一種溫控設備的冷卻控制系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及冷卻控制系統，具體說是一種溫控設備的冷卻控制系統。
【背景技術】
[0002]目前在對半導體制程進行溫度控制時，主要使用的是專用的溫控設備，主要應用于ETCH(刻蝕)、PVD (物理氣相沉積)、CVD (化學氣相沉積)等半導體加工工藝過程。所述溫控設備在工作時，多數采用廠務水冷卻循環系統進行冷卻。廠務水冷卻循環系統通常是由廠務水供水設備提供恒溫的廠務水，廠務水供水設備通過廠務水供水管連接板式換熱器，流入板式換熱器的廠務水對溫控設備中流經負載的循環液進行冷卻，冷卻后溫度升高的廠務水再通過廠務水回水管回到廠務水供水設備中進行降溫，之后再通過廠務水供水管流入板式換熱器，如此往復，實現對循環液的冷卻。
[0003]現有的廠務水冷卻循環系統針對溫控設備負載的功率，會提供一恒定不變的流量，同時還需要溫控設備本身也使用一功率不小于負載功率的加熱器，以保證溫控設備無論是處在空載狀態還是加載狀態都能夠穩定運行。因此，在實際生產中，隨著負載功率的增大，溫控設備上的加熱器功率也需相應增大。這就導致了以下問題的出現:
[0004]加熱器功率的增大會導致整個溫控設備的運轉電流增大，在增加溫控設備能耗的同時，也使溫控設備的運行過程存在安全隱患；同時，增大加熱器功率也需要增加其自身體積，導致整個溫控設備體積變大，使溫控設備在使用空間上受到限制。
【實用新型內容】
[0005]針對現有技術中存在的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種溫控設備的冷卻控制系統，通過控制調節廠務水流量，可以使用小功率加熱器，實現對大功率負載的控制，避免因加熱器功率過大而導致的溫控設備運轉電流、體積的增大，從而減小溫控設備能耗，提高溫控設備運行的安全穩定性，同時降低溫控設備在使用空間上的限制。
[0006]為達到以上目的，本實用新型采取的技術方案是:
[0007]一種溫控設備的冷卻控制系統，包括廠務水供水設備1和板式換熱器4，廠務水供水設備1和板式換熱器4之間設有廠務水供水管2和廠務水回水管5，其特征在于:
[0008]至少在廠務水供水管2上設有用于控制廠務水流量的第一閥體3，
[0009]第一閥體3的控制信號線連接到溫控設備控制器6，第一閥體3的狀態由溫控設備控制器6進行控制。
[0010]在上述技術方案的基礎上，所述第一閥體3為兩位兩通電磁閥或電動兩通閥。
[0011]在上述技術方案的基礎上，所述第一閥體3為兩位三通電磁閥或電動三通閥。
[0012]在上述技術方案的基礎上，一段廠務水供水管連接廠務水供水設備出口和第一閥體3入口，另一段廠務水供水管連接第一閥體3出口和板式換熱器入口，板式換熱器出口連接廠務水回水管的一端，廠務水回水管的另一端連接廠務水供水設備入口。
[0013]在上述技術方案的基礎上，當溫控設備開始工作時，廠務水供水設備1也同時開始工作以提供恒溫的廠務水，廠務水通過廠務水供水管2流入第一閥體3入口；
[0014]若第一閥體3為兩位兩通電磁閥，則:當兩位兩通電磁閥關閉時，廠務水不參與冷卻；當兩位兩通電磁閥導通時，廠務水通過兩位兩通電磁閥出口流入板式換熱器4，參與冷卻以冷卻循環液，流過板式換熱器4的廠務水再經過廠務水回水管5流回廠務水供水設備1 ;
[0015]若第一閥體3為電動兩通閥，則:當電動兩通閥的開度減小時，通過電動兩通閥出口流向板式換熱器4的廠務水流量也減小；當電動兩通閥的開度增大時，通過電動兩通閥出口流向板式換熱器4的廠務水流量也增大，流過板式換熱器4的廠務水再經過廠務水回水管5流回廠務水供水設備1。
[0016]在上述技術方案的基礎上，若第一閥體3為兩位兩通電磁閥，則:兩位兩通電磁閥的狀態由溫控設備控制器6進行周期性控制，周期性調節流向板式換熱器4的廠務水流量大小，每周期內第一閥體3關閉時間越長，冷卻量越小，第一閥體3導通時間越長，冷卻量越大；
[0017]若第一閥體3為電動兩通閥，則:電動兩通閥的狀態由溫控設備控制器6根據預先設定好的參數進行控制，第一閥體3的開度越小，冷卻量越小；第一閥體3的開度越大，冷卻量越大。
[0018]在上述技術方案的基礎上，一段廠務水供水管連接廠務水供水設備出口和第一閥體3入口，另一段廠務水供水管連接第一閥體3出口和板式換熱器入口，板式換熱器出口連接廠務水回水管的一端，廠務水回水管的另一端連接廠務水供水設備入口 ；
[0019]在第一閥體3和廠務水供水設備1之間的廠務水供水管2上，設有分流支管，分流支管連接至廠務水回水管5，
[0020]分流支管上設有第二閥體7，所述第二閥體7為能夠調節開度或快速進行通斷控制的兩通閥體。
[0021 ] 在上述技術方案的基礎上，第二閥體7可以為電磁閥、比例閥、節流閥、蝶閥、球閥或調節閥；
