專利名稱：擴散劑組合物、雜質擴散層的形成方法、以及太陽能電池的制作方法
技術領域：
本發明涉及擴散劑組合物、雜質擴散層的形成方法、以及太陽能電池。
背景技術：
以往，在太陽能電池的制造中，在半導體基板中形成P型或N型的雜質擴散層的情況下，使用包含雜質擴散成分的擴散劑在半導體基板表面形成涂膜，從該擴散劑的涂膜中使雜質擴散成分向半導體基板中擴散，從而形成了雜質擴散層。在太陽能電池的制造中，作為將擴散劑涂布于半導體基板表面的方法，多使用旋涂法，然而也嘗試過采用絲網印刷法、輥涂印刷法等。絲網印刷法中，首先將網狀的絲綢、合成樹脂、不銹鋼等的絲網(印刷版)張掛在框上，在絲網中形成擴散劑所通過的部分、和不通過的部分。然后向絲網上涂布擴散劑，將所涂布的擴散劑用橡皮滾子向半導體基板表面壓出。這時，擴散劑就被轉印到半導體基板表面，由此就會在半導體基板表面形成包含給定的圖案或線的擴散劑的涂膜。另外，在輥涂印刷法中，首先將沿著圓周形成有槽的印刷輥(印刷版)、和用于向印刷輥推壓半導體基板的推壓輥相隔微小的距離地相對配置。接下來，一邊向槽中補給擴散劑一邊使印刷輥與推壓輥彼此向相反方向旋轉，使半導體基板在它們之間通過。這時，印刷輥與半導體基板相互帶有壓力地接觸，填充于印刷輥的槽中的擴散劑被向半導體基板表面轉印，由此在半導體基板表面形成包含給定的圖案或線的擴散劑的涂膜。另外，例如在專利文獻1中，記載有以用在這些印刷法中為目的的摻雜劑糊劑(擴散劑組合物)。在先技術文獻專利文獻1 日本特表號公報

發明內容
發明所要解決的課題如上所述，現在，雖然在太陽能電池的制造中進行過意圖采用絲網印刷法或輥涂印刷法的嘗試，然而在這些方法中很難形成能夠經受實用的水平的涂膜。作為其原因之一， 可以舉出尚不知曉能夠在這些方法中合適地采用的擴散劑。即，由于在上述的絲網印刷法或輥涂印刷法中向網狀或卷筒狀的印刷版上涂布擴散劑，因此擴散劑需要具有給定的粘性。為了對擴散劑賦予粘性，對于以往的擴散劑而言，其固體成分濃度在一定程度上較高地被設定，然而這樣的話擴散劑就容易干燥。一旦涂布于印刷版上的擴散劑干燥，就會在半導體基板中產生印刷飛白，無法形成良好的涂膜。由此，對于絲網印刷法或輥涂印刷法中所用的擴散劑，要求在具有給定的粘性的同時很難干燥。另外，另一方面，對擴散劑還總是存在有如下的要求在涂布于半導體基板表面時可以形成正確的涂膜形狀(圖案)，即，提高涂膜形成性；可以均勻地擴散到半導體基板的給定的區域而將擴散區域的電阻值降低為所需的值，即，提高擴散性。
本發明是基于發明人的此種認識而完成的，其目的在于，提供具有優異的涂膜形成性、擴散性并且可以適合在絲網印刷法或輥涂印刷法采用的擴散劑組合物、使用該擴散劑組合物的雜質擴散層的形成方法、以及太陽能電池。解決課題的手段為了解決上述問題，本發明的一個實施方式是擴散劑組合物，該擴散劑組合物是向半導體基板的雜質擴散成分的印刷中所用的擴散劑組合物，其特征在于，含有雜質擴散成分(A)、在低于雜質擴散成分(A)開始熱擴散的溫度的溫度下熱分解而消失的粘合劑樹月旨(B)、SiO2微粒(C)和包含沸點為100°C以上的有機溶劑(Dl)的有機溶劑(D)。根據該實施方式，可以獲得具有優異的涂膜形成性、擴散性并且可以適合在絲網印刷法或輥涂印刷法中采用的擴散劑組合物。本發明的其他實施方式是雜質擴散層的形成方法，該雜質擴散層的形成方法的特征在于，包括印刷上述實施方式的擴散劑組合物而形成涂膜的涂膜形成工序、和使擴散劑組合物的雜質擴散成分(A)向半導體基板擴散的擴散工序。根據該實施方式，可以更高精度地形成雜質擴散層。本發明的另一個實施方式是太陽能電池，該太陽能電池的特征在于，具備利用上述實施方式的雜質擴散層的形成方法形成了雜質擴散層的半導體基板。根據該實施方式，可以獲得可靠性更高的太陽能電池。發明效果根據本發明，可以提供具有優異的涂膜形成性、擴散性并且可以適合在絲網印刷法或輥涂印刷法采用的擴散劑組合物、使用該擴散劑組合物的雜質擴散層的形成方法、以及太陽能電池。


