專利名稱：用于半導體制造中的真空吸嘴裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于半導體制造中的真空吸嘴裝置，特別涉及-種橡膠真空吸嘴裝置。
背景技術：
真空吸嘴在半導體制造中的作用是利用真空把小尺寸的芯片(如微米
級的LED芯片)吸起來，并且通過擺臂的移動放到指定的位置。真空吸嘴 被大量應用于芯片分類機，倒裝機以及一些封裝設備中，但是在使用過程 在，常常會有雜質堵塞在吸嘴孔，故真空吸嘴需要用壓縮空氣定期清理。
現在用的真空吸嘴主要有兩種 一種是電木吸嘴，這種吸嘴直接安裝 在擺臂上，通過螺絲固定，其缺點是材質較硬，容易在和芯片接觸時對芯 片表面造成不可回復的損傷另一種是橡膠吸嘴，其與吸嘴桿組合使用， 與電木吸嘴相比，它利用了具有柔軟質地的橡膠接觸芯片表面，緩沖了其 與芯片表面接觸瞬間的作用力，從而不會對芯片表面造成損傷。
但是現有的橡膠吸嘴是直接套接在吸嘴桿上，沒有添加鎖緊裝置，因 此在需要用壓縮空氣吹吸嘴孔進行橡膠吸嘴的清理時，由于被堵塞的吸嘴 孔排氣量很小，導致吸嘴內部氣壓較大，此時就會出現吸嘴位置發生移動 甚至被吹掉的現象。

實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題是提供一種用于半導體制造中,橡膠吸 嘴和吸嘴桿能卡合裝設的真空橡膠吸嘴裝置。
為解決上述技術問題，本實用新型的真空吸嘴裝置，采用一橡膠吸嘴 密封地套接到一吸嘴桿上裝配而成，吸嘴桿的一端連接擺臂，另一端伸向 橡膠吸嘴內形成套接，伸向橡膠吸嘴內的吸嘴桿部分頂端有一凸臺，其下
為一圓柱體，圓柱體側面對稱設置有兩突起；橡膠吸嘴內設有供圓柱體密 封容置的通孔，在通孔內壁兩側對稱設置有引導所述突起的兩凹槽，橡膠 吸嘴內的通孔和吸嘴桿的圓柱體相配合，吸嘴桿上的突起和橡膠吸嘴上的 凹槽在徑向相配合，且在橡膠吸嘴內凹槽下端設有一容置突起的圓柱孔， 該圓柱孔的半徑為吸嘴桿上圓柱體的半徑和橡膠吸嘴上的凹槽的深度之 和，圓柱孔下有--用于密封容置凸臺的空間裝設時，將吸嘴桿的套接一 端上突起對準橡膠吸嘴內的凹槽，并順著凹槽將吸嘴桿推進橡膠吸嘴內直 至兩者完全吻合，最后旋轉橡膠吸嘴使吸嘴桿上的突起卡合在橡膠吸嘴上 的圓柱孔中。
本實用新型，通過在吸嘴桿上的設置突起和橡膠吸嘴內設置引導該突 起的溝槽，并將吸嘴桿上的突起卡合在橡膠吸嘴的溝槽下的圓柱孔中，使 橡膠吸嘴和吸嘴桿不易分開。另外，吸嘴桿和橡膠吸嘴采用過盈配合，使 橡膠吸嘴和吸嘴桿能密封配合，延長裝置的使用時間。
以下結合附圖與具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明

圖1是本實用新型的吸嘴桿立體圖； 圖2是本實用新型的吸嘴桿側視圖； 圖3是圖2的B-B截面示意圖4是本實用新型的橡膠吸嘴立體圖5是本實用新型的橡膠吸嘴側視圖6是沿圖5的A-A截面示意圖圖7是本實用新型的吸嘴裝置組裝后側視圖8是本實用新型的吸嘴裝置旋轉前C-C截面示意圖9是本實用新型的吸嘴裝置旋轉后C-C截面示意圖。
具體實施方式
圖1至圖3為本實用新型的吸嘴桿示意圖，吸嘴桿可分為四段直徑不 同的同軸圓柱體形狀， 一端為與擺臂連接，另一端為與橡膠吸嘴套接，圖 l至圖3所示吸嘴桿下端與擺臂連接，即圓柱體34，為該吸嘴裝置與設備 擺臂連接部分，圓柱體34內部有一通孔36，為氣體通道；上端與橡膠吸 嘴套接部分，其頂端有一凸臺30,凸臺30下為一圓柱體32和另一圓柱 體33。圓柱體32側面對稱設置有兩突起35，該兩突起可位于圓柱體32 與凸臺連接一端，使突起35的平面和圓柱體32與凸臺30之間的平面對 齊。
