本(ben)發明涉及平面顯示(shi)裝置(zhi)領域,尤其涉及一種(zhong)OLED掩模(mo)板的制(zhi)作(zuo)方法(fa)。
背景技術:
有機(ji)電致發光技術(Organic Light Emitting Diode,OLED)是(shi)一(yi)種新型的顯示、照明技術。一(yi)般采用真空蒸鍍技術制備OLED薄(bo)膜(mo),即(ji):在真空環境(~10-5Pa)中(zhong)加熱有機(ji)/金(jin)屬(shu)材(cai)料,材(cai)料受熱升華,透過具(ju)有一(yi)定(ding)圖案的掩膜(mo)板(mask)上(shang)的圖案,在基板表(biao)面形(xing)成(cheng)具(ju)有一(yi)定(ding)形(xing)狀的有機(ji)\金(jin)屬(shu)薄(bo)膜(mo)。
OLED掩模(mo)板制(zhi)作主要(yao)通過(guo)將(jiang)具有(you)一定圖(tu)案的金屬(shu)薄片(pian)焊接(jie)到(dao)金屬(shu)框(kuang)架(jia)上。現有(you)的金屬(shu)薄片(pian)主要(yao)是通過(guo)化學蝕(shi)(shi)刻法得(de)到(dao)。但(dan)是由于目前(qian)通過(guo)蝕(shi)(shi)刻法得(de)到(dao)的金屬(shu)片(pian)價格高昂,限制(zhi)了其(qi)大量使(shi)用。
為了得到具有(you)較(jiao)低價(jia)格的(de)(de)OLED掩模板,目(mu)前,技術人員正在嘗試使用(yong)電鑄法(fa)制(zhi)造(zao)(zao)具有(you)鏤空圖案(an)的(de)(de)金屬片。但目(mu)前電鑄法(fa)技術仍(reng)不(bu)夠成熟,且(qie)在制(zhi)造(zao)(zao)過程中,為實現金屬片的(de)(de)圖案(an)化,需要用(yong)到曝光機和光罩(zhao),且(qie)對(dui)應(ying)每(mei)一(yi)種(zhong)掩模板需要有(you)對(dui)應(ying)的(de)(de)光罩(zhao),從(cong)而(er)制(zhi)造(zao)(zao)成本也(ye)較(jiao)高(gao)。
技術實現要素:
本發明旨在提供(gong)了一種OLED掩(yan)(yan)模(mo)板(ban)的制作(zuo)方法,降低OLED掩(yan)(yan)模(mo)板(ban)的制作(zuo)成本。
所述OLED掩模板的制作(zuo)方法包括:
提供一基板;
在所(suo)述(shu)基板上(shang)依次形(xing)成第一緩(huan)沖(chong)層(ceng)、第一金屬層(ceng)和(he)第二緩(huan)沖(chong)層(ceng),所(suo)述(shu)第二緩(huan)沖(chong)層(ceng)為導電緩(huan)沖(chong)層(ceng);
通過一(yi)掩模母(mu)板在所述(shu)(shu)第二緩沖(chong)層(ceng)上沉積一(yi)絕(jue)(jue)緣層(ceng),所述(shu)(shu)絕(jue)(jue)緣層(ceng)的形(xing)狀與所述(shu)(shu)掩模母(mu)板上的鏤空圖案(an)相同(tong);
在所述絕(jue)緣層(ceng)上(shang)形(xing)成第二(er)金(jin)屬層(ceng),以將(jiang)所述掩模母板圖案轉移至(zhi)所述第二(er)金(jin)屬層(ceng);
剝(bo)離所述絕緣(yuan)層,以露(lu)出第二金屬層的圖(tu)案;
將所述(shu)具(ju)有圖案(an)的(de)第二(er)金(jin)屬層切割,使圖案(an)分離并形成數個子(zi)金(jin)屬層;
剝離切割后(hou)的所述子(zi)金(jin)屬層,使子(zi)金(jin)屬層與(yu)所述第二緩沖層分離;
將所述數個子金屬層進行張網(wang)形(xing)成(cheng)OLED掩模板。
其中,所述(shu)掩模母板(ban)為(wei)數條具有(you)圖案的金屬薄(bo)(bo)片固(gu)定到一(yi)金屬框架上形成,所述(shu)金屬薄(bo)(bo)片通過化學(xue)蝕刻(ke)法(fa)或(huo)電鑄法(fa)得(de)到。
其(qi)中(zhong),位于(yu)(yu)所述(shu)金屬(shu)框架(jia)上兩端的(de)(de)(de)(de)金屬(shu)薄(bo)(bo)片(pian)的(de)(de)(de)(de)厚度(du)大于(yu)(yu)或(huo)者等于(yu)(yu)位于(yu)(yu)所述(shu)金屬(shu)框架(jia)兩端的(de)(de)(de)(de)金屬(shu)薄(bo)(bo)片(pian)之間的(de)(de)(de)(de)金屬(shu)薄(bo)(bo)片(pian)的(de)(de)(de)(de)厚度(du)。
其(qi)中,形(xing)成所述第一金屬層的(de)方(fang)式為真空熱蒸鍍、電(dian)子束(shu)蒸發、濺(jian)射(she)或電(dian)鍍工藝中的(de)一種。
其中,形成(cheng)所述第一緩沖(chong)層、第二緩沖(chong)層的方式為真空熱蒸鍍、電(dian)子(zi)束蒸發、濺射(she)或電(dian)鍍工(gong)藝(yi)中的一種。
其中,所(suo)述基板為(wei)非金(jin)屬(shu)材(cai)質(zhi)(zhi)或金(jin)屬(shu)材(cai)質(zhi)(zhi)。
其中(zhong),所述(shu)非金屬(shu)絕緣層為有機(ji)物、有機(ji)聚合物或(huo)有機(ji)氟化物中(zhong)的一種(zhong)。
其中(zhong),所述第(di)二金屬層為鎳(nie)、鈷(gu)、鐵(tie)中(zhong)的一種或者由(you)鎳(nie)、鈷(gu)、鐵(tie)的任意組成的合金。
其中,所述第一緩沖層(ceng)及(ji)所述第一金(jin)屬層(ceng)至少為一層(ceng),各(ge)層(ceng)之間(jian)組成相(xiang)同。
本發明通過化學蝕刻法(fa)(fa)(fa)與(yu)電(dian)鑄(zhu)法(fa)(fa)(fa)結合(he)的(de)方式來(lai)進行制作(zuo)OLED掩模(mo)(mo)板(ban),即以少量的(de)化學蝕刻法(fa)(fa)(fa)制作(zuo)的(de)掩模(mo)(mo)母板(ban)為媒介(jie),通過電(dian)鑄(zhu)法(fa)(fa)(fa)即可大(da)量的(de)制作(zuo)出具(ju)有(you)鏤(lou)空圖案的(de)金(jin)屬(shu)片,在得到較高品質的(de)掩模(mo)(mo)板(ban)的(de)同時降低掩模(mo)(mo)板(ban)的(de)生產制作(zuo)成(cheng)本。同時,在OLED掩模(mo)(mo)板(ban)的(de)制造過程中不需要使用(yong)(yong)到化學蝕刻法(fa)(fa)(fa)及電(dian)鑄(zhu)法(fa)(fa)(fa)所用(yong)(yong)到的(de)曝光(guang)機(ji)和光(guang)罩,可以簡(jian)化生產設備及生產工藝,進一步(bu)的(de)降低成(cheng)本。