[0022]第二閥體7可以采用手動控制，或第二閥體7的控制信號線連接到溫控設備控制器6，溫控設備控制器6根據預先設定好的參數控制第二閥體7的狀態，
[0023]通過控制第二閥體7的狀態，使廠務水始終處于循環流動狀態，減少廠務水對管路的沖擊。
[0024]在上述技術方案的基礎上，一段廠務水供水管連接廠務水供水設備出口和第一閥體3入口 a，另一段廠務水供水管連接第一閥體3 —出口 c和板式換熱器入口，板式換熱器出口連接廠務水回水管的一端，廠務水回水管的另一端連接廠務水供水設備入口，第一閥體3另一出口 b通過管路連接到廠務水回水管。
[0025]在上述技術方案的基礎上，當溫控設備開始工作時，廠務水供水設備1也同時開始工作以提供恒溫的廠務水，廠務水通過廠務水供水管2流入第一閥體3入口 a ;
[0026]若第一閥體3為兩位三通電磁閥，則:當兩位三通電磁閥的出口 c關閉、出口 b導通時，廠務水不參與冷卻；當兩位三通電磁閥的出口 c導通、出口 b關閉時，廠務水通過兩位三通電磁閥出口 c流入板式換熱器4，參與冷卻，流過板式換熱器4的廠務水再經過廠務水回水管5流回廠務水供水設備1 ;
[0027]若第一閥體3為電動三通閥，則:當電動三通閥的出口 c開度減小，出口 b開度增大時，參與冷卻的廠務水流量減小；當電動三通閥的出口 c開度增大，出口 b開度減小時，參與冷卻的廠務水流量增大，流過板式換熱器4的廠務水再經過廠務水回水管5流回廠務水供水設備1 ;
[0028]通過溫控設備控制器6控制兩位三通電磁閥的通斷狀態或電動三通閥的開度，使廠務水始終處于循環流動狀態，避免廠務水對管路的沖擊。
[0029]本實用新型所述的溫控設備的冷卻控制系統，通過控制調節廠務水流量，可以使用小功率加熱器，實現對大功率負載的控制，避免因加熱器功率過大而導致的溫控設備運轉電流、體積的增大，從而減小溫控設備能耗，提高溫控設備運行的安全穩定性，同時降低溫控設備在使用空間上的限制，使溫控設備運行更節能、更可靠、應用范圍更廣范。
【附圖說明】
[0030]本實用新型有如下附圖:
[0031]圖1本實用新型實施例1的結構圖。
[0032]圖2本實用新型實施例2的結構圖。
[0033]圖3本實用新型實施例3的結構圖。
【具體實施方式】
[0034]以下結合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。
[0035]本實用新型所述的溫控設備的冷卻控制系統，包括:
[0036]廠務水供水設備1和板式換熱器4，
[0037]廠務水供水設備1和板式換熱器4之間設有廠務水供水管2和廠務水回水管5，
[0038]至少在廠務水供水管2上設有用于控制廠務水流量的第一閥體3，
[0039]第一閥體3的控制信號線連接到溫控設備控制器6，第一閥體3的狀態由溫控設備控制器6進行控制。
[0040]在上述技術方案的基礎上，如圖1、2所示，所述第一閥體3為兩位兩通電磁閥或電動兩通閥。或者，可如圖3所示，所述第一閥體3為兩位三通電磁閥或電動三通閥。
[0041]圖1所示實施例1中，一段廠務水供水管連接廠務水供水設備出口和第一閥體3入口，另一段廠務水供水管連接第一閥體3出口和板式換熱器入口，板式換熱器出口連接廠務水回水管的一端，廠務水回水管的另一端連接廠務水供水設備入口。
[0042]實施例1中，當溫控設備開始工作時，廠務水供水設備1也同時開始工作以提供恒溫的廠務水，廠務水通過廠務水供水管2流入第一閥體3入口；
[0043]若第一閥體3為兩位兩通電磁閥，則:當兩位兩通電磁閥關閉時，廠務水不參與冷卻；當兩位兩通電磁閥導通時，廠務水通過兩位兩通電磁閥出口流入板式換熱器4，參與冷卻以冷卻循環液，流過板式換熱器4的廠務水再經過廠務水回水管5流回廠務水供水設備1 ;
[0044]若第一閥體3為電動兩通閥，則:當電動兩通閥的開度減小時，通過電動兩通閥出口流向板式換熱器4的廠務水流量也減小；當電動兩通閥的開度增大時，通過電動兩通閥出口流向板式換熱器4的廠務水流量也增大，流過板式換熱器4的廠務水再經過廠務水回水管5流回廠務水供水設備1。
[0045]在上述技術方案的基礎上，實施例1中:若第一閥體3為兩位兩通電磁閥，則:兩位兩通電磁閥的狀態由溫控設備控制器6進行周期性控制(周期可為3?10s)，周期性調節流向板式換熱器4的廠務水流量大小，每周期內第一閥體3關閉時間越長，冷卻量越小，第一閥體3導通時間越長，冷卻量越大；
[0046]若第一閥體3為電動兩通閥，則:電動兩通閥的狀態(開度狀態)由溫控設備控制器6根據預先設定好的參數進行控制，第一閥體3的開度越小，冷卻量越小；第一閥體3的開度越大，冷卻量越大。
[0047]實施例1中，當溫控設備處于空載狀態時，減少廠務水流量大小，降低冷卻量；當溫控設備處于加載狀態時，增大廠務水流量大小，提高冷卻量，保證溫控設備無論處于何種狀態都能夠穩定運行，實現大幅度減小加熱器功率的目的。
[0048]圖2所示實施例2中，一段廠務水供水管連接廠務水供水設備出口和第一閥體3入口，另一段廠