本發明有關(guan)于一種被使用于管理(li)(li)多個(ge)基板(ban)處理(li)(li)裝置(zhi)的(de)基板(ban)處理(li)(li)裝置(zhi)管理(li)(li)系統、基板(ban)處理(li)(li)裝置(zhi)管理(li)(li)方法以及(ji)基板(ban)處理(li)(li)裝置(zhi)管理(li)(li)程序(xu)。

背景技術：

1、為(wei)了(le)(le)對被使用(yong)(yong)(yong)于液晶顯示設備或(huo)(huo)者有機el(electroluminescence；電致發光(guang)(guang))顯示設備等的(de)(de)平面顯示器(fpd；flat?panel?display)用(yong)(yong)(yong)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)、半(ban)導體(ti)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)、光(guang)(guang)盤(pan)用(yong)(yong)(yong)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)、磁盤(pan)用(yong)(yong)(yong)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)、光(guang)(guang)磁盤(pan)用(yong)(yong)(yong)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)、光(guang)(guang)罩(zhao)(photomask)用(yong)(yong)(yong)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)、陶瓷基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)或(huo)(huo)者太陽(yang)電池用(yong)(yong)(yong)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)等的(de)(de)各(ge)種基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)進行各(ge)種處理(li)(li)，使用(yong)(yong)(yong)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處理(li)(li)裝置。在基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處理(li)(li)裝置中(zhong)，例(li)(li)如(ru)遵循預先設定的(de)(de)處理(li)(li)順序(xu)(制程)對基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)施予一連(lian)串的(de)(de)處理(li)(li)。為(wei)了(le)(le)防(fang)止因為(wei)基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處理(li)(li)裝置的(de)(de)異常導致產生基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)處理(li)(li)不良，提(ti)出(chu)了(le)(le)一種用(yong)(yong)(yong)以判定基(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處理(li)(li)裝置的(de)(de)異常的(de)(de)數據處理(li)(li)系(xi)統(參照例(li)(li)如(ru)專利(li)文獻1)。

2、在(zai)這(zhe)種(zhong)數(shu)據處(chu)理(li)系統中(zhong)，于(yu)基板的(de)(de)處(chu)理(li)中(zhong)測量與(yu)基板處(chu)理(li)裝置相(xiang)關(guan)的(de)(de)多個(ge)物理(li)量，并通過以(yi)時(shi)間(jian)序(xu)列(lie)(lie)(lie)排列(lie)(lie)(lie)這(zhe)些(xie)測量結果從(cong)而生成(cheng)多個(ge)時(shi)間(jian)序(xu)列(lie)(lie)(lie)數(shu)據。于(yu)多個(ge)時(shi)間(jian)序(xu)列(lie)(lie)(lie)數(shu)據包(bao)含有例如從(cong)噴嘴噴出的(de)(de)處(chu)理(li)液的(de)(de)流量以(yi)及腔室內的(de)(de)壓力等的(de)(de)物理(li)量的(de)(de)數(shu)據。將(jiang)各個(ge)時(shi)間(jian)序(xu)列(lie)(lie)(lie)數(shu)據與(yu)預先設定的(de)(de)基準(zhun)數(shu)據比較，借此(ci)算(suan)出評價值(zhi)。基于(yu)算(suan)出的(de)(de)評價值(zhi)來判(pan)定時(shi)間(jian)序(xu)列(lie)(lie)(lie)數(shu)據中(zhong)是否(fou)存(cun)在(zai)異常。

3、專利文獻1：日(ri)本特開2020-47847號公報

技術實現思路

1、發明要解決的(de)問題

2、多個(ge)基板(ban)處(chu)理(li)裝(zhuang)置例(li)如(ru)分別設置于世界上的多個(ge)場所。各個(ge)基板(ban)處(chu)理(li)裝(zhuang)置的維護(hu)(hu)作(zuo)業通(tong)過(guo)負責該(gai)基板(ban)處(chu)理(li)裝(zhuang)置的當地的維護(hu)(hu)作(zuo)業者(zhe)來(lai)進行。維護(hu)(hu)作(zuo)業者(zhe)能(neng)基于該(gai)數據處(chu)理(li)系(xi)統所為的異常的判(pan)定結果來(lai)掌(zhang)握是否于基板(ban)處(chu)理(li)裝(zhuang)置發生異常。