附圖說明
為更(geng)清楚地(di)闡述本(ben)發(fa)明所述相機穩定(ding)平衡裝置的構造(zao)特征和(he)功效,下面結合(he)附圖與具體實(shi)施例來(lai)對其進行(xing)詳細(xi)說明。
圖(tu)1為本發明的OLED掩模板的制造方法流程圖(tu);
圖2至圖6為本發明較佳實(shi)施方式的OLED掩模板的各個制造流程(cheng)中的剖(pou)面(mian)圖;
圖(tu)(tu)7為(wei)本(ben)發明(ming)的OLED掩模板(ban)的結構示意圖(tu)(tu);
圖(tu)8為本發明較佳實施方式的金屬(shu)片(pian)切(qie)割方向示意圖(tu)。
圖9為(wei)本發明較佳實施例的掩模母板結構示意圖;
具體實施例
下(xia)面將(jiang)結合本(ben)(ben)(ben)(ben)發(fa)(fa)明(ming)實(shi)(shi)施(shi)(shi)例(li)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)附圖,對本(ben)(ben)(ben)(ben)發(fa)(fa)明(ming)實(shi)(shi)施(shi)(shi)例(li)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)技(ji)術方(fang)案進行清楚、完(wan)整地(di)描(miao)述。顯然,所描(miao)述的(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)施(shi)(shi)例(li)是本(ben)(ben)(ben)(ben)發(fa)(fa)明(ming)的(de)(de)(de)(de)一部分實(shi)(shi)施(shi)(shi)例(li),而(er)不是全(quan)部實(shi)(shi)施(shi)(shi)例(li)。基(ji)于本(ben)(ben)(ben)(ben)發(fa)(fa)明(ming)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)施(shi)(shi)例(li),本(ben)(ben)(ben)(ben)領域普通技(ji)術人員在沒有做出創造性勞動的(de)(de)(de)(de)前提下(xia)所獲得(de)的(de)(de)(de)(de)所有其他實(shi)(shi)施(shi)(shi)例(li),都應屬于本(ben)(ben)(ben)(ben)發(fa)(fa)明(ming)保護的(de)(de)(de)(de)范圍。
請參閱圖1,圖中所(suo)示(shi)的(de)(de)(de)是本(ben)發明較佳實施方式(shi)的(de)(de)(de)OLED掩模(mo)板的(de)(de)(de)制(zhi)造方法的(de)(de)(de)流程圖,本(ben)發明的(de)(de)(de)所(suo)述(shu)OLED掩模(mo)板的(de)(de)(de)制(zhi)造方法包括如下步驟(zou):
請參閱圖2,步驟(zou)S1,提供基(ji)(ji)(ji)板(ban)40。所述(shu)基(ji)(ji)(ji)板(ban)40為薄(bo)板(ban),所述(shu)基(ji)(ji)(ji)板(ban)40可以(yi)為金屬材質(zhi),也可以(yi)為非(fei)金屬材質(zhi),如不(bu)銹鋼基(ji)(ji)(ji)板(ban)、玻(bo)璃基(ji)(ji)(ji)板(ban)等。
步驟S2,在所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)基(ji)板(ban)40上(shang)依(yi)次(ci)形(xing)成(cheng)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)50、第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)60、第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)50通過(guo)真空熱(re)蒸(zheng)鍍(du)方(fang)(fang)式沉(chen)(chen)積(ji)(ji)于所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)基(ji)板(ban)40上(shang)。可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)理(li)解的(de)(de)是(shi),所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)50的(de)(de)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)方(fang)(fang)式還(huan)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)是(shi)電(dian)子束蒸(zheng)發、濺射(she)(she)(she)、電(dian)鍍(du)或(huo)(huo)氣(qi)相沉(chen)(chen)積(ji)(ji)等工藝(yi)(yi)。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)50至(zhi)少(shao)為(wei)(wei)(wei)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng),即根據實際情況需要,所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)50可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)為(wei)(wei)(wei)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)、兩(liang)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)或(huo)(huo)多層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng),且(qie)各層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)之(zhi)間的(de)(de)組成(cheng)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)相同(tong)(tong)(tong)也(ye)(ye)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)不同(tong)(tong)(tong),以(yi)(yi)(yi)(yi)使所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)基(ji)板(ban)40與沉(chen)(chen)積(ji)(ji)于所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)50上(shang)的(de)(de)膜層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)之(zhi)間結合的(de)(de)更加牢固。