一種光熱弱吸收測試系統的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種光熱弱吸收測試系統，應用于光學元件的吸收缺陷測試領域，所述光熱弱吸收測試系統包括離軸拋物鏡、樣品臺、探測器、探測光源以及多個泵浦光源，所述多個泵浦光源發出的泵浦光的波長不盡相同；所述多個泵浦光源分別發出的泵浦光經所述離軸拋物鏡反射后均聚焦到安裝在樣品臺上的待測樣品的預設待測點處，所述探測光源發出的探測光也聚焦到所述待測樣品的預設待測點處，透過所述待測樣品的探測光進入所述探測器，從而得到所述待測樣品對所述多個泵浦光源分別發出的泵浦光的吸收。本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統有效地實現了多個波長的泵浦激光共同作用時光學材料表面、亞表面及光學膜層的微弱吸收測試。
【專利說明】
一種光熱弱吸收測試系統
技術領域
[0001]本實用新型涉及光學元件的吸收缺陷測試領域，具體而言，涉及一種光熱弱吸收測試系統。
【背景技術】
[0002]光學元件表面、亞表面或膜層吸收缺陷對傳輸激光的微弱吸收，是目前學界公認的引發元件激光損傷的主要原因。獲得元件吸收缺陷對入射光的吸收大小及分布情況，對于評價元件加工水平、損傷性能等具有重要意義。光熱弱吸收的方法可以實現對元件吸收缺陷的無損探測，探測靈敏度高，能夠滿足對透明光學元件微弱吸收缺陷的檢測需求。在光學元件的實際應用中，很多元件并非工作在單波長激光的輻照之下，而是會同時傳輸多個波長的激光，比如倍頻晶體、激光增益介質、分色鏡等等。這些情況下，材料或膜層同時被多個波長的激光輻照，材料表面、亞表面或膜層中缺陷的吸收行為變得復雜，必然不同于單個波長激光輻照的情況。然而，目前的光熱弱吸收設備大部分是工作在單個栗浦波長模式下，無法完成多個波長的激光共同輻照下，材料表面、亞表面或膜層中的缺陷的微弱吸收測試。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種光熱弱吸收測試系統，以改善現有的光熱弱吸收設備無法實現多個波長的栗浦光共同輻照下，材料表面、亞表面或膜層中的缺陷對多個波長的栗浦光的微弱吸收測試的問題。
[0004]為了實現上述目的，本實用新型實施例采用的技術方案如下:
[0005]本實用新型實施例提供的一種光熱弱吸收測試系統，包括離軸拋物鏡、樣品臺、探測器、探測光源以及多個栗浦光源，待測樣品安裝在所述樣品臺上，所述多個栗浦光源發出的栗浦光的波長不盡相同;所述多個栗浦光源分別發出的栗浦光經所述離軸拋物鏡反射后均聚焦到所述待測樣品的預設待測點處，所述探測光源發出的探測光也聚焦到所述待測樣品的預設待測點處，透過所述待測樣品的探測光進入所述探測器。
[0006]本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統，利用離軸拋物鏡無色差的特點，通過離軸拋物鏡有效地實現了多個栗浦光源發出的激光束均聚焦到待測樣品的預設待測點處，進而通過檢測透過待測樣品的探測光的強度變化得到多個波長的栗浦激光共同輻照下，待測樣品的預設待測點處的微弱吸收情況，其中，預設待測點處可以設置于待測樣品的表面、亞表面或膜層中。因此，本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統相對于現有的工作在單個栗浦波長模式下的光熱弱吸收設備，可以實現多個波長的栗浦激光共同作用時光學材料表面、亞表面及光學膜層的微弱吸收測試，有助于評價工作在多個波長共同輻射下的光學元件如倍頻晶體、激光增益介質、分色鏡等的加工水平、損傷性能等。
[0007]本實用新型的其他特征和優點將在隨后的說明書闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本實用新型實施例而了解。本實用新型的目的和其他優點可通過在所寫的說明書、權利要求書、以及附圖中所特別指出的結構來實現和獲得。
【附圖說明】
[0008]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。通過附圖所示，本實用新型的上述及其它目的、特征和優勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。并未刻意按實際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。
[0009]圖1示出了本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統的結構示意圖。
[0010]其中，附圖標記分別為:
[0011 ]第一栗浦光源110;第一栗浦激光器111;第一光控制模塊112;第二栗浦光源120;第二栗浦激光器121;第二光控制模塊122;第三栗浦光源130;第三栗浦激光器131;第三光控制模塊132;光路調節模塊140;第一雙色鏡141;第二雙色鏡142;離軸拋物鏡150;探測光源210;整形會聚模塊220;反射鏡230;待測樣品300;樣品臺400;探測器500;濾波模塊510;光電轉換模塊520;信號分析模塊530。
【具體實施方式】
[0012]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0013]在光學元件的實際應用中，很多元件并非工作在單波長激光的輻照之下，而是會同時傳輸多個波長的激光，比如倍頻晶體、激光增益介質、分色鏡等等。這些情況下，材料或膜層同時被多個波長的激光輻照，材料表面、亞表面或膜層中缺陷的吸收行為變得復雜，必然不同于單個波長激光輻照的情況。鑒于此，本實用新型實施例提供了一種光熱弱吸收測試系統，有效地實現了多個波長的栗浦光共同輻照下，材料表面、亞表面或膜層中的缺陷對多個波長的栗浦光的微弱吸收測試。