圖1 (A) 圖1 (D)是用于說明實施方式的包括雜質擴散層的形成方法的太陽能電池的制造方法的工序剖面圖。圖2(A) 圖2(D)是用于說明實施方式的包括雜質擴散層的形成方法的太陽能電池的制造方法的工序剖面圖。
具體實施例方式下面，與優選的實施方式一起對本發明進行說明。實施方式并不限定發明，而是例示，實施方式中記述的所有的特征或其組合不一定是發明的本質性的內容。本實施方式的擴散劑組合物是向半導體基板的雜質擴散成分的印刷中所用的擴散劑組合物，含有雜質擴散成分(A)、粘合劑樹脂(B)、SiO2微粒(C)、和有機溶劑(D)。下面，對本實施方式的擴散劑組合物的各成分進行詳細說明。《雜質擴散成分(A)》雜質擴散成分(A)是普遍作為摻雜劑在太陽能電池的制造中所用的化合物。雜質擴散成分(A)是包含V族(第15族)元素的化合物的N型的雜質擴散成分、或者包含 III族(第13族)元素的化合物的P型的雜質擴散成分，在形成太陽能電池的電極的工序中，可以在半導體基板內形成N型或P型的雜質擴散層(雜質擴散區域)。包含V族元素的化合物的N型的雜質擴散成分在形成太陽能電池的電極的工序中，可以在P型的半導體基板內形成N型的雜質擴散層，可以在N型的半導體基板內形成N+型(高濃度N型)的雜質擴散層。作為雜質擴散成分㈧中所含的V族元素的化合物，例如可以舉出P205、Bi203、 Sb (OCH2CH3)3^ SbCl3> As(OC4H9)3等，在雜質擴散成分㈧中包含1種以上的這些的化合物。 另外，包含III族元素的化合物的P型的雜質擴散成分在形成太陽能電池的電極的工序中， 可以在N型的半導體基板內形成P型的雜質擴散層，可以在P型的半導體基板內形成P+型 (高濃度P型)的雜質擴散層。作為雜質擴散成分(A)中所含的III族元素的化合物，例如可以舉出氏03、Al2O3等，在雜質擴散成分(A)中包含1種以上的這些化合物。雜質擴散成分(A)的添加量可以根據形成于半導體基板的雜質擴散層的層厚等適當地調整。另外，雜質擴散成分㈧的添加量相對于雜質擴散成分(A)、粘合劑樹脂(B)、 以及SiO2微粒(C)的固體成分的總質量(在將固體成分設為100的情況下)，優選為5 60質量％，更優選為15 50質量％。如果雜質擴散成分(A)的添加量為5質量％以上，則可以獲得更為良好的擴散性，如果雜質擴散成分(A)的添加量為60質量％以下，則可以獲得更為穩定的溶液和良好的涂膜形成性。《粘合劑樹脂⑶》粘合劑樹脂(B)具有將雜質擴散成分(A)良好地分散的特性。由此，粘合劑樹脂 (B)使雜質擴散成分(A)均勻地分散于擴散劑組合物中，這樣就起到使雜質擴散成分(A)均勻地分散于半導體基板表面的作用。粘合劑樹脂(B)是在低于雜質擴散成分(A)開始熱擴散的溫度的溫度下熱分解而消失的樹脂。由此，在雜質擴散成分(A)的熱擴散時，在半導體基板表面不會殘留碳，這樣就可以避免隨著雜質擴散成分(A)的熱擴散、碳向半導體基板內擴散而無法獲得所需的電阻值、或產生電阻值的不均的情況。S卩，根據此種粘合劑樹脂(B)，可以提高擴散劑組合物的擴散性，可以將半導體基板的擴散劑組合物所擴散的區域中的電阻值精度優良地調整為所需的值。這里，前述的所謂“開始熱擴散的溫度”，是雜質擴散成分開始從半導體基板表面向半導體基板內進入時的溫度，例如是雜質擴散成分從半導體基板與擴散劑組合物的界面進入了約lOnm、優選為約 Inm時的溫度。另外，前述所謂“熱分解而消失”例如是指，粘合劑樹脂消失掉粘合劑樹脂總質量的約95%、優選為約99%、更優選為100%。作為粘合劑樹脂(B)，優選其熱分解溫度低于比雜質擴散成分(A)開始熱擴散的溫度低200°C的溫度的樹脂、或者熱分解溫度低于400°C的樹脂。另外，作為粘合劑樹脂 (B)，優選在加熱溫度500°C下80質量％以上熱分解的樹脂。這樣的話，就可以更加可靠地避免在雜質擴散成分(A)的熱擴散時存在碳殘渣的狀態。