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)60通過(guo)濺射(she)(she)(she)工藝(yi)(yi)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)于所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)50上(shang)。可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)理(li)解的(de)(de)是(shi),所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)60的(de)(de)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)方(fang)(fang)式還(huan)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)是(shi)電(dian)子束蒸(zheng)發、真空熱(re)蒸(zheng)鍍(du)、電(dian)鍍(du)等工藝(yi)(yi)。形(xing)成(cheng)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)60的(de)(de)材(cai)料(liao)主要為(wei)(wei)(wei)鐵(tie)、金(jin)(jin)(jin)(jin)、銀、鋁(lv)、銅等具有良(liang)好的(de)(de)導電(dian)性能(neng)并且(qie)穩定的(de)(de)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)或(huo)(huo)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)合金(jin)(jin)(jin)(jin)材(cai)料(liao)。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)60至(zhi)少(shao)為(wei)(wei)(wei)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng),其(qi)各層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)為(wei)(wei)(wei)同(tong)(tong)(tong)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)種材(cai)料(liao)組成(cheng),也(ye)(ye)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)為(wei)(wei)(wei)不同(tong)(tong)(tong)種的(de)(de)材(cai)料(liao)組成(cheng)。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70通過(guo)真空熱(re)蒸(zheng)鍍(du)方(fang)(fang)式沉(chen)(chen)積(ji)(ji)于所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)60上(shang),可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)理(li)解的(de)(de)是(shi),所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70的(de)(de)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)方(fang)(fang)式還(huan)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)是(shi)電(dian)子束蒸(zheng)發、濺射(she)(she)(she)、電(dian)鍍(du)或(huo)(huo)氣(qi)相沉(chen)(chen)積(ji)(ji)等工藝(yi)(yi)。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70也(ye)(ye)至(zhi)少(shao)為(wei)(wei)(wei)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng),且(qie)各層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)之(zhi)間的(de)(de)組成(cheng)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)相同(tong)(tong)(tong)也(ye)(ye)可(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)不同(tong)(tong)(tong),以(yi)(yi)(yi)(yi)使所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)金(jin)(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)60與沉(chen)(chen)積(ji)(ji)于所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70上(shang)的(de)(de)膜層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)之(zhi)間具有較好的(de)(de)結合度,且(qie)使所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)膜層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)更方(fang)(fang)便的(de)(de)剝離。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70具有良(liang)好的(de)(de)導電(dian)性能(neng)。