3、會有維(wei)護作(zuo)(zuo)業者(zhe)(zhe)(zhe)在基(ji)(ji)(ji)板(ban)處理(li)裝置(zhi)中(zhong)(zhong)發(fa)生(sheng)(sheng)異常時(shi)無法確(que)定異常的(de)發(fa)生(sheng)(sheng)原(yuan)因的(de)情形(xing)。在這種(zhong)情形(xing)中(zhong)(zhong)，維(wei)護作(zuo)(zuo)業者(zhe)(zhe)(zhe)對(dui)(dui)管(guan)理(li)多個基(ji)(ji)(ji)板(ban)處理(li)裝置(zhi)的(de)管(guan)理(li)者(zhe)(zhe)(zhe)請(qing)求詳細調(diao)查(cha)自(zi)己所負責的(de)基(ji)(ji)(ji)板(ban)處理(li)裝置(zhi)。接(jie)受到(dao)調(diao)查(cha)請(qing)求的(de)管(guan)理(li)者(zhe)(zhe)(zhe)針對(dui)(dui)成為調(diao)查(cha)對(dui)(dui)象的(de)基(ji)(ji)(ji)板(ban)處理(li)裝置(zhi)進行各種(zhong)調(diao)查(cha)。此(ci)外，管(guan)理(li)者(zhe)(zhe)(zhe)對(dui)(dui)請(qing)求調(diao)查(cha)的(de)維(wei)護作(zuo)(zuo)業者(zhe)(zhe)(zhe)給予(yu)基(ji)(ji)(ji)于(yu)調(diao)查(cha)結(jie)果的(de)具體的(de)作(zuo)(zuo)業指示。

4、當存在(zai)多(duo)(duo)(duo)個維護(hu)作(zuo)業者(zhe)針(zhen)對多(duo)(duo)(duo)個基板(ban)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)(duo)個調(diao)(diao)查(cha)(cha)請(qing)求(qiu)(qiu)時(shi)，管(guan)理者(zhe)難以(yi)并行(xing)(xing)地(di)進行(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)個基板(ban)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)調(diao)(diao)查(cha)(cha)。在(zai)這(zhe)種(zhong)情形中，管(guan)理者(zhe)針(zhen)對多(duo)(duo)(duo)個基板(ban)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)(zhi)決定(ding)調(diao)(diao)查(cha)(cha)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)優先(xian)順(shun)位。為了(le)適當地(di)決定(ding)調(diao)(diao)查(cha)(cha)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)優先(xian)順(shun)位，需要掌握成為調(diao)(diao)查(cha)(cha)對象的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)(duo)個基板(ban)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)異常(chang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)程(cheng)度。為了(le)掌握多(duo)(duo)(duo)個基板(ban)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)異常(chang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)程(cheng)度，必須針(zhen)對多(duo)(duo)(duo)個基板(ban)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)(zhi)分別進行(xing)(xing)一次(ci)調(diao)(diao)查(cha)(cha)。這(zhe)種(zhong)一次(ci)調(diao)(diao)查(cha)(cha)包含(han)有(you)例如過去的(de)(de)(de)(de)(de)(de)時(shi)間(jian)序列數(shu)據的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分析(xi)以(yi)及對維護(hu)作(zuo)業者(zhe)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)聽證(zheng)等。如此，一次(ci)調(diao)(diao)查(cha)(cha)是繁(fan)雜的(de)(de)(de)(de)(de)(de)。因此，管(guan)理者(zhe)在(zai)存在(zai)多(duo)(duo)(duo)個調(diao)(diao)查(cha)(cha)請(qing)求(qiu)(qiu)后直至針(zhen)對各個調(diao)(diao)查(cha)(cha)請(qing)求(qiu)(qiu)開始(shi)實際的(de)(de)(de)(de)(de)(de)調(diao)(diao)查(cha)(cha)為止需要很長(chang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)時(shi)間(jian)。