這里，前述“熱分解溫度”是粘合劑樹脂的質量開始減少時的溫度，例如是粘合劑樹脂的質量減少了粘合劑樹脂總質量的約 5%、優選約時的溫度。另外，粘合劑樹脂(B)優選為非硅系樹脂。在粘合劑樹脂(B)為硅系樹脂的情況下，在附著于絲網印刷機或輥涂機的印刷版上的擴散劑組合物干燥時，會有擴散劑組合物粘連在印刷版上的情況。為了去掉粘連在印刷版上的擴散劑組合物，需要使用氫氟酸(HF) 清洗印刷版，該情況下，附著于印刷版上的氫氟酸有可能附著于印刷機的金屬部件等上而將這些金屬部件腐蝕掉。另外，氫氟酸是劇毒物，因此與擴散劑組合物的除去操作相伴的危險性增大。與之不同，通過用非硅系樹脂來構成粘合劑樹脂(B)，就可以用丙酮、異丁醇等有機溶劑清洗在印刷版上干燥了的擴散劑組合物。所以，本實施方式的擴散劑組合物的處置十分容易。優選粘合劑樹脂(B)包含丙烯酸系樹脂。另外，粘合劑樹脂(B)中所含的丙烯酸系樹脂優選為具有縮丁醛基的樹脂。作為粘合劑樹脂(B)的具體例，可以舉出由甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸異丁酯(i-BMA)、甲基丙烯酸叔丁酯(t_BMA)、丙烯酸、丙烯酸乙酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸羥乙酯、丙烯酸羥丙酯、丙烯酸異丁酯、 甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸羥丙酯等聚合性單體構成的丙烯酸樹脂等。粘合劑樹脂(B)的添加量相對于雜質擴散成分(A)、粘合劑樹脂(B)、以及SiO2微粒(C)的固體成分的總質量，優選為5 60質量％，更優選為15 50質量％。如果粘合劑樹脂(B)的添加量為5質量％以上，則涂膜形成性更為良好而可以形成均勻的涂膜(印刷膜)，這樣就可以獲得良好的擴散性。如果粘合劑樹脂⑶的添加量為60質量％以下，則可以獲得更為穩定的溶液和良好的擴散性。《Si&微粒(C)》SiO2微粒(C)被作為填充劑添加，利用S^2微粒(C)的添加可以提高雜質擴散成分㈧與粘合劑樹脂⑶的相溶性。如果雜質擴散成分㈧與粘合劑樹脂⑶的相溶性提高，則可以將雜質擴散成分(A)更加均勻地涂布在半導體基板表面，其結果是，可以使雜質擴散成分(A)更加均勻地向半導體基板擴散。由此，利用SiO2微粒(C)，可以提高擴散劑組合物的擴散性。對于SiO2微粒(C)的大小，優選平均粒徑為約Iym以下。作為SW2微粒(C)的具體例，可以舉出熱解法二氧化硅等。SW2微粒(C)的添加量相對于雜質擴散成分(A)、粘合劑樹脂(B)、以及SiO2微粒(C)的固體成分的總質量，優選為5 60質量％，更優選為15 50質量％。如果SiO2微粒(C)的添加量為5質量％以上，則可以獲得更為穩定的溶液，可以獲得更為良好的擴散性。如果SiO2微粒(C)的添加量為60質量％以下，則可以獲得更為良好的涂膜形成性，可以獲得更為良好的擴散性。而且，在不添加SiO2微粒(C)的情況下，溶液很難穩定，另外涂膜形成斑點花紋而難以獲得良好的擴散性。《有機溶劑⑶》有機溶劑⑶含有沸點為100°C以上的有機溶劑(Dl)。由于有機溶劑(Dl)的沸點為100°C以上，因此可以抑制擴散劑組合物的干燥。由此，在向輥涂印刷法或絲網印刷法中所用的印刷版上涂布擴散劑組合物時，可以避免擴散劑組合物在印刷版上干燥而粘連。所以，通過含有有機溶劑(D)，可以防止在印刷在半導體基板上的涂膜中產生印刷飛白。即，利用有機溶劑(D)來提高擴散劑組合物的涂膜形成性。有機溶劑(D)優選以相對于有機溶劑 (D)的總質量達到10質量％以上的方式含有有機溶劑(Dl)。在相對于有機溶劑(D)而言的有機溶劑(Dl)的含量低于10質量％的情況下，所得的干燥抑制効果小，有可能在形成于半導體基板表面的涂膜中產生印刷飛白。作為有機溶劑(Dl)，可以舉出乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二
