開放式銷用支板的制作方法
【專利摘要】開放式銷用支板，主要解決現有的銷用支板不能適用兩種或兩種以上尺寸晶圓的技術問題。該支板主體呈三角形且一個邊為開放式結構。上述支板主體的邊緣處加工有基準線，支板主體的平面處加工有表面，與表面相鄰處分別制有精加工面。上述支板主體的三個角上分別制有頂銷位置。支板主體的頂角上制有通孔，與升降機構運動部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔，銷孔用于確保連接精度。上述支板主體采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷強度高，高溫變形小等優勢。本實用新型可將多種規格的晶圓頂升位置集成在一個支板上，其特點還在于同一個支架可用于多種晶圓尺寸的頂升銷，節省了設備轉型的維護成本，可廣泛應用于半導體鍍膜【技術領域】。
【專利說明】開放式銷用支板
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種開放式銷用支板，主要應用于半導體鍍膜設備中，屬于半導體薄膜沉積應用及制備【技術領域】。
【背景技術】
[0002]現有的半導體鍍膜設備，尤其是12英寸半導體鍍膜設備中，銷支板在整個工藝過程中，通過自身的升降來實現不同位置上的銷的統一升降，從而實現傳片過程中晶圓的升降。銷一般是按圓周均勻分布的，數量一般為三個或多個不等。為保證晶圓在整個工藝過程中無偏移、滑片等現象，需要保證不同位置上的銷的高度是一致的，即無論在任何狀態下，銷的提升和下降的速度是一樣的。這就對銷支板的要求提高了。需要銷支板在任何狀態下，位于不同位置的銷所處的面的升降是一致的，并保證這些面始終處于同一平面上。考慮腔體的密封以及安裝空間有限，銷支板一般只設有一個升降支點。這又對銷支板的強度要求提高了，不允許其在高溫狀態下有較大的變形存在。以保證各處銷的高度不會有大的差異，從而確保晶圓的傳輸順暢。同時，銷支板其自身也不能太重，避免因重力作用導致變形。
[0003]根據半導體產業的需要，有些設備需同時具備生產不同尺寸晶圓的能力。對于不同的晶圓直徑，頂升銷的位置也有不同。業內現有做法是更換加熱盤以適應相應的晶圓尺寸；同時更換頂升銷的支板，以適應不同的晶圓頂升位置。而更換頂銷支板又帶來了安裝調平等一系列工作量，增加了維護成本。
【發明內容】
[0004]本實用新型以解決上述問題為目的，主要解決現有的銷用支板不能適用兩種或兩種以上尺寸晶圓的不足，而提供一種結構相對簡單，強度高，能同時滿足多種晶圓尺寸的開放式銷用支板。
[0005]為實現上述目的，本實用新型采用下述技術方案:開放式銷用支板，支板主體呈三角形且一個邊為開放式結構。上述支板主體的邊緣處加工有基準線(2);支板主體的平面處加工有表面(3)，與表面(3)相鄰處分別制有精加工面A (5-1)、精加工面B (5-2)及精加工面C (5-3)。上述支板主體的三個角上分別制有頂銷位置A (4)、頂銷位置B (6)、頂銷位置C (7)、頂銷位置D (8)、頂銷位置E (9)及頂銷位置F (11)。上述支板主體的頂角上制有通孔(1)，與升降機構運動部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔(10)，銷孔(10)用于確保連接精度。
[0006]上述支板主體采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷強度高，高溫變形小等優勢。
[0007]本實用新型的有益效果及特點在于:
[0008]將多種規格的晶圓頂升位置集成在一個支板上，有效的利用精加工面，降低成本，去除多余材料，減輕重量，減小各處由于厚度不均勻而產生的熱應力。本實用新型的特點還在于同一個支架可用于多種晶圓尺寸的頂升銷，節省了設備轉型的維護成本。結構簡單合理，更好的避免了因支板的變形而導致的銷高度不一，從而導致晶圓傾斜或是滑片現象的出現。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0010]圖2是本實用新型的具體實施例的示意圖。
【具體實施方式】
[0011]實施例
[0012]參照圖1-2，開放式銷用支板，支板主體呈三角形且一個邊為開放式結構。上述支板主體的邊緣處加工有基準線2 ;支板主體的平面處加工有表面3，與表面3相鄰處分別制有精加工面A5-1、精加工面B5-2及精加工面C5-3。上述支板主體的三個角上分別制有頂銷位置A4、頂銷位置B6、頂銷位置C7、頂銷位置D8、頂銷位置E9及頂銷位置Fll。上述支板主體的頂角上制有通孔1，與升降機構運動部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔10，銷孔10用于確保連接精度。
[0013]如圖2所示，大晶圓12由頂銷位置A4、頂銷位置D8、頂銷位置Fll頂升；小晶圓13由頂銷位置B6、頂銷位置C7、頂銷位置E9頂升。如設備有需要做不同規格晶圓時，則將頂升銷安裝于相應位置即可。
[0014]所述的銷孔10為I個,通孔I為3個。
[0015]安裝時，支板主體通過銷孔10來實現與升降機構的定位，通過通孔I來實現與升降機構的緊固連接。
[0016]使用時，將本實用新型安裝于頂升機構的運動部件頂端，基準線2用于測量安裝方向，銷孔10用于定位保證安裝精度，螺釘通過通孔I緊固，這樣整個銷支板的安裝就完成了。
【權利要求】
1.一種開放式銷用支板，其特征在于:支板主體呈三角形且一個邊為開放式結構，上述支板主體的邊緣處加工有基準線(2);支板主體的平面處加工有表面(3)，與表面(3)相鄰處分別制有精加工面A (5-1)、精加工面B (5-2)及精加工面C (5-3)，上述支板主體的三個角上分別制有頂銷位置A (4)、頂銷位置B (6)、頂銷位置C (7)、頂銷位置D (8)、頂銷位置E (9)及頂銷位置F (11)，上述支板主體的頂角上制有通孔(1)，與升降機構運動部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔(10)。
2.如權利要求1所述的開放式銷用支板，其特征在于:所述的銷孔(10)為I個，通孔(I)為3個。
【文檔編號】H01L21/687GK203481207SQ201320548447
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年9月4日 優先權日:2013年9月4日
【發明者】吳鳳麗, 姜崴, 趙文平 申請人:沈陽拓荊科技有限公司