5、本發明的目的為(wei)提(ti)供(gong)一(yi)種基(ji)(ji)板(ban)處理(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)管(guan)理(li)(li)(li)系統、基(ji)(ji)板(ban)處理(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)管(guan)理(li)(li)(li)方法以及(ji)基(ji)(ji)板(ban)處理(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)管(guan)理(li)(li)(li)程序(xu)，在(zai)針對多個基(ji)(ji)板(ban)處理(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)存在(zai)多個調查(cha)(cha)請求的情(qing)形中管(guan)理(li)(li)(li)者能夠在(zai)短時(shi)間內容易且適當地(di)掌握調查(cha)(cha)的優先順位(wei)。

6、用于解決問(wen)題的(de)手段

7、(1)本發明的(de)(de)(de)一個實施方(fang)式為一種基(ji)(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)裝置管理(li)(li)(li)(li)(li)(li)系統，被使用于(yu)管理(li)(li)(li)(li)(li)(li)多(duo)個基(ji)(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)裝置，并具備：信(xin)(xin)(xin)息收(shou)集部(bu)(bu)(bu)，從各個基(ji)(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)裝置收(shou)集多(duo)個處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)信(xin)(xin)(xin)息，該(gai)多(duo)個處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)信(xin)(xin)(xin)息示出(chu)與基(ji)(ji)板(ban)的(de)(de)(de)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)關(guan)聯(lian)的(de)(de)(de)動作或者(zhe)狀態(tai)；分數(shu)算(suan)出(chu)部(bu)(bu)(bu)，針(zhen)對(dui)(dui)各個基(ji)(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)裝置，基(ji)(ji)于(yu)多(duo)個處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)信(xin)(xin)(xin)息間(jian)的(de)(de)(de)不變的(de)(de)(de)關(guan)系與從該(gai)基(ji)(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)裝置所(suo)收(shou)集的(de)(de)(de)多(duo)個處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)信(xin)(xin)(xin)息，算(suan)出(chu)該(gai)基(ji)(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)裝置的(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)的(de)(de)(de)程度作為異(yi)(yi)常(chang)分數(shu)；請(qing)求受(shou)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)部(bu)(bu)(bu)，從各個基(ji)(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)裝置受(shou)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)與異(yi)(yi)常(chang)相(xiang)(xiang)關(guan)的(de)(de)(de)調(diao)查請(qing)求；分數(shu)取得(de)部(bu)(bu)(bu)，取得(de)針(zhen)對(dui)(dui)已對(dui)(dui)請(qing)求受(shou)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)部(bu)(bu)(bu)發送了調(diao)查請(qing)求的(de)(de)(de)兩(liang)個以(yi)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)基(ji)(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)裝置分別(bie)算(suan)出(chu)的(de)(de)(de)兩(liang)個以(yi)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)分數(shu)；以(yi)及優(you)先順(shun)(shun)位(wei)提(ti)示部(bu)(bu)(bu)，基(ji)(ji)于(yu)分數(shu)取得(de)部(bu)(bu)(bu)所(suo)取得(de)的(de)(de)(de)兩(liang)個以(yi)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)分數(shu)，提(ti)示應(ying)響應(ying)于(yu)針(zhen)對(dui)(dui)兩(liang)個以(yi)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)調(diao)查請(qing)求的(de)(de)(de)與優(you)先順(shun)(shun)位(wei)相(xiang)(xiang)關(guan)的(de)(de)(de)優(you)先順(shun)(shun)位(wei)信(xin)(xin)(xin)息。

8、在(zai)(zai)基(ji)(ji)板處(chu)(chu)(chu)(chu)理裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)管理系統(tong)中(zhong)，針(zhen)對(dui)多個基(ji)(ji)板處(chu)(chu)(chu)(chu)理裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)分別(bie)算出基(ji)(ji)板處(chu)(chu)(chu)(chu)理裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)異(yi)常(chang)(chang)的(de)程度作為異(yi)常(chang)(chang)分數。在(zai)(zai)針(zhen)對(dui)兩個以上的(de)基(ji)(ji)板處(chu)(chu)(chu)(chu)理裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)存在(zai)(zai)兩個以上的(de)調查(cha)請求的(de)情形中(zhong)，提示了(le)基(ji)(ji)于存在(zai)(zai)調查(cha)請求的(de)兩個以上的(de)基(ji)(ji)板處(chu)(chu)(chu)(chu)理裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)異(yi)常(chang)(chang)分數的(de)優(you)先順位信息。異(yi)常(chang)(chang)分數基(ji)(ji)于多個處(chu)(chu)(chu)(chu)理信息間(jian)的(de)不變的(de)關系被算出。因此，多個基(ji)(ji)板處(chu)(chu)(chu)(chu)理裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)管理者能針(zhen)對(dui)存在(zai)(zai)調查(cha)請求的(de)多個基(ji)(ji)板處(chu)(chu)(chu)(chu)理裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)在(zai)(zai)短時間(jian)內容易(yi)且適當地掌握調查(cha)的(de)優(you)先順位。

