導電電極的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種導電電極，尤指一種以包含有易蝕刻性質的黑化層及極薄的耐候層所制成的導電電極，降低導電電極的線路導線所造成的光線干涉條紋現象，增加用戶視見于產品的舒適性，同時大幅度地降低于制造過程出現的側蝕現象，進而達到穩定導電電極的線徑。
【背景技術】
[0002]隨著電子信息產品朝輕薄短小化的方向發展，半導體制造方法亦朝著高密度及自動化生產的方向前進，而習知的具有觸控感應面的電子產品或設備，隨著其觸控感應面或觸控面板產品的尺寸由小而逐漸增大，導電電極的制成材料由原本普遍使用的氧化銦錫(ΙΤ0)轉變成為金屬導體電極。
[0003]實際上一般金屬導電電極10的結構與制程，請參閱圖1及圖2所示，通常為步驟
(1)透過至少一附著層11(又稱作接著層)將欲制成金屬導電電極10主體的金屬導電電極層附著于基材12上，使金屬導電電極10不易由基板上脫落，步驟(2)而后將至少一耐候層
13(抗蝕層)覆合于金屬導電電極10上。
[0004]另外，請參閱圖3所示，所述附著層11設計為兩層，分別為一與所述基材12結合的中介層110及一與所述金屬導電電極10結合的導電基底層111。
[0005]請再參閱圖1所示，步驟(3)接著再利用蝕刻液體進行蝕刻程序(wet etching)成為金屬導電電極10電極線路14，便完成初步金屬導電電極10電極線路14的制造，另外，后續于最終感測電極(Sensor)產品完成后，請參閱圖2所示，本發明還能夠再以保護膠膜(0CA) 16進行電極線路14的全部表面鋪設作為一保護作用。
[0006]而導電電極的設計上為了使構成面板基底的導電電極不被使用者以眼睛明顯地察覺到其存在，亦即不讓金屬導電電極10被使用者視認出，而使得目前該產業中的研發人員朝向將金屬導電電極10的線徑寬度制成極細作為其目標
[0007]再更進一步說明，習知的感測電極(Sensor)的電極線路14構造是透過一具有耐蝕刻性質的耐候層13進行保護能夠做為導電的金屬導電電極10部分，進行一蝕刻程序時，濕式蝕刻是等向性的(Isotropic)，而且因于耐候層13為一耐蝕刻材料，造成耐候層13以及金屬導電電極10兩者之間對于蝕刻液體的蝕刻速率差距甚大，又，針對步驟(2)所形成的耐候層13的分布通常為一厚度不均勻樣態，因此，當蝕刻溶液做縱向蝕刻時，恐于蝕刻過程當中的金屬導電電極10發生一嚴重的側蝕現象15。
[0008]請再參閱圖1所示，換句話說，亦即是金屬導電電極10的左右側面部份，尤其是指寬度設計小于5 μ m以及厚度設計大于0.3 μ m范圍的金屬導電電極10線徑，更容易發生一側蝕現象15，導致金屬導電電極10的蝕刻總面積比例過大、蝕刻局部不均所造成的電極線路14線徑的阻抗數值太大，更甚者使電極線路14發生一斷線的結果，使制造廠商所出產的金屬導電電極10的良率及質量不易控管，實為目前極細的導電電極于發展制作上的炙手根本問題。
[0009]有據于前述觸控面板用金屬導電電極10的不足缺失，本發明為達到導電電極不被使用者以眼睛明顯地察覺到其存在，以及改善導電電極的側面蝕刻現象15所造成習知導電電極的線徑大小不一而最終降低導電電極產品良率等問題，實為本發明所設計的目的。

【發明內容】

[0010]本發明的主要目的在于導電電極提供一種具有至少一易蝕刻性質的黑化層的結構設計，在以蝕刻技術制成導電電極的情況下，降低導電電極于蝕刻程序中嚴重的側向蝕刻現象，提升導電電極產品的生產良率，確保線徑寬度能夠依據預定設計為極細線徑，增加觸控面板光源的光線穿透率及提高色彩飽和度。
[0011]本發明的另一目的在于減少耐候層的厚度，并使耐候層的厚度相對于習知為偏薄或者是極薄樣態，由減少厚度的耐候層及易蝕刻性質的黑化層共同降低導電電極于蝕刻程序中嚴重的側向蝕刻現象，提升導電電極產品的生產良率，確保線徑寬度。
