技術編號：7026522
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種擴散石英舟結構，包括石英舟片、石英舟卡位。所述的石英舟卡位處的間隔為逐步遞減，石英卡位間距y=4.25-0.01x，其中x代表第x個卡位間距，最大間距為4.25mm，最小間距為3.25mm，減幅為0.01mm，舟總長為380mm，共100個卡位。石英舟在使用過程中，間距大的一端放在擴散爐爐口處，間距小的一端放在擴散爐爐內。本實用新型的有益效果是可以有效解決擴散方阻在爐內和爐口的差異以及片內不均勻度。專利說明一種擴散石英舟結構[0001]...
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