9、(2)也可為，所(suo)述(shu)優先順位信息包含由分(fen)數(shu)取(qu)得(de)部所(suo)取(qu)得(de)的(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)(ge)以上的(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)分(fen)數(shu)；優先順位提示(shi)部將由分(fen)數(shu)取(qu)得(de)部所(suo)取(qu)得(de)的(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)(ge)以上的(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)分(fen)數(shu)與(yu)兩(liang)個(ge)(ge)以上的(de)(de)(de)基(ji)(ji)板處(chu)理裝置分(fen)別建立關聯地進行提示(shi)。在這種情形中，多個(ge)(ge)基(ji)(ji)板處(chu)理裝置的(de)(de)(de)管理者(zhe)能基(ji)(ji)于所(suo)提示(shi)的(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)分(fen)數(shu)容易地掌握存(cun)在調查請(qing)求的(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)(ge)以上的(de)(de)(de)基(ji)(ji)板處(chu)理裝置的(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)的(de)(de)(de)程度。

10、(3)也(ye)可為(wei)，基(ji)(ji)板(ban)處理(li)(li)(li)裝置管理(li)(li)(li)系統還具備：分(fen)數(shu)發(fa)送(song)部(bu)，將由分(fen)數(shu)算(suan)出部(bu)所算(suan)出的(de)(de)異(yi)常(chang)分(fen)數(shu)發(fa)送(song)至(zhi)與該異(yi)常(chang)分(fen)數(shu)對應的(de)(de)基(ji)(ji)板(ban)處理(li)(li)(li)裝置。在這(zhe)種情形中，能(neng)使各個基(ji)(ji)板(ban)處理(li)(li)(li)裝置存(cun)儲異(yi)常(chang)分(fen)數(shu)。因此，在各個基(ji)(ji)板(ban)處理(li)(li)(li)裝置中能(neng)夠進行(xing)基(ji)(ji)于異(yi)常(chang)分(fen)數(shu)的(de)(de)異(yi)常(chang)的(de)(de)分(fen)析。

11、(4)也可為(wei)，基(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)裝(zhuang)置管(guan)理(li)(li)系統還具備：警報(bao)發(fa)送部(bu)，判定針對各(ge)個基(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)裝(zhuang)置所算出的(de)(de)異常分數是否超過預先設(she)定的(de)(de)閾(yu)值(zhi)，在(zai)(zai)異常分數超過閾(yu)值(zhi)的(de)(de)情形中對與(yu)該異常分數對應的(de)(de)基(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)裝(zhuang)置發(fa)送警報(bao)。在(zai)(zai)這(zhe)種情形中，在(zai)(zai)各(ge)個基(ji)板(ban)處(chu)理(li)(li)裝(zhuang)置中能容易(yi)地掌握發(fa)生超過預先設(she)定的(de)(de)程度的(de)(de)異常。

12、(5)也可為(wei)，信(xin)(xin)息收(shou)集(ji)(ji)部在每次經過固(gu)定時(shi)間時(shi)重復所(suo)(suo)(suo)收(shou)集(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)處(chu)(chu)理(li)(li)信(xin)(xin)息的(de)(de)(de)(de)累(lei)計以及(ji)重置(zhi)(zhi)；分(fen)數算出部針對各個(ge)(ge)(ge)基板(ban)處(chu)(chu)理(li)(li)裝置(zhi)(zhi)，基于多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)處(chu)(chu)理(li)(li)信(xin)(xin)息間的(de)(de)(de)(de)不變的(de)(de)(de)(de)關系(xi)以及(ji)由該基板(ban)處(chu)(chu)理(li)(li)裝置(zhi)(zhi)所(suo)(suo)(suo)生成(cheng)且由信(xin)(xin)息收(shou)集(ji)(ji)部所(suo)(suo)(suo)累(lei)計的(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)處(chu)(chu)理(li)(li)信(xin)(xin)息，算出該基板(ban)處(chu)(chu)理(li)(li)裝置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)異常(chang)(chang)的(de)(de)(de)(de)程度作為(wei)異常(chang)(chang)分(fen)數。在這種情形中(zhong)，降低各個(ge)(ge)(ge)處(chu)(chu)理(li)(li)信(xin)(xin)息的(de)(de)(de)(de)收(shou)集(ji)(ji)時(shi)所(suo)(suo)(suo)發生的(de)(de)(de)(de)噪聲等(deng)的(de)(de)(de)(de)影響波及(ji)異常(chang)(chang)分(fen)數。

