技術編號：7023185
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。開放式銷用支板，主要解決現有的銷用支板不能適用兩種或兩種以上尺寸晶圓的技術問題。該支板主體呈三角形且一個邊為開放式結構。上述支板主體的邊緣處加工有基準線，支板主體的平面處加工有表面，與表面相鄰處分別制有精加工面。上述支板主體的三個角上分別制有頂銷位置。支板主體的頂角上制有通孔，與升降機構運動部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔，銷孔用于確保連接精度。上述支板主體采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷強度高，高溫變形小等優勢。本實用新型可將多種規格的晶圓頂升位置集成在...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。