圖4至圖6為本實用新型的橡膠吸嘴示意圖，如圖所示，上端圓柱體 部分10為與吸嘴桿套接部分，其長度為吸嘴桿上圓柱體32和凸臺30的 長度之和，下端圓錐體部分20為與芯片接觸部分。圓柱體部分10的內部 有通孔，該通孔由三個直徑不同的圓柱孔組成，從上到下依次為圓柱孔 11、圓柱孔12和圓柱孔13。在圓柱孔11的側壁兩邊相對應位置各設有 一溝槽15，引導圓柱體32上的兩突起35,溝槽15的長度由突起35在圓 柱體32上的位置決定，溝槽15下端連接有圓柱孔12，其半徑為圓柱孔
11的半徑和溝槽15的深度之和，圓柱孔11、兩溝槽15和圓柱孔12與 吸嘴桿上圓柱體32和圓柱體32上的兩突起35相配合,圓柱孔12的高度 與突起35的高度相同，圓柱孔12為容置安裝后的圓柱體32上的突起35 和突起35所在的部分圓柱體32，偉突起35卡合在圓柱孔12中，以鎖緊 吸嘴。而圓柱孔13與吸嘴桿上凸臺30的相配合，為了防止工作時空氣進 入橡膠吸嘴，起到密封的作用。圓錐體20部分，有一個直接吸取芯片的 小孔14,此孔的直徑大小可根據芯片尺寸來具體設計， 一般與芯片尺寸 的大小成正比關系。
圖7至圖9給出了本實用新型的裝配示意圖。將吸嘴桿上的兩突起 35對準橡膠吸嘴內的溝槽15和圓柱體11，將吸嘴桿順著溝槽15推進橡 膠吸嘴內直至兩者高度完全吻合(見圖8),最后旋轉橡膠吸嘴使兩突起 35順著圓柱孔12旋轉，使兩突起35和圓柱孔12在垂直方向上相吻合(見 圖9)。本實用新型的橡膠吸嘴裝置利用橡膠吸嘴內的圓柱孔12和吸嘴桿 上的兩突起35相吻合將兩者鎖緊，避免了在對橡膠吸嘴進行清理過程中 帶來的吸嘴脫落問題。本實用新型的裝置在具體制備過程中，為達到一個 較好的密封效果，可通過采用過盈配合來實現。
本實用新型的吸嘴桿上的兩突起35，也可對稱地分布在圓柱體32側 面的任一高度位置，同時將溝槽的長度作相應變化，橡膠吸嘴上用于容置 突起35的圓柱孔12設置在相對應的高度位置，而在圓柱孔12下加設一 個直徑與圓柱孔11相同的圓柱孔，具體尺寸取決于突起的位置，使橡膠 吸嘴和吸嘴桿能密封裝配。本實用新型的吸嘴桿的圓柱體33、圓柱體32 和凸臺30內有通孔31與橡膠吸嘴內的通孔14和通孔36相連通。
權利要求1、一種用于半導體制造中的真空吸嘴裝置，其通過一橡膠吸嘴密封地套接到一吸嘴桿上裝配而成，所述吸嘴桿的一端連接擺臂，另一端伸向橡膠吸嘴內形成密封套接，所述橡膠吸嘴一端為圓錐體部分，另一端為與所述吸嘴桿套接的圓柱體部分，其特征在于所述伸向橡膠吸嘴內的吸嘴桿部分頂端有一凸臺(30)，其下為一圓柱體(32)，所述圓柱體側面對稱設置有兩突起(35)，所述橡膠吸嘴內設有供所述圓柱體(32)密封容置的圓柱孔(11)，在所述圓柱孔(11)的兩側對稱設置有引導所述突起的兩凹槽(15)，所述圓柱孔(11)和所述圓柱體(32)相配合，所述突起(35)和所述凹槽(15)在徑向相配合，且在橡膠吸嘴內所述凹槽下端設有一圓柱孔(12)，所述圓柱孔(12)的半徑為所述圓柱孔(11)的半徑和所述一個凹槽(15)的深度之和，用于容置所述兩突起(35)和突起所在部分圓柱體(32)，裝設時使吸嘴桿上的所述突起(35)卡合在橡膠吸嘴的所述容置突起的圓柱孔(12)中，所述圓柱孔(12)下有一與所述凸臺(30)相配合的圓柱孔(13)。
2、 按照權利要求l所述的真空吸嘴裝置，其特征在于所述的突起(35) 呈半圓柱體狀。
3、 按照權利要求1或2所述的真空吸嘴裝置，其特征在于所述橡膠吸 嘴和吸嘴桿為過盈配合。
專利摘要本實用新型公開了一種用于半導體制造中的真空吸嘴裝置，其通過一橡膠吸嘴密封地套接到一吸嘴桿上裝配而成，吸嘴桿的一端連接擺臂，另一端伸向橡膠吸嘴內形成密封套接，通過在吸嘴桿上設兩突起，而在橡膠吸嘴內相應位置處設置引導突起的凹槽，及在該凹槽下端設置容置突起的空間，使突起卡合在這一空間里以鎖緊吸嘴，避免其在清理時脫落。該真空吸嘴裝置可廣泛應用于半導體器件制備過程中。
文檔編號H01L21/67GK201060863SQ20072014408
公開日2008年5月14日 申請日期2007年6月29日 優先權日2007年6月29日
發明者陳偉勇 申請人:上海藍光科技有限公司