13、(6)也可為(wei)(wei)，針(zhen)(zhen)對多(duo)(duo)個(ge)(ge)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)設(she)(she)(she)定相(xiang)互不同的(de)兩個(ge)(ge)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)的(de)多(duo)(duo)個(ge)(ge)組合；各(ge)(ge)個(ge)(ge)組合包含第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)以及第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)；分(fen)(fen)數算(suan)(suan)(suan)出(chu)部(bu)針(zhen)(zhen)對各(ge)(ge)個(ge)(ge)組合，基于(yu)以預(yu)(yu)先(xian)(xian)設(she)(she)(she)定的(de)條件(jian)所(suo)(suo)收集(ji)的(de)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)，生成(cheng)(cheng)以預(yu)(yu)先(xian)(xian)設(she)(she)(she)定的(de)條件(jian)預(yu)(yu)測(ce)(ce)(ce)的(de)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)作為(wei)(wei)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)預(yu)(yu)測(ce)(ce)(ce)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)，并(bing)算(suan)(suan)(suan)出(chu)所(suo)(suo)生成(cheng)(cheng)的(de)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)預(yu)(yu)測(ce)(ce)(ce)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)與(yu)由(you)數據收集(ji)部(bu)實際(ji)所(suo)(suo)收集(ji)的(de)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)之間(jian)的(de)偏(pian)差(cha)的(de)程度(du)(du)(du)作為(wei)(wei)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)偏(pian)差(cha)度(du)(du)(du)；分(fen)(fen)數算(suan)(suan)(suan)出(chu)部(bu)針(zhen)(zhen)對各(ge)(ge)個(ge)(ge)組合，基于(yu)以預(yu)(yu)先(xian)(xian)設(she)(she)(she)定的(de)條件(jian)所(suo)(suo)收集(ji)的(de)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)，生成(cheng)(cheng)以預(yu)(yu)先(xian)(xian)設(she)(she)(she)定的(de)條件(jian)預(yu)(yu)測(ce)(ce)(ce)的(de)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)作為(wei)(wei)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)預(yu)(yu)測(ce)(ce)(ce)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)，并(bing)算(suan)(suan)(suan)出(chu)所(suo)(suo)生成(cheng)(cheng)的(de)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)預(yu)(yu)測(ce)(ce)(ce)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)與(yu)由(you)數據收集(ji)部(bu)實際(ji)所(suo)(suo)收集(ji)的(de)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)之間(jian)的(de)偏(pian)差(cha)的(de)程度(du)(du)(du)作為(wei)(wei)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)偏(pian)差(cha)度(du)(du)(du)；分(fen)(fen)數算(suan)(suan)(suan)出(chu)部(bu)基于(yu)針(zhen)(zhen)對多(duo)(duo)個(ge)(ge)組合分(fen)(fen)別算(suan)(suan)(suan)出(chu)的(de)多(duo)(duo)個(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)偏(pian)差(cha)度(du)(du)(du)以及多(duo)(duo)個(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)偏(pian)差(cha)度(du)(du)(du)算(suan)(suan)(suan)出(chu)異常(chang)分(fen)(fen)數。在這種情形中，能夠針(zhen)(zhen)對實際(ji)所(suo)(suo)收集(ji)的(de)各(ge)(ge)個(ge)(ge)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)算(suan)(suan)(suan)出(chu)與(yu)其(qi)它的(de)處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)(li)信息(xi)(xi)(xi)之間(jian)的(de)不變(bian)的(de)關系的(de)異常(chang)分(fen)(fen)數。