步驟(zou)S3,通過(guo)具有鏤空(kong)圖案的(de)(de)掩模(mo)母(mu)板101在所(suo)述第二緩沖(chong)層70上形成(cheng)非金屬絕(jue)緣層80。所(suo)述非金屬絕(jue)緣層80的(de)(de)形狀組(zu)成(cheng)與所(suo)述掩模(mo)母(mu)板101上的(de)(de)鏤空(kong)圖案的(de)(de)形狀組(zu)成(cheng)相同。
請(qing)參(can)閱(yue)圖9,在本步(bu)(bu)驟中(zhong)包括步(bu)(bu)驟S31,張網制(zhi)作具有鍍膜(mo)所(suo)需鏤(lou)空圖案的(de)(de)所(suo)述(shu)掩(yan)模(mo)母板101。所(suo)述(shu)掩(yan)模(mo)母板101的(de)(de)制(zhi)造方式(shi)為將具有鏤(lou)空圖案的(de)(de)金屬薄片(pian)11通過(guo)焊接方式(shi)固定到金屬框20上(shang),并(bing)將位于所(suo)述(shu)金屬框20外多余(yu)的(de)(de)條狀所(suo)述(shu)金屬薄片(pian)11剪(jian)切掉。所(suo)述(shu)金屬薄片(pian)11為窄條狀,通過(guo)化(hua)學(xue)刻蝕(shi)方法、電鑄法或(huo)其他(ta)現有的(de)(de)制(zhi)作圖案化(hua)金屬薄片(pian)的(de)(de)工藝得(de)到。
所述(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬框20包括長邊L及(ji)(ji)短邊W,多條(tiao)(tiao)(tiao)條(tiao)(tiao)(tiao)狀(zhuang)所述(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬薄片11平行(xing)于所述(shu)(shu)(shu)(shu)短邊W架(jia)設并(bing)固(gu)定于相對的(de)兩條(tiao)(tiao)(tiao)所述(shu)(shu)(shu)(shu)長邊L上,鋪滿并(bing)固(gu)定于所述(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬框20。進(jin)一(yi)步的(de),架(jia)設于所述(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬框20不同位置(zhi)的(de)所述(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬薄片11的(de)圖(tu)案(an)形狀(zhuang)及(ji)(ji)厚(hou)度均可以(yi)不同,在實現相同的(de)實際(ji)應用效果的(de)情況(kuang)下實現進(jin)一(yi)步的(de)降低(di)生(sheng)產制造(zao)成本(ben)的(de)效果。
本發明實(shi)施例中,固定(ding)到(dao)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)框20上條狀所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11包(bao)括靠近(jin)兩(liang)條所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)短邊W的(de)(de)兩(liang)條金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11a及位(wei)(wei)于(yu)(yu)(yu)兩(liang)條所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11a之間的(de)(de)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11b。兩(liang)條所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11a為(wei)有(you)簡單圖(tu)案的(de)(de)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian),位(wei)(wei)于(yu)(yu)(yu)兩(liang)條所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11a之間的(de)(de)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11b為(wei)具有(you)鍍(du)膜基板(ban)膜層(ceng)所(suo)(suo)(suo)需的(de)(de)鏤空圖(tu)案的(de)(de)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)。且由于(yu)(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11在(zai)一定(ding)范圍內越(yue)薄(bo)(bo)其成(cheng)本越(yue)高,為(wei)了進一步降(jiang)低成(cheng)本,所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11a可(ke)(ke)以(yi)(yi)選(xuan)用較所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11b更厚(hou)的(de)(de)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)材料,當(dang)然,所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11a與所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11b的(de)(de)厚(hou)度也(ye)可(ke)(ke)以(yi)(yi)相同。可(ke)(ke)以(yi)(yi)理解的(de)(de)是,根據(ju)實(shi)際需要,所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11a可(ke)(ke)以(yi)(yi)為(wei)多條,且位(wei)(wei)進一步降(jiang)低成(cheng)本,所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)11a可(ke)(ke)以(yi)(yi)為(wei)無(wu)圖(tu)案的(de)(de)普通(tong)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)(shu)薄(bo)(bo)片(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)(pian)。
