專利名稱：一種傳送微波的導線的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池的制造設備，特別是涉及一種用于等離子化學氣相沉積設備(PECVD)的傳送微波的導線。
技術背景 太陽能電池作為一種再生的環保能源，近年來得到了飛速發展。太陽能電池制造主要依靠三大關鍵制造裝備，即擴散爐，PECVD設備和絲網印刷機。在PECVD設備中包括有微波發生器、石英管、銅導線、微波頭、真空腔室和石墨載板等，在銅導線外套有石英管，而石英管、銅導線和石墨載板位于真空腔室內，銅導線的兩端通過導管與真空腔室外的兩微波發生器相連接，由微波發生器產生微波后，通過銅導線的導向作用將微波發射到真空腔室內部，激發氣體形成等離子體。而導線和導管的銜接是否良好，關系到微波泄漏和微波反射率，現有的導線和導管的連接采用的是插接的方式，導線兩端加工連接孔，導管端部設有的較細軸段插入導線連接孔中，從而使兩者連接。這種導線與導管的連接方式不可靠，導管的較細軸段容易產生彎折，使得導線與導管接觸不良，微波反射率偏高，并且微波容易泄漏在連接處產生駐波磨損，同時微波電源也過快消耗，使微波電源和導線需要經常更換。

實用新型內容為解決上述問題，本實用新型提出了一種傳送微波的導線，它與導管連接可靠，銜接良好，能有效避免微波泄漏，且連接處不易磨損，延長微波電源和導線的使用壽命。本實用新型的目的是這樣實現的一種傳送微波的導線，包括導線本體，導線本體的兩端與導管連接，所述導線本體的一端與第一導管固定，另一端與第二導管螺紋連接，所述導線本體的端頭部設有外螺紋并通過與第二導管螺紋旋合的方式連接。本實用新型的導線一端通過螺紋旋合的方式與導管連接，連接可靠銜接良好，能有效避免微波泄漏，且導線連接處不會因駐波氧化而過快磨損，消除了因接觸不良而導致的微波反射率偏、電源易損壞的問題，使得導線不再是消耗品，電源使用壽命也得到延長。 導線的另一端與導管固定，維護安裝更加方便。進一步地，所述導線本體與第一導管為一體結構。進一步地，所述導線本體與第一導管焊接固定。進一步地，所述導線本體與第二導管的旋合端分為螺紋段和錐尾段，錐尾段位于螺紋段的外端。有益效果本實用新型的導線維護安裝方便，導線與導管連接可靠銜接良好，能有效避免微波泄漏，且導線連接處不會因駐波氧化而過快磨損，消除了因接觸不良而導致的微波反射率偏、電源易損壞的問題，使得導線不再是消耗品，電源使用壽命也得到延長。

[0011]下面將結合附圖對本實用新型作進一步的詳細描述圖1是本實用新型的結構示意圖。圖2是圖1的局部放大圖。
具體實施方式
以下將結合附圖，對本實用新型的優選實施例進行說明。參見圖1和圖2，一種傳送微波的導線，包括導線本體1，導線本體1的兩端與導管連接，所述導線本體1的一端通過焊接與第一導管2固定，另一端與第二導管3螺紋連接， 所述導線本體1的端頭部設有外螺紋并通過與第二導管3螺紋旋合的方式連接。當然，導線本體1與第一導管2也可以是一體結構。在導線本體1與第二導管3的旋合端分為螺紋段11和錐尾段12，錐尾段12位于螺紋段11的外端。導線1 一端通過螺紋旋合的方式與第二導管3連接，連接可靠銜接良好，能有效避免微波泄漏，且導線連接處不會因駐波氧化而過快磨損，消除了因接觸不良而導致的微波反射率偏、電源易損壞的問題，使得導線不再是消耗品，電源使用壽命也得到延長。而導線 1的另一端與第一導管2固定，不但連接可靠，維護安裝也更加方便。以上所述僅為本實用新型的一種實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種傳送微波的導線，包括導線本體(1)，導線本體(1)的兩端與導管連接，其特征在于所述導線本體(1)的一端與第一導管(2)固定，另一端與第二導管(3)螺紋連接，所述導線本體(1)的端頭部設有外螺紋并通過與第二導管(3)螺紋旋合的方式連接。
2.根據權利要求1所述的一種傳送微波的導線，其特征在于所述導線本體(1)與第一導管(2)為一體結構。
3.根據權利要求1所述的一種傳送微波的導線，其特征在于所述導線本體(1)與第一導管(2)焊接固定。
4.根據權利要求1所述的一種傳送微波的導線，其特征在于所述導線本體(1)與第二導管⑶的旋合端分為螺紋段(11)和錐尾段(12)，錐尾段(12)位于螺紋段(11)的外端。
專利摘要本實用新型提出了一種傳送微波的導線，包括導線本體(1)，導線本體(1)的兩端與導管連接，其特征在于所述導線本體(1)的一端與第一導管(2)固定，另一端與第二導管(3)螺紋連接，所述導線本體(1)的端頭部設有外螺紋并通過與第二導管(3)螺紋旋合的方式連接。本實用新型的導線維護安裝方便，導線與導管連接可靠銜接良好，能有效避免微波泄漏，且導線連接處不會因駐波氧化而過快磨損，消除了因接觸不良而導致的微波反射率偏、電源易損壞的問題，使得導線不再是消耗品，電源使用壽命也得到延長。
文檔編號H01R4/02GK202067905SQ201120038520
公開日2011年12月7日 申請日期2011年1月31日 優先權日2011年1月31日
發明者洪祖杭 申請人:金保利(泉州)科技實業有限公司