14、(7)也可為，分(fen)(fen)數算(suan)出(chu)部算(suan)出(chu)針對多個(ge)組合分(fen)(fen)別算(suan)出(chu)的(de)多個(ge)第一偏差(cha)度(du)以(yi)及多個(ge)第二偏差(cha)度(du)的(de)合計(ji)作為異常(chang)(chang)分(fen)(fen)數。在這種情形中，能容易地算(suan)出(chu)各個(ge)基板(ban)處理(li)裝置的(de)異常(chang)(chang)的(de)程(cheng)度(du)。

15、(8)對多(duo)個(ge)組合(he)分別分配根據(ju)該組合(he)與基板處(chu)理裝置的(de)(de)多(duo)個(ge)種類的(de)(de)異常(chang)狀態之間(jian)的(de)(de)關聯性預先(xian)設定(ding)的(de)(de)權重；分數算出(chu)部基于多(duo)個(ge)組合(he)與多(duo)個(ge)權重算出(chu)多(duo)個(ge)第一偏差度以(yi)及多(duo)個(ge)第二偏差度。

16、在這種情形(xing)中，參照基于多(duo)個(ge)第一偏差(cha)(cha)度以及多(duo)個(ge)第二偏差(cha)(cha)度所算(suan)出的異常(chang)分數，借(jie)此能更(geng)適當地掌握各(ge)個(ge)基板處理裝置的異常(chang)的程度。

17、(9)也可為，多個處(chu)理信息包含(han)下(xia)述(shu)中的(de)(de)(de)至(zhi)(zhi)少一者的(de)(de)(de)物理量(liang)：被(bei)(bei)供(gong)給(gei)(gei)至(zhi)(zhi)基(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)流體(ti)的(de)(de)(de)供(gong)給(gei)(gei)量(liang)、被(bei)(bei)供(gong)給(gei)(gei)至(zhi)(zhi)基(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)流體(ti)的(de)(de)(de)溫(wen)度(du)(du)、被(bei)(bei)供(gong)給(gei)(gei)至(zhi)(zhi)基(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)處(chu)理液的(de)(de)(de)濃度(du)(du)、收容(rong)基(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)處(chu)理室內的(de)(de)(de)溫(wen)度(du)(du)、收容(rong)基(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)處(chu)理室內的(de)(de)(de)壓(ya)力、從收容(rong)基(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)處(chu)理室排出的(de)(de)(de)氣(qi)體(ti)的(de)(de)(de)壓(ya)力、以及由機器人所搬運的(de)(de)(de)基(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)移動速度(du)(du)。在(zai)這種(zhong)情(qing)形中，基(ji)于在(zai)基(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理裝置中所取得的(de)(de)(de)一個或(huo)者多個物理量(liang)算出異常分數(shu)。

18、(10)也可為，多個處理信(xin)(xin)息包含與下述至(zhi)(zhi)少一者(zhe)相關的(de)信(xin)(xin)息：驅(qu)動用(yong)于(yu)(yu)搬運基板的(de)機器(qi)人的(de)驅(qu)動脈(mo)沖(chong)信(xin)(xin)號(hao)、設置(zhi)(zhi)于(yu)(yu)用(yong)于(yu)(yu)搬運基板的(de)機器(qi)人的(de)檢測器(qi)的(de)輸(shu)(shu)出信(xin)(xin)號(hao)、以(yi)及被傳輸(shu)(shu)至(zhi)(zhi)控制閥的(de)開閉信(xin)(xin)號(hao)。在這種(zhong)情形中，基于(yu)(yu)在基板處理裝置(zhi)(zhi)中被使用(yong)的(de)一個或者(zhe)多個信(xin)(xin)號(hao)算出異常分數(shu)。