醇單丁醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇二丙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單苯醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇二乙醚、三丙二醇單甲醚、三丙二醇單乙醚、三丙二醇二甲醚、三丙二醇二乙醚、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、乙二醇單苯醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸酯、二乙二醇單苯醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、2-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、4-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-乙基-3-甲氧基丁基乙酸酯、2-乙氧基丁基乙酸酯、4-乙氧基丁基乙酸酯、4-丙氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲氧基戊基乙酸酯、4-甲氧基戊基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯、 4-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯、甲基異丁基酮、乙基異丁基酮、環己酮、丙酸丙酯、丙酸異丙酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乙基-3-甲氧基丙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、乙基-3-丙氧基丙酸酯、丙基-3-甲氧基丙酸酯、異丙基-3-甲氧基丙酸酯、乙酸丁酯、乙酸異戊酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、乳酸乙基己酯、芐基甲基醚、芐基乙基醚、二己基醚、乙酸芐酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、Y-丁內酯、苯、 甲苯、二甲苯、環己酮、丁醇、異丁醇、3-甲基-3-甲氧基丁醇、己醇、環己醇、乙二醇、二乙二醇、二丙二醇、甘油、松油醇、萜品醇、二丙二醇單甲醚等。另外，作為有機溶劑(D)，可以舉出上述的有機溶劑(Dl)、與乙醇、異丙醇、甲乙酮、丙酮、乙酸乙酯、甲醇、正己烷、環己烷等的混合物。擴散劑組合物中所含的金屬雜質的濃度優選為500ppm以下。這樣，就可以抑制因含有金屬雜質而產生的光電動勢效應的效率的降低。另外，本實施方式的擴散劑組合物也可以作為其他的添加劑含有普通的表面活性劑、消泡劑等。而且，雖然相對于擴散劑組合物的總質量而言的固體成分的比例(固體成分濃度)可以根據印刷方法適當地變更，然而優選為5 90質量％。《雜質擴散層的形成方法、以及太陽能電池的制造方法》參照圖1及圖2，對在半導體基板上使用輥涂印刷法或絲網印刷法形成雜質擴散層的方法、和具備由此形成了雜質擴散層的半導體基板的太陽能電池的制造方法進行說明。圖I(A) 圖1(D)、以及圖2 (A) 圖2(D)是用于說明包含實施方式的雜質擴散層的形成方法的太陽能電池的制造方法的工序剖面圖。而且，雖然在這里以在P型的半導體基板中形成N型的雜質擴散層的方法為例進行說明，然而并不特別限定于此，例如也可以在N型的半導體基板中形成P型的雜質擴散層。