yu)被配(pei)屬(shu)給(gei)控制(zhi)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)優(you)化單元基(ji)于(yu)(yu)(yu)(yu)借(jie)(jie)(jie)助于(yu)(yu)(yu)(yu)測(ce)量裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)求(qiu)取的(de)實(shi)際相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)差值(zhi)優(you)化配(pei)屬(shu)規(gui)則。

56、根(gen)據本(ben)發(fa)(fa)明(ming)的方(fang)法尤其(qi)具有根(gen)據本(ben)發(fa)(fa)明(ming)的設備的一(yi)個或多個另外(wai)的特征和/或優(you)點。已(yi)經結合根(gen)據本(ben)發(fa)(fa)明(ming)的設備闡述(shu)了(le)根(gen)據本(ben)發(fa)(fa)明(ming)的方(fang)法的有利的實(shi)施方(fang)式。

57、尤其根(gen)據(ju)(ju)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)方(fang)法借助于根(gen)據(ju)(ju)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)設備實施，和/或根(gen)據(ju)(ju)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)設備構造成用于執行根(gen)據(ju)(ju)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)方(fang)法。

58、尤其可(ke)以提出，預先(xian)規定目(mu)標相(xiang)位差值(zhi)(zhi)，并且控(kong)制裝(zhuang)置利用(yong)操控(kong)值(zhi)(zhi)根(gen)據(ju)配屬(shu)規則操控(kong)相(xiang)位調整(zheng)裝(zhuang)置，以將經放(fang)大的(de)相(xiang)干的(de)激光束之(zhi)間的(de)相(xiang)應相(xiang)位差調整(zheng)到預定的(de)目(mu)標相(xiang)位差值(zhi)(zhi)。

59、尤(you)其(qi)可(ke)以提出，為(wei)了(le)優化(hua)(hua)配屬規則，將借助于控制裝置根據配屬規則調(diao)整(zheng)的(de)目標相位(wei)(wei)差(cha)值與(yu)借助于測(ce)量裝置測(ce)量到的(de)實際相位(wei)(wei)差(cha)值進行比較。然后，尤(you)其(qi)如此改變和(he)/或調(diao)整(zheng)配屬規則，使得目標相位(wei)(wei)差(cha)值與(yu)實際相位(wei)(wei)差(cha)值之間的(de)差(cha)最小化(hua)(hua)。

60、尤(you)其(qi)，表述“至(zhi)(zhi)少(shao)近(jin)似(si)”或(huo)“近(jin)似(si)”通常意味著偏(pian)差至(zhi)(zhi)多10％。除非(fei)另有(you)說明，否則(ze)表述“至(zhi)(zhi)少(shao)近(jin)似(si)”或(huo)“近(jin)似(si)”尤(you)其(qi)應被理(li)解為(wei)實際的(de)值(zhi)和(he)/或(huo)間距(ju)和(he)/或(huo)角(jiao)度與(yu)理(li)想的(de)值(zhi)和(he)/或(huo)間距(ju)和(he)/或(huo)角(jiao)度偏(pian)差至(zhi)(zhi)多10％。