19、(11)也可(ke)為，各個基板(ban)(ban)處理裝置為基板(ban)(ban)清(qing)(qing)洗(xi)(xi)裝置，用以使用清(qing)(qing)洗(xi)(xi)液(ye)來(lai)清(qing)(qing)洗(xi)(xi)基板(ban)(ban)；多個處理信息包含下述中的(de)(de)(de)至(zhi)少一者：被(bei)供給至(zhi)基板(ban)(ban)的(de)(de)(de)清(qing)(qing)洗(xi)(xi)液(ye)的(de)(de)(de)供給量、被(bei)供給至(zhi)基板(ban)(ban)的(de)(de)(de)清(qing)(qing)洗(xi)(xi)液(ye)的(de)(de)(de)溫度、以及被(bei)供給至(zhi)基板(ban)(ban)的(de)(de)(de)清(qing)(qing)洗(xi)(xi)液(ye)的(de)(de)(de)濃度。在這種情形(xing)中，在針對多個基板(ban)(ban)清(qing)(qing)洗(xi)(xi)裝置存在多個調查請(qing)求的(de)(de)(de)情形(xing)中，適當地決定調查的(de)(de)(de)優先順位。

20、(12)本發明的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)另一個(ge)(ge)(ge)實施方式為一種(zhong)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)管理(li)(li)(li)(li)方法，被使(shi)用于管理(li)(li)(li)(li)多個(ge)(ge)(ge)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)，并包括下述步(bu)(bu)(bu)驟(zou)：從各個(ge)(ge)(ge)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)收集多個(ge)(ge)(ge)處(chu)理(li)(li)(li)(li)信(xin)息(xi)，該(gai)多個(ge)(ge)(ge)處(chu)理(li)(li)(li)(li)信(xin)息(xi)示(shi)(shi)出(chu)與(yu)(yu)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)理(li)(li)(li)(li)關聯的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)動作或者(zhe)狀態的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)步(bu)(bu)(bu)驟(zou)；針對(dui)各個(ge)(ge)(ge)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)，基(ji)(ji)(ji)于多個(ge)(ge)(ge)處(chu)理(li)(li)(li)(li)信(xin)息(xi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)不變的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)關系與(yu)(yu)從該(gai)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)所(suo)收集的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)多個(ge)(ge)(ge)處(chu)理(li)(li)(li)(li)信(xin)息(xi)，算(suan)出(chu)該(gai)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)異(yi)常的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)程度作為異(yi)常分(fen)數(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)步(bu)(bu)(bu)驟(zou)；從各個(ge)(ge)(ge)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)受理(li)(li)(li)(li)與(yu)(yu)異(yi)常相(xiang)關的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)調查(cha)請(qing)求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)步(bu)(bu)(bu)驟(zou)；取得針對(dui)已發送了調查(cha)請(qing)求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)(ge)(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)基(ji)(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)分(fen)別算(suan)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)(ge)(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)異(yi)常分(fen)數(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)步(bu)(bu)(bu)驟(zou)；以(yi)及基(ji)(ji)(ji)于在取得兩(liang)個(ge)(ge)(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)異(yi)常分(fen)數(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)步(bu)(bu)(bu)驟(zou)所(suo)取得的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)(ge)(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)異(yi)常分(fen)數(shu)，提示(shi)(shi)應(ying)響(xiang)應(ying)于兩(liang)個(ge)(ge)(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)調查(cha)請(qing)求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)與(yu)(yu)優先(xian)順位相(xiang)關的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)優先(xian)順位信(xin)息(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)步(bu)(bu)(bu)驟(zou)。

21、在基(ji)(ji)板處(chu)(chu)理(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)管(guan)理(li)方(fang)法中(zhong)，針對多個基(ji)(ji)板處(chu)(chu)理(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)分別算出基(ji)(ji)板處(chu)(chu)理(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)異常(chang)(chang)的(de)(de)(de)程度作為異常(chang)(chang)分數。在針對兩個以上的(de)(de)(de)基(ji)(ji)板處(chu)(chu)理(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)存在兩個以上的(de)(de)(de)調(diao)查(cha)請求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)情形中(zhong)，提示了基(ji)(ji)于存在調(diao)查(cha)請求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)兩個以上的(de)(de)(de)基(ji)(ji)板處(chu)(chu)理(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)異常(chang)(chang)分數的(de)(de)(de)優(you)先(xian)順位信息。異常(chang)(chang)分數基(ji)(ji)于多個處(chu)(chu)理(li)信息間的(de)(de)(de)不變(bian)的(de)(de)(de)關系被(bei)算出。因此(ci)，多個基(ji)(ji)板處(chu)(chu)理(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)管(guan)理(li)者能針對存在調(diao)查(cha)請求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)多個基(ji)(ji)板處(chu)(chu)理(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)在短時間內容(rong)易(yi)且適(shi)當地(di)掌(zhang)握調(diao)查(cha)的(de)(de)(de)優(you)先(xian)順位。