請(qing)參閱圖(tu)3,在本步(bu)驟中(zhong)包括(kuo)步(bu)驟S32,通(tong)過(guo)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)掩(yan)模(mo)(mo)母(mu)(mu)板101在所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)二(er)(er)緩沖層(ceng)(ceng)70上(shang)(shang)形(xing)(xing)成非(fei)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)(jue)緣層(ceng)(ceng)80。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)非(fei)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)(jue)緣層(ceng)(ceng)80的(de)(de)形(xing)(xing)狀(zhuang)與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)掩(yan)模(mo)(mo)母(mu)(mu)板101上(shang)(shang)的(de)(de)鏤空(kong)圖(tu)案(an)的(de)(de)形(xing)(xing)狀(zhuang)相(xiang)同。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)非(fei)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)(jue)緣層(ceng)(ceng)80的(de)(de)具體實現方式為(wei)(wei)將所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)掩(yan)模(mo)(mo)母(mu)(mu)板101置于所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)二(er)(er)緩沖層(ceng)(ceng)70與(yu)蒸(zheng)(zheng)鍍材(cai)(cai)料之(zhi)間(jian),所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)蒸(zheng)(zheng)鍍材(cai)(cai)料為(wei)(wei)非(fei)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)(jue)緣材(cai)(cai)料。通(tong)過(guo)熱蒸(zheng)(zheng)鍍工藝,所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)蒸(zheng)(zheng)鍍材(cai)(cai)料穿(chuan)過(guo)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)掩(yan)模(mo)(mo)母(mu)(mu)板101上(shang)(shang)的(de)(de)鏤空(kong)圖(tu)案(an)沉(chen)積(ji)到所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)二(er)(er)緩沖層(ceng)(ceng)70上(shang)(shang),從而形(xing)(xing)成具有(you)與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)掩(yan)模(mo)(mo)母(mu)(mu)板101的(de)(de)圖(tu)案(an)相(xiang)同的(de)(de)的(de)(de)非(fei)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)(jue)緣層(ceng)(ceng)80。所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)非(fei)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)(jue)緣層(ceng)(ceng)80可以(yi)為(wei)(wei)有(you)機物、有(you)機聚合物、有(you)機氟(fu)化物等(deng)非(fei)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)(jue)緣材(cai)(cai)料中(zhong)任一種。
請參閱圖4,步(bu)驟S4,通(tong)過電(dian)(dian)(dian)鑄法在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70上形(xing)成(cheng)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90。所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)疊于(yu)(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70上,且(qie)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)非金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)緣層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)80設于(yu)(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70上且(qie)嵌(qian)設于(yu)(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90中(zhong)(zhong)(zhong)。