[0012]本發明的另再一目的在于導電電極具有至少一黑化層的結構設計，能夠避免人眼直接視見觸控面板下的導電電極的存在，也避免人眼能夠視見觸控面板接口表面的干涉條紋現象(Moire)產生，以及減少色偏現象等效果，提供使用者一舒適的人眼能夠視觸控操作接口。
[0013]為實現上述目的，本發明采用的技術方案是:
[0014]一種導電電極，其特征在于包含:
[0015]一基材層；
[0016]至少一附著層，具有布設于所述基材層表面的線路圖案；
[0017]一導電電極層，形成于所述附著層表面，并對應所述線路圖案形成一導電線路；
[0018]一第一黑化層，對應所述線路圖案并形成于所述導電電極層表面，并由易蝕刻性質的材料所制成；以及
[0019]一耐候層，形成于所述第一黑化層表面，并由耐蝕刻性質的材料所制成；
[0020]其中，所述耐候層的厚度小于所述第一黑化層，所述第一黑化層由具有深色顏色的材料所制成，使光線被所述第一黑化層吸收而無法進入所述導電電極層，形成一能夠避免使用者直接視察到所述導電電極層的遮蔽面。
[0021]所述的導電電極，所述耐候層進一步由具有深色顏色的材料所制成，與所述第一黑化層共同形成一能夠避免使用者直接視察到所述導電電極層的遮蔽面。
[0022]所述的導電電極，所述導電線路呈現一網格狀結構。
[0023]所述的導電電極，所述附著層包含一位于所述基材層表面的中介層、一形成于所述中介層表面的導電基底層以及一位于所述導電基底層表面的抗氧化層。
[0024]所述的導電電極，所述附著層包含一位于所述基材層表面的第二黑化層、一形成于所述第二黑化層表面的中介層、以及一形成于所述中介層表面的導電基底層。
[0025]所述的導電電極，所述附著層包含一位于所述基材層表面的中介層、一位于所述中介層表面的第二黑化層、一形成于所述第二黑化層表面的導電基底層以及一位于所述導電基底層表面的抗氧化層。
[0026]所述的導電電極，所述附著層是由金屬、金屬氧化物、高分子材料或者是其復合材料其中一種所制成。
[0027]所述的導電電極，所述金屬是選自于鎢、鎳、鉻、銅、釩、鑰、錫、鋅、鈷、鐵、鈦、鈮、鋁或其合金其中一種所制成，所述金屬氧化物分別是由鎢、鎳、鉻、銅、釩、鑰、錫、鋅、鈷、鐵、鈦、鈮、鋁或其合金其中一種氧化所制成。
[0028]所述的導電電極，所述耐候層是由石墨、金屬、金屬氧化物、能夠導電的高分子材料或者是其復合材料其中一種所制成。
[0029]所述的導電電極，所述金屬是選自于鎢、鎳、鉻、銅、鋁、銀、鈦、鑰、錫、鋅、鈷、鐵、鈮或其合金其中一種所制成，所述金屬氧化物分別是由鎢、鎳、鉻、銅、鋁、銀、鈦、鑰、錫、鋅、鈷、鐵、鈮或其合金其中一種氧化所制成。
[0030]所述的導電電極，所述附著層的厚度介于0.01 μπι?1 μ m，所述導電電極層的厚度介于0.1 μ m?6 μ m,所述耐候層的厚度介于2nm?50nm,而所述第一黑化層的厚度介于0.01 μ m ?1 μ m。
[0031]其中，設計上為了達到減少所述耐候層的厚度成為極薄，以減少蝕刻發生側蝕現象，本發明的所述耐候層的厚度小于所述第一黑化層，也就是說，所述耐候層的厚度能夠設計成相對小于或者是極小于所述黑化層的厚度，所述第一黑化層的厚度與習知的厚度相同。
[0032]而且，所述第一黑化層由具有深色顏色的材料所制成，使光線于所述耐候層表面及所述第一黑化層表面不會發生光線反射、折射及色偏的現象，同時，使光線被所述第一黑化層吸收而無法進入所述導電電極層，形成一能夠避免使用者直接視察到所述導電電極層的遮蔽面。
[0033]由前述說明可知，本發明的特點在于:耐候層的厚度設計為相對小于或者是相對極小于第一黑化層的厚度；再者，透過黑化層及帶有深色顏色(黑化性質)的耐候層的設計，將導電線路進行完整的遮蔽，大幅降低導電電極表面產生干涉條紋的現象，藉此完成一能夠供人眼睛舒適地可視的觸控操作接