22、(13)本發明的(de)(de)(de)(de)(de)(de)另一(yi)個(ge)實施(shi)方式為(wei)一(yi)種(zhong)基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)管理(li)(li)(li)(li)程序(xu)，使(shi)計算(suan)(suan)機執行使(shi)用信(xin)息(xi)分析裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)來管理(li)(li)(li)(li)多(duo)(duo)個(ge)基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)；信(xin)息(xi)分析裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)具備(bei)：信(xin)息(xi)收集(ji)部(bu)，從(cong)(cong)各個(ge)基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)收集(ji)多(duo)(duo)個(ge)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)信(xin)息(xi)，該多(duo)(duo)個(ge)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)信(xin)息(xi)示出(chu)與(yu)基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)關(guan)(guan)聯的(de)(de)(de)(de)(de)(de)動作(zuo)或者(zhe)狀(zhuang)態；以(yi)及分數(shu)(shu)算(suan)(suan)出(chu)部(bu)，針對各個(ge)基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)，基(ji)(ji)于(yu)(yu)多(duo)(duo)個(ge)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)信(xin)息(xi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)不變(bian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)關(guan)(guan)系與(yu)從(cong)(cong)該基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)所收集(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)個(ge)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)信(xin)息(xi)，算(suan)(suan)出(chu)該基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)(chang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)程度(du)作(zuo)為(wei)異(yi)(yi)常(chang)(chang)分數(shu)(shu)。管理(li)(li)(li)(li)多(duo)(duo)個(ge)基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)包(bao)含下(xia)述處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)：從(cong)(cong)各個(ge)基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)受理(li)(li)(li)(li)與(yu)異(yi)(yi)常(chang)(chang)相(xiang)(xiang)關(guan)(guan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)調查(cha)(cha)請求的(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)；取得針對已發送了調查(cha)(cha)請求的(de)(de)(de)(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)基(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)(ban)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)分別算(suan)(suan)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)(chang)分數(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)；以(yi)及基(ji)(ji)于(yu)(yu)在取得兩(liang)個(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)(chang)分數(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)所取得的(de)(de)(de)(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)異(yi)(yi)常(chang)(chang)分數(shu)(shu)，提示應(ying)響應(ying)于(yu)(yu)兩(liang)個(ge)以(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)調查(cha)(cha)請求的(de)(de)(de)(de)(de)(de)與(yu)優先(xian)順位相(xiang)(xiang)關(guan)(guan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)優先(xian)順位信(xin)息(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)。

23、在(zai)(zai)(zai)基板處理(li)裝置(zhi)(zhi)(zhi)管理(li)程(cheng)序中，在(zai)(zai)(zai)針(zhen)對(dui)兩個(ge)以(yi)上的基板處理(li)裝置(zhi)(zhi)(zhi)存在(zai)(zai)(zai)兩個(ge)以(yi)上的調查(cha)請求(qiu)的情(qing)形中，提(ti)示了基于存在(zai)(zai)(zai)調查(cha)請求(qiu)的兩個(ge)以(yi)上的基板處理(li)裝置(zhi)(zhi)(zhi)的異(yi)常分數的優先順位(wei)信(xin)息(xi)。異(yi)常分數基于多(duo)個(ge)處理(li)信(xin)息(xi)間的不變的關系被算出。因此，多(duo)個(ge)基板處理(li)裝置(zhi)(zhi)(zhi)的管理(li)者能針(zhen)對(dui)存在(zai)(zai)(zai)調查(cha)請求(qiu)的多(duo)個(ge)基板處理(li)裝置(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)(zai)短(duan)時間內容易且適當地掌握調查(cha)的優先順位(wei)。

24、發明的效果

25、依據本發明，在針對多個基板處(chu)理裝置(zhi)存在多個調(diao)查(cha)請求(qiu)的情形中，管理者能夠在短時(shi)間內(nei)容易(yi)且適當地掌握調(diao)查(cha)的優(you)先順位(wei)。