其具(ju)體形(xing)成(cheng)方式為(wei)(wei),將(jiang)步(bu)驟S3中(zhong)(zhong)(zhong)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)得到(dao)的(de)(de)(de)基板放置到(dao)化(hua)(hua)學(xue)(xue)藥(yao)液(ye)(ye)槽(cao)中(zhong)(zhong)(zhong),并將(jiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)基板進行(xing)通(tong)電(dian)(dian)(dian)。由于(yu)(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)非金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)緣層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)80不(bu)導(dao)電(dian)(dian)(dian),所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)非金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)緣層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)80不(bu)會發生變化(hua)(hua);而除所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)非金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)緣層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)80覆蓋外的(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70區域,由于(yu)(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70為(wei)(wei)導(dao)電(dian)(dian)(dian)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng),在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)緩(huan)(huan)沖(chong)(chong)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)70的(de)(de)(de)表面(mian)即(ji)逐(zhu)漸生長出所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90。此時,所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90具(ju)有與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)非金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)絕(jue)緣層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)80相同的(de)(de)(de)圖案(an),即(ji)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)掩模母(mu)板101上的(de)(de)(de)圖案(an)轉移至所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90上。所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)化(hua)(hua)學(xue)(xue)藥(yao)液(ye)(ye)槽(cao)中(zhong)(zhong)(zhong)為(wei)(wei)含有鐵(tie)、鈷、鎳(nie)等金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)元素的(de)(de)(de)液(ye)(ye)體化(hua)(hua)合(he)物(wu),通(tong)過改變所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)化(hua)(hua)學(xue)(xue)藥(yao)液(ye)(ye)槽(cao)中(zhong)(zhong)(zhong)液(ye)(ye)體化(hua)(hua)合(he)物(wu)的(de)(de)(de)組(zu)成(cheng),可(ke)以(yi)(yi)得到(dao)組(zu)成(cheng)不(bu)同的(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90。所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90可(ke)以(yi)(yi)為(wei)(wei)單(dan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)或(huo)者多層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng),且(qie)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90由鎳(nie)、鈷、鐵(tie)等金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)組(zu)成(cheng)或(huo)者由鎳(nie)、鈷、鐵(tie)等金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)組(zu)成(cheng)的(de)(de)(de)任意合(he)金(jin)(jin)(jin)組(zu)成(cheng)。其中(zhong)(zhong)(zhong),多層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)導(dao)電(dian)(dian)(dian)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)90的(de)(de)(de)各層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)組(zu)成(cheng)材(cai)(cai)料(liao)(liao)可(ke)以(yi)(yi)為(wei)(wei)同種金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)或(huo)合(he)金(jin)(jin)(jin)材(cai)(cai)料(liao)(liao),也可(ke)以(yi)(yi)為(wei)(wei)不(bu)同種金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)或(huo)合(he)金(jin)(jin)(jin)材(cai)(cai)料(liao)(liao)。
