一種擴散石英舟結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種擴散石英舟結構，包括石英舟片、石英舟卡位。所述的石英舟卡位處的間隔為逐步遞減，石英卡位間距y=4.25-0.01x，其中x代表第x個卡位間距，最大間距為4.25mm，最小間距為3.25mm，減幅為0.01mm，舟總長為380mm，共100個卡位。石英舟在使用過程中，間距大的一端放在擴散爐爐口處，間距小的一端放在擴散爐爐內。本實用新型的有益效果是可以有效解決擴散方阻在爐內和爐口的差異以及片內不均勻度。
【專利說明】一種擴散石英舟結構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及晶硅太陽能電池片制作領域，具體地涉及一種擴散石英舟結構。【背景技術】
[0002]晶體硅太陽能電池片制備過程中的擴散工序，在硅片(一般摻硼)表面形成P-N結，是太陽能電池片實現光電轉換的核心，而P-N結的結深、表面慘雜濃度以及P-N結的均勻性，對太陽能電池片的光電轉換效率影響重大，尤其是P-N結的均勻性，它會對絲網燒結以及串聯電阻Rs影響較大。
[0003]目前擴散的常規方法是在間隔均勻的石英舟上，插上清洗后的硅片進行擴散，而該方法的弊端在于，擴散管的爐口由于熱量損失較大，使得爐口的擴散方阻偏大，而爐內由于熱量損失較小，使爐內的擴散方阻偏小，這樣就造成了擴散方阻管內不均勻，雖然通過修改爐內和爐口的溫度設定可以緩解，但是由于氣流的不均勻，使得載氣攜帶的磷源也不均勻，容易造成硅片擴散方阻不均勻度增加。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的是提供一種擴散石英舟結構，通過改變擴散石英舟的間距大小，使石英舟上的硅片，從爐口到爐內，片內和片間的方阻更加均勻。
[0005]本實用新型所采用的技術解決方案:一種擴散石英舟結構，包括石英舟片、石英舟卡位。所述的石英舟卡位處的間隔為逐步遞減，石英卡位間距y=4.25-0.0lx,其中x代表第X個卡位間距，最大間距為4.25mm,最小間距為3.25mm,減幅為0.0lmm,舟總長為380mm,共100個卡位。石英舟在使用過程中，間距大的一端放在擴散爐爐口處，間距小的一端放在擴散爐爐內。
[0006]本實用新型的有益效果是可以有效解決擴散方阻在爐內和爐口的差異以及片內不均勻度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1通常采用的石英舟的舟片間距示意圖
[0008]圖2本實用新型中石英舟的舟片間距示意圖。
【權利要求】
1.一種擴散石英舟結構，包括石英舟片、石英舟卡位，其特征在于:所述的石英舟卡位處的間隔為逐步遞減，石英卡位間距y=4.25-0.0lx，其中x代表第x個卡位間距，最大間距為4.25mm,最小間距為3.25mm,減幅為0.0lmm,舟總長為380mm,共100個卡位。
【文檔編號】H01L31/18GK203562411SQ201320629905
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年10月14日 優先權日:2013年10月14日
【發明者】徐杰 申請人:浙江鴻禧光伏科技股份有限公司