專利名稱：使用溶液法制作柔性板的方法
技術領域：
本發明涉及一種用于制作固定在硅片或玻璃基板上的柔性板的方法。
背景技術：
為了使用用于傳統硅片或玻璃基板的最佳制作設備，塑料板因其柔性而應當固定在硬基板上。主要有三種用于將這樣的塑料板固定在硬玻璃基板上的方法。參照圖1，提出了ー種使用單面膠帶將塑料板固定在玻璃基板上的方法。塑料膜2置于玻璃基板I上，并且塑料膜2的兩端用單面膠帶3固定。該方法非常簡單并便于使用，但具有一個缺點，由于玻璃基板I沒有粘附在塑料板上，以及玻璃基板和塑料板具有不同的熱膨脹系數，則在高溫エ藝期間，塑料板產生凹陷。圖2示出使用雙面膠層4固定玻璃基板I和塑料板2的方法。該方法的優點在干，可以改善玻璃基板和柔性板之間的粘合并且可以避免由高溫エ藝造成的塑料膜凹陷。然而，該方法具有難于控制粘合強度的缺點。也就是說，當雙面膠層粘合強度高時，在完成整個エ藝之后，需要大的外應カ把塑料板和基板分離，以及當雙面膠層粘合強度低時，則不利地，在該エ藝期間基板與塑料板分離。參照圖3，為了解決上文提到的問題，犧牲層5置于玻璃基板I和塑料板2之間并在該エ藝完成之后通過激光輻射加熱以將所述膜和所述基板分離。該方法的優點在干，玻璃基板和塑料板之間的粘合得到改善，并且塑料板與玻璃基板分離時的應カ可以被最小化。然而，該方法的缺點是，不可以循環使用犧牲層并且由于使用激光而使制作成本増加。如圖4所示，與上文提到的エ藝不同，聚合物溶液6通過例如旋涂法的方法涂覆在玻璃基板I上以形成聚合物膜，隨后所述膜被加熱并固化，隨后被去除。該方法也具有缺點，由于玻璃基板和聚合物膜之間有極其高的粘合強度，聚合物膜不能容易地分離。

發明內容
摶術問是頁因此，鑒于上述問題進行本發明，本發明的ー個目的是提供ー種使用碳納米管制作柔性板的方法，其中，旋涂的碳納米管層被涂覆聚合物化學溶液或単體化學溶液以最小化基板與聚合物膜接觸的面積，并由此形成無需施加任何外應カ或激光就可以與所述基板容易分離的柔性板。本發明的另一目的是提供一種這樣的制作柔性板的方法通過使用含疏水物質的油墨形成沉積層來實現如上文所述與使用含碳納米管的油墨相同的效果。技術方案根據本發明，以上目的和其他目的可以通過提供一種用于使用碳納米管制造柔性板的方法來實現，所述方法包括將含有碳納米管的油墨旋涂在基板上以形成沉積層；以及將聚合物溶液或単體溶液旋涂在所述沉積的碳納米管上以形成薄膜層。
具體地，可以用于上文所述方法的化學溶液可以選自芳香族聚酰亞胺、聚苯硫醚和含氟樹脂。更具體地，所述化學溶液為聚酰亞胺(PI)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。上文所述的制作方法中可以使用的基板可以選自玻璃、硅片、不銹鋼和剛玉。可替換地，提供了一種用于通過重復上文所述制作方法至少一次以形成由所述沉積層和所述薄膜層組成的至少ー個復合膜層來制作柔性板的方法。所述制作方法可以使用含有疏水物質的油墨代替碳納米管以形成沉積層。該制作方法按照與使用含有碳納米管的油墨層實現所述沉積層的エ序相同的連續エ序實現。特別地，當使用疏水物質時，優選的是，疏水物質高度疏水并具有80度或大于80 度的接觸角。
_9] 有益.效果本發明提供了一種用于制作柔性板的方法，通過用聚合物化學溶液或単體化學溶液涂覆旋涂的碳納米層以最小化基板接觸聚合物膜的面積，所述柔性板可以與所述基板容易地分離而無需施加任何外應カ或激光。


結合附圖從下文的詳細描述中可以更清楚地理解本發明的上述目的、特征和優點以及其他的目的、特征和優點，其中圖I至圖4為說明根據現有技術制作板的方法的截面圖；以及圖5至圖7為說明根據本發明制作板的方法的截面圖。
具體實施例方式下文中，將結合附圖詳細描述本發明的構型和操作。參照圖5和圖6，根據本發明的用于制作柔性板的方法包括將含碳納米管21的油墨涂覆至基板10上以形成沉積層20 ;以及將含聚合物或単體的化學溶液旋涂在所述沉積的碳納米管層上以形成薄膜層30。多種涂覆方法可以應用至本發明，例如，旋涂法、狹縫涂覆法、噴涂法或浸涂法。由于所述化學溶液滲透在旋涂的碳納米管之間，則通過所述方法形成的柔性板可以有效減少作為薄膜層的薄膜接觸玻璃基板的面積，因此實現所述薄膜層與所述玻璃基板便利分離。用于上文所述的制作方法的化學溶液中，聚合物溶液可以選自有機物，例如聚酰亞胺(PD、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)及其組合，所述聚合物溶液以流體形式沉積并固化以獲取薄膜。此外，所述聚合物溶液可以為所述有機物和少量無機物的混合物。