請(qing)參閱圖5,步驟S5,剝離(li)所述非(fei)金(jin)(jin)屬(shu)絕緣層80。剝離(li)所述非(fei)金(jin)(jin)屬(shu)絕緣層80后(hou),所述第二金(jin)(jin)屬(shu)導電層90與所述掩模母(mu)板相同的(de)鏤(lou)空(kong)圖案即(ji)顯露(lu)出來。
請(qing)參(can)閱圖8,步(bu)驟S6,切(qie)割(ge)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)二金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)電(dian)層(ceng)(ceng)90。沿I-I所(suo)(suo)示方(fang)向切(qie)割(ge)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)切(qie)割(ge)第(di)二金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)電(dian)層(ceng)(ceng)90,即平行于與所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)掩模母板101相同圖案(an)中的(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)長邊L的(de)方(fang)向切(qie)割(ge)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)二金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)電(dian)層(ceng)(ceng)90。通(tong)過切(qie)割(ge),所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)二金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)電(dian)層(ceng)(ceng)90成為條狀(zhuang)的(de)金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)電(dian)層(ceng)(ceng),所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)電(dian)層(ceng)(ceng)90的(de)圖案(an)即分(fen)離形(xing)成數個子(zi)金(jin)屬(shu)(shu)層(ceng)(ceng)。可以(yi)理解(jie)的(de)是,此步(bu)驟可以(yi)省略。
請參閱(yue)圖6,步驟S7,剝(bo)離(li)(li)切割后的所述第(di)(di)(di)二金(jin)(jin)屬(shu)導電層(ceng)(ceng)(ceng)90。剝(bo)離(li)(li)切割后的所述第(di)(di)(di)二金(jin)(jin)屬(shu)導電層(ceng)(ceng)(ceng)90,使切割后的所述第(di)(di)(di)二金(jin)(jin)屬(shu)導電層(ceng)(ceng)(ceng)90與所述第(di)(di)(di)二緩(huan)沖層(ceng)(ceng)(ceng)70分(fen)離(li)(li),即將所述子金(jin)(jin)屬(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)與所述第(di)(di)(di)二緩(huan)沖層(ceng)(ceng)(ceng)70分(fen)離(li)(li),經剝(bo)離(li)(li)后得(de)到的所述子金(jin)(jin)屬(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)即為本發明(ming)所要得(de)到的金(jin)(jin)屬(shu)片10。
本發明實施例中,固定到(dao)(dao)所述(shu)(shu)金屬框20上靠近(jin)兩條所述(shu)(shu)短邊W的(de)(de)兩條所述(shu)(shu)金屬薄片(pian)11a為具有(you)簡(jian)單(dan)圖案(an)的(de)(de)金屬薄片(pian),位(wei)于兩條所述(shu)(shu)金屬薄片(pian)11a之(zhi)間(jian)的(de)(de)所述(shu)(shu)金屬薄片(pian)11b為具有(you)鏤(lou)空圖案(an)的(de)(de)金屬薄片(pian)。則得(de)到(dao)(dao)的(de)(de)所述(shu)(shu)金屬片(pian)10的(de)(de)兩端有(you)簡(jian)單(dan)圖案(an),中間(jian)位(wei)置有(you)鏤(lou)空圖案(an)。可(ke)以理解的(de)(de)是,在能(neng)得(de)到(dao)(dao)品質(zhi)較好(hao)的(de)(de)所述(shu)(shu)金屬片(pian)10的(de)(de)情況下,所述(shu)(shu)步驟S6與步驟S7順(shun)序可(ke)以進行變換。
請重新(xin)參閱圖7,步驟S8,經剝離后得到的(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第二金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)電層90進(jin)行(xing)(xing)張(zhang)(zhang)(zhang)網形成(cheng)OLED掩(yan)模板100。將步驟S7得到的(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)片(pian)(pian)10焊(han)接(jie)固(gu)(gu)定于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)框(kuang)(kuang)20上,剪切(qie)掉露出(chu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)框(kuang)(kuang)20的(de)(de)(de)部(bu)分(fen)。