本實施方式的雜質擴散層的形成方法包括在半導體基板上印刷含有雜質擴散成分(A)的上述的擴散劑組合物而形成涂膜的工序、和使擴散劑組合物中的雜質擴散成分 (A)向半導體基板擴散的工序。首先，如圖I(A)所示，準備硅基板等P型的半導體基板1。此后，如圖I(B)所示， 使用周知的濕式蝕刻法，在半導體基板1的一方的主表面，形成具有微細的凹凸結構的織構部la。利用該織構部la，防止半導體基板1表面的光的反射。接下來，如圖I(C)所示， 在半導體基板1的織構部Ia側的主表面，涂布含有N型的雜質擴散成分(A)的上述的擴散劑組合物2。擴散劑組合物2被利用輥涂印刷法或者絲網印刷法涂布于半導體基板1的表面。 艮口，在輥涂印刷法的情況下，通過向設于周知的輥涂機中的印刷輥中填充擴散劑組合物2，使半導體基板1通過印刷輥和與印刷輥相對配置的輥子之間，而向半導體基板1上印刷擴散劑組合物2。另外，在絲網印刷法的情況下，通過向設于周知的絲網印刷機中的絲網上涂布擴散劑組合物2，將擴散劑組合物2用橡皮滾子向半導體基板1的表面壓出，而向半導體基板1上印刷擴散劑組合物2。在像這樣形成涂膜后，使用烤爐等周知的機構使所涂布的擴散劑組合物2干燥。然后，如圖I(D)所示，將涂布有擴散劑組合物2的半導體基板1放置于電爐內而燒成。燒成之后，在電爐內使擴散劑組合物2中的N型的雜質擴散成分(A)從半導體基板 1的表面向半導體基板1內擴散。而且，也可以取代電爐，而利用慣用的激光器的照射來加熱半導體基板1。像這樣，N型的雜質擴散成分(A)就會向半導體基板1內擴散而形成N型雜質擴散層3。然后，如圖2(A)所示，利用周知的蝕刻法，除去擴散劑組合物2。此后，如圖2(B) 所示，使用周知的化學氣相生長法(CVD法)，例如等離子體CVD法，在半導體基板1的織構部Ia側的主表面，形成由硅氮化膜(SiN膜)構成的鈍化膜4。該鈍化膜4也作為防反射膜發揮作用。然后，如圖2(C)所示，通過絲網印刷銀(Ag)糊劑，而在半導體基板1的鈍化膜4 側的主表面上將表面電極5進行圖案形成。為了提高太陽能電池的效率，例如以梳形圖案等形成表面電極5。另外，通過絲網印刷鋁(Al)糊劑，而在半導體基板1的另一方的主表面形成背面電極6。然后，如圖2(D)所示，在將形成有背面電極6的半導體基板1放置于電爐內而燒成后，使形成背面電極6的鋁向半導體基板1內擴散。這樣，就可以降低背面電極6側的電阻。利用以上的工序，可以制作出本實施方式的太陽能電池10。如上說明所示，本實施方式的擴散劑組合物含有雜質擴散成分(A)、在低于雜質擴散成分(A)開始熱擴散的溫度的溫度下熱分解而消失的粘合劑樹脂(B)、SiO2微粒(C)、和包含沸點為100°C以上的有機溶劑(Dl)的有機溶劑(D)。由此，本實施方式的擴散劑組合物在雜質擴散成分(A)的熱擴散時基本上沒有碳殘渣，具有高擴散性，并且不容易干燥，因此印刷飛白也很少，具有高涂膜形成性。另外，本實施方式的擴散劑組合物即使干燥了，也可以用清洗用的有機溶劑簡單地除去，因此可以適用于絲網印刷法或輥涂印刷法中。另外， 在使用該擴散劑組合物形成雜質擴散層的情況下，可以更高精度地形成雜質擴散層。此外， 由于通過使用該擴散劑組合物可以形成更高精度的涂膜，因此可以提高太陽能電池的可靠性。另外，在作為粘合劑樹脂(B)，使用了具有低于比雜質擴散成分㈧開始熱擴散的溫度低200°C的溫度的熱分解溫度的樹脂，或者使用具有低于400°C的熱分解溫度的樹脂的情況下，可以進一步降低在雜質擴散成分(A)開始熱擴散時存在碳殘渣的可能性，從而可以進一步提高擴散劑組合物的擴散性。另外，在粘合劑樹脂(B)是非硅系樹脂的情況下， 可以用毒性低的有機溶劑很容易地清洗除去，即可以提高裝置清洗性。此外，在有機溶劑⑶以相對于有機溶劑⑶的總質量達到10質量％以上的方式含有有機溶劑(Dl)的情況下，可以進一步降低產生印刷飛白的可能性，從而可以進一步提高擴散劑組合物的涂膜形成性。另外，在雜質擴散層的形成方法、以及太陽能電池的制造方法中，在使用了輥涂印