具體而言，所述聚合物溶液可以選自芳香族聚酰亞胺、聚苯硫醚和含氟樹脂及其組合。可替換地，聚合物溶液可以為通過均苯四甲酸ニ酐或聯苯四甲酸酐縮聚獲取的芳香族聚酰亞胺以及例如為ニ氨基ニ苯醚的芳香族聚酰亞胺。本文中使用的術語“聚酰亞胺(PI)樹脂”指的是通過芳香族四羧酸或其衍生物與芳香族ニ異氰酸酯或其衍生物縮聚、隨后亞胺化而制備的高度耐熱樹脂。聚酰亞胺(PD樹脂根據使用的単體類型而具有不同的分子結構，并因此可以顯示出多種物理性質。通常，用來制備聚酰亞胺(PI)樹脂的芳香族四羧酸可以為均苯四甲酸ニ酐(PMDA)或聯苯四甲酸酐(BPDA)等，以及芳香族ニ胺可以為ニ氨基ニ苯醚(ODA)或對苯ニ胺(p-PDA)。此外，可用于本發明的單體溶液可以為環氧化合物或UV固化(紫外固化)型單體并可以通過熱處理或UV輻射而聚 合。此外，可以用于該制作方法的基板可以由對于半導體エ藝有用的硬材料制成，所述硬材料選自玻璃、硅片、不銹鋼和剛玉。參照圖7，該制作方法可以包括重復一系列步驟至少一次，其中所述系列步驟包括使用含碳納米管的油墨形成沉積層并使用含聚合物或含単體的溶液形成薄膜層，從而形成具有包括多個含碳納米管的薄膜層20a、20b和20c的多層結構的柔性板，由此實現因碳納米管而具有高強度且可以與玻璃基板容易地分離的高強度柔性板。下文將描述另ー實施方式。制作方法可以使用含有疏水物質的油墨代替碳納米管以實現沉積層。該制作方法是按照與使用含有碳納米管的油墨層實現沉積層的エ序相同的連續エ序實現的。在該情況下，優選的是，疏水物質高度疏水并具有80度至130度的接觸角。例如，所述疏水物質可以含有輕基、氣基或竣基。如上文所述，根據本發明的制作方法能夠通過使基板接觸薄膜的面積最小化而形成無需施加任何外應カ或激光就可以容易地與基板分離的柔性板。盡管出于說明目的公開了本發明的優選實施方式，但本領域的技術人員將理解，在不脫離所附權利要求中所公開的本發明的范圍和精神的情況下，可以進行各種改動、添加和替換。
權利要求
1.一種用于使用碳納米管制作柔性板的方法，所述方法包括 將含有碳納米管的油墨涂覆至基板上以形成沉積層；以及 將聚合物溶液或単體溶液涂覆在所沉積的碳納米管層上以形成薄膜層。
2.根據權利要求I所述的方法，其中，所述化學溶液選自芳香族聚酰亞胺、聚苯硫醚和含氟樹脂。
3.根據權利要求I所述的方法，其中，所述化學溶液為聚酰亞胺(PI)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。
4.根據權利要求I至3中任一項所述的方法，其中，所述基板選自玻璃、硅片、不銹鋼和剛玉。
5.根據權利要求4所述的方法，其中，所述沉積層和所述薄膜層的形成過程被重復至少一次，以形成由所述沉積層和所述薄膜層組成的至少ー個復合膜層，所述至少一個復合膜層構成所述柔性板。
6.一種用于制作柔性板的方法，所述方法包括 將含有接觸角大于80度的高度疏水物質的油墨涂覆至基板上以形成沉積層；以及 將含有聚合物或単體的化學溶液涂覆在所沉積的疏水物質上以形成薄膜層。
7.根據權利要求6所述的方法，其中，所述疏水物質具有80度至130度的接觸角。
8.根據權利要求7所述的方法，其中，所述疏水物質含有羥基、氨基或羧基或者上述基團的組合。
9.根據權利要求7所述的方法，其中，所述化學溶液選自芳香族聚酰亞胺、聚苯硫醚和含氟樹脂。
10.根據權利要求7所述的方法，其中，所述化學溶液為聚酰亞胺(PI)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。
11.根據權利要求7至10中任一項所述的方法，其中，所述基板選自玻璃、硅片、不銹鋼和剛玉。
12.根據權利要求11所述的方法，其中，所述沉積層和所述薄膜層的形成過程被重復至少一次，以形成由所述沉積層和所述薄膜層組成的至少ー個復合膜層，所述至少ー個復合膜層構成所述柔性板。
全文摘要
公開了一種用于使用碳納米管制作柔性板的方法。所述方法包括將含有碳納米管的油墨涂覆至基板上以形成沉積層以及將聚合物溶液或單體溶液涂覆在所述沉積的碳納米管層上以形成薄膜層。根據所述方法，旋涂的碳納米管層涂覆有聚合物化學溶液或單體化學溶液以最小化基板與聚合物膜接觸的面積并由此有利地形成無需施加任何外應力或激光而與所述基板上容易分離的柔性板。
文檔編號H01L21/208GK102687244SQ201080043470
公開日2012年9月19日 申請日期2010年2月2日 優先權日2009年9月29日
發明者崔敏姬, 張震, 韓承勛 申請人:慶熙大學工業與學術合作基金會