為(wei)了更好的(de)(de)(de)進(jin)行(xing)(xing)張(zhang)(zhang)(zhang)網操作,所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)片(pian)(pian)10的(de)(de)(de)焊(han)接(jie)方向為(wei)平行(xing)(xing)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)短邊(bian)(bian)W的(de)(de)(de)方向。由于(yu)(yu)步驟S6中(zhong)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第二金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)電層90的(de)(de)(de)切(qie)割方向為(wei)平行(xing)(xing)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)掩(yan)模母板101的(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)長(chang)邊(bian)(bian)L的(de)(de)(de)方向,可知,步驟S7中(zhong)得到的(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)片(pian)(pian)的(de)(de)(de)長(chang)度為(wei)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)框(kuang)(kuang)20的(de)(de)(de)長(chang)邊(bian)(bian)L的(de)(de)(de)長(chang)度,因此,將所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)片(pian)(pian)10平行(xing)(xing)于(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)短邊(bian)(bian)W進(jin)行(xing)(xing)焊(han)接(jie)固(gu)(gu)定時,所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)片(pian)(pian)10的(de)(de)(de)兩端(duan)(duan)會(hui)露出(chu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)框(kuang)(kuang)20外,露出(chu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)框(kuang)(kuang)20外的(de)(de)(de)部(bu)分(fen)被(bei)剪切(qie)掉即得到所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)掩(yan)模板100。張(zhang)(zhang)(zhang)網焊(han)接(jie)過(guo)(guo)程中(zhong),所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)片(pian)(pian)10兩端(duan)(duan)簡單(dan)(dan)圖案的(de)(de)(de)部(bu)分(fen)可以(yi)在張(zhang)(zhang)(zhang)網是(shi)分(fen)散所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)片(pian)(pian)10各(ge)位(wei)置的(de)(de)(de)張(zhang)(zhang)(zhang)力,從而提高張(zhang)(zhang)(zhang)網的(de)(de)(de)成(cheng)品率,提高生(sheng)(sheng)產效率,并降低生(sheng)(sheng)產成(cheng)本。在剪切(qie)過(guo)(guo)程中(zhong),所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)金(jin)屬(shu)(shu)片(pian)(pian)10的(de)(de)(de)兩端(duan)(duan)的(de)(de)(de)簡單(dan)(dan)圖案部(bu)分(fen)被(bei)剪切(qie)。
通過(guo)本(ben)發明所(suo)述的(de)(de)(de)OLED掩(yan)(yan)模(mo)板的(de)(de)(de)制造方(fang)法通過(guo)以化(hua)學蝕刻的(de)(de)(de)方(fang)法得到(dao)的(de)(de)(de)所(suo)述掩(yan)(yan)模(mo)母板101作為媒介(jie),并結合電鑄(zhu)工藝(yi)(yi),能夠大量制得具(ju)(ju)有(you)良好實際應用(yong)效果的(de)(de)(de)所(suo)述OLED掩(yan)(yan)模(mo)板100,為OLED掩(yan)(yan)模(mo)板的(de)(de)(de)制作提供(gong)了一種(zhong)新的(de)(de)(de)方(fang)式,且(qie)降低(di)生(sheng)產(chan)(chan)成本(ben)。并且(qie)本(ben)發明中所(suo)述OLED掩(yan)(yan)模(mo)板100的(de)(de)(de)制造過(guo)程中不需要用(yong)到(dao)曝光(guang)機及光(guang)罩,能夠簡化(hua)生(sheng)產(chan)(chan)設備及生(sheng)產(chan)(chan)工藝(yi)(yi),從而進(jin)一步(bu)的(de)(de)(de)降低(di)生(sheng)產(chan)(chan)制作成本(ben),具(ju)(ju)有(you)極佳的(de)(de)(de)實際應用(yong)效果。
以上所述,僅為本(ben)(ben)發(fa)(fa)明的(de)具體實施方(fang)式,但本(ben)(ben)發(fa)(fa)明的(de)保(bao)護范(fan)圍并(bing)不局限于(yu)此,任何熟悉本(ben)(ben)技(ji)術領域(yu)的(de)技(ji)術人員在(zai)本(ben)(ben)發(fa)(fa)明揭露(lu)的(de)技(ji)術范(fan)圍內,可輕(qing)易的(de)想到(dao)各種等效的(de)修改(gai)(gai)或(huo)替換(huan),這(zhe)些修改(gai)(gai)或(huo)替換(huan)都(dou)應涵蓋在(zai)本(ben)(ben)發(fa)(fa)明的(de)保(bao)護范(fan)圍之(zhi)內。因此,本(ben)(ben)發(fa)(fa)明的(de)保(bao)護范(fan)圍應以權利要求的(de)保(bao)護范(fan)圍為準。