8刷法或者絲網印刷法的情況下，可以將雜質的擴散區域選擇性地設于所需的場所。由此，與以往的方法相比，不需要復雜的工序，另外，可以抑制擴散劑組合物的消耗。這樣，就可以壓縮太陽能電池的制造成本。本發明并不限定于上述的實施方式，也可以基于本領域技術人員的知識添加各種設計變更等變形，此種添加了變形的實施方式也包含于本發明的范圍中。利用上述的實施方式與以下的變形例的組合產生的新的實施方式兼具所組合的實施方式及變形例各自的效果。雖然在上述的實施方式中，利用輥涂印刷法或者絲網印刷法在半導體基板上印刷擴散劑組合物，然而也可以采用旋轉涂布法、噴霧印刷法、噴墨印刷法、凸版印刷法、凹版印刷法等其他的印刷法。實施例下面，對本發明的實施例進行說明，然而這些實施例只不過是用于恰當地說明本發明的例示，對本發明沒有任何限定。(擴散劑組合物的制成)依照下述表1 4中記載的成分及含有比，將雜質擴散成分㈧、粘合劑樹脂⑶、 SiO2微粒(C)、以及有機溶劑(D)混合而使各成分均勻地分散，得到實施例1 17、以及比較例1 5的擴散劑組合物。[表 1]
權利要求
1.一種擴散劑組合物，是向半導體基板的雜質擴散成分的印刷中所用的擴散劑組合物，其特征在于，含有雜質擴散成分(A)、在低于所述雜質擴散成分(A)開始熱擴散的溫度的溫度下熱分解而消失的粘合劑樹脂⑶、SiO2微粒(C)、和包含沸點為100°C以上的有機溶劑(Dl)的有機溶劑(D)。
2.根據權利要求1所述的擴散劑組合物，其特征在于，所述粘合劑樹脂(B)的熱分解溫度低于比所述雜質擴散成分(A)開始熱擴散的溫度低 200°C的溫度。
3.根據權利要求1或2所述的擴散劑組合物，其特征在于， 所述粘合劑樹脂(B)的熱分解溫度低于400°C。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的擴散劑組合物，其特征在于， 所述粘合劑樹脂(B)是非硅系樹脂。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的擴散劑組合物，其特征在于， 所述粘合劑樹脂(B)含有丙烯酸系樹脂。
6.根據權利要求5所述的擴散劑組合物，其特征在于， 所述丙烯酸系樹脂具有縮丁醛基。
7.根據權利要求1至6中任一項所述的擴散劑組合物，其特征在于，所述有機溶劑(D)以相對于有機溶劑(D)的總質量達到10質量％以上的方式含有所述有機溶劑(Dl)。
8.一種雜質擴散層的形成方法，其特征在于， 包括在半導體基板上印刷權利要求1至7中任一項所述的擴散劑組合物而形成涂膜的涂膜形成工序、使所述擴散劑組合物的雜質擴散成分(A)向所述半導體基板擴散的擴散工序。
9.根據權利要求8所述的雜質擴散層的形成方法，其特征在于，在所述涂膜形成工序中，利用輥涂印刷法或者絲網印刷法，在半導體基板上印刷擴散劑組合物。
10.一種太陽能電池，其特征在于，具備利用權利要求8或9中所述的雜質擴散層的形成方法形成了雜質擴散層的半導體基板。
全文摘要
一種擴散劑組合物，含有雜質擴散成分(A)、在低于所述雜質擴散成分(A)開始熱擴散的溫度的溫度下熱分解而消失的粘合劑樹脂(B)、SiO2微粒(C)、和包含沸點為100℃以上的有機溶劑(D1)的有機溶劑(D)。一種雜質擴散層的形成方法，包括在半導體基板上印刷所述的擴散劑組合物而形成圖案的圖案形成工序，使所述擴散劑組合物的雜質擴散成分(A)向所述半導體基板擴散的擴散工序。以及一種太陽能電池，其具備利用所述的雜質擴散層的形成方法形成了雜質擴散層的半導體基板。
文檔編號H01L21/225GK102473613SQ20108003691
公開日2012年5月23日 申請日期2010年8月18日 優先權日2009年8月27日
發明者室田敦史, 平井隆昭, 谷津克也 申請人:東京應化工業株式會社