[0014]如圖1所示，本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統包括:離軸拋物鏡150、樣品臺400、探測器500、探測光源210以及多個栗浦光源，待測樣品300安裝在所述樣品臺400上，所述樣品臺400用于調節所述待測樣品300的位置，以得到不同的預設待測點處待測樣品300對栗浦光的吸收情況。
[0015]優選的，所述預設待測點分布于所述待測樣品300的表面、亞表面或膜層中。其中，所述多個栗浦光源發出的栗浦光的波長不盡相同，可以根據用戶的實際需要選擇所需的栗浦光源，例如高功率激光系統通常涉及的波長1064nm(1053nm)、532nm、355nm(351nm)，或者光纖激光器常用的980nm(915nm)、1053nm，又或者是鈦寶石激光器的532nm、800nm等。
[0016]使用本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統測試待測樣品的預設待測點處材料的吸收特性時，首先調節栗浦光的光路，使得入射到離軸拋物鏡150上的所述多個栗浦光源分別發出的栗浦激光束的預設光軸重合。其中，所述預設光軸與離軸拋物鏡150的光軸平行或重合，從而使得所述多個栗浦光源分別發出的栗浦激光束經所述離軸拋物鏡150反射后均能聚焦到所述預設待測點處。同時，探測光源210發出的探測光也聚焦到該預設待測點處，且透過所述待測樣品300的探測光進入探測器500中。本實用新型實施例中，探測光源可以采用He-Ne激光器。所述探測光在所述預設待測點處的聚焦光斑面積大于所述多個栗浦光源分別發出的栗浦光在所述預設待測點處的聚焦光斑面積。
[0017]需要說明的是，為了使得探測光的聚焦光斑與經所述離軸拋物鏡150反射的栗浦光的聚焦光斑在所述預設待測點處重合，入射到待測樣品300上的栗浦光束與探測光束的夾角大于等于5度小于等于15度。所述探測器500用于根據所接收到的探測光得到所述待測樣品300對所述多個栗浦光源分別發出的栗浦光的吸收。
[0018]例如，本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統中，栗浦光源的數量為三個，且分別發出的栗浦光的波長為1064nm、532nm及355nm。當要測試1064nm、532nm及355nm的栗浦光共同輻照下，待測樣品300中的缺陷的吸收時，將待測樣品300安裝在樣品臺400上，調節樣平臺的位置，使得三個栗浦光源發出的激光束通過離軸拋物鏡150均聚焦到待測樣品300表面的預設待測點處，同時，探測光也聚焦到該預設待測點處，待測樣品300表面的預設待測點同時吸收1064nm、532nm及355nm的栗浦光的能量從而引起預設待測點處待測樣品300的材料受熱膨脹，引發熱透鏡效應，對經過該區域的探測光產生調制，調制強度與熱透鏡效應的強弱，即材料吸收能量的大小有關。攜帶著待測樣品300的吸收信息的探測光被探測器500接收，探測器500根據所接收到的探測光得到預設待測點處待測樣品300對1064nm、532nm及355nm的栗浦光栗浦光的吸收。當然，此時本光熱弱吸收測試系統也可以用于測試其中任意兩個或任一個波長的栗浦光作用下，待測樣品300的微弱吸收測試。
[0019]因此，本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統相對于現有的工作在單個栗浦波長模式下的光熱弱吸收設備，可以實現多個波長的栗浦激光共同作用時光學材料表面、亞表面及光學膜層的微弱吸收測試，有助于評價工作在多個波長共同輻射下的光學元件如倍頻晶體、激光增益介質、分色鏡等的加工水平、損傷性能等。
[0020]進一步的，為了保證入射到離軸拋物鏡150的多個不同波長的栗浦光經所述離軸拋物鏡150反射后均能聚焦到所述待測樣品300的預設待測點處，本實用新型實施例還設置了光路調節模塊140，所述光路調節模塊140設置于所述多個栗浦光源與所述離軸拋物鏡150之間，所述多個栗浦光源分別發出的栗浦光均入射到所述光路調節模塊140，經所述光路調節模塊140調節后的所述多個栗浦光源分別發出的栗浦光的光軸均與預設光軸重合，由所述光路調節模塊140出射的栗浦光經所述離軸拋物鏡150反射后偏離所述預設光軸聚焦到所述待測樣品300的預設待測點處。其中，所述預設光軸與離軸拋物鏡150的光軸重合或平行，所述離軸拋物鏡150的光軸也就是離軸拋物鏡150的中心軸。需要說明的是，當所述預設光軸與離軸拋物鏡150的光軸平行時，所述預設光軸與離軸拋物鏡150的光軸之間的距離可以為I?10毫米。本實用新型實施例中，為了盡量減小栗浦光聚焦光斑的像差，優選的，所述預設光軸與離軸拋物鏡150的光軸重合。
[0021]具體的，本實用新型實施例中，所述光路調節模塊140包括雙色鏡組，且雙色鏡組中雙色鏡的具體數量根據栗浦光源的具體數量設置，根據栗浦光源發出的栗浦光的波長設計雙色鏡的反射波長范圍。優選的，雙色鏡的數量比栗浦光源的數量少一個。本實用新型實施例中，如圖1所示，栗浦光源的數量可以為三個，分別為第一栗浦光源110、第二栗浦光源120和第三栗浦光源130，此時，雙色鏡的數量為兩個，分別為第一雙色鏡141和第二雙色鏡142。
[0022]如圖1所示，第一栗浦光源110發出的栗浦光的波長屬于所述第一雙色鏡141的反射波長范圍，第二栗浦光源120發出的栗浦光的波長屬于所述第二雙色鏡142的反射波長范圍且第二栗浦光源120發出的栗浦光的波長不屬于所述第一雙色鏡141的反射波長范圍，此夕卜，第三栗浦光源130發出的栗浦光的波長不屬于第一雙色鏡141的反射波長范圍和第二雙色鏡142的反射波長范圍。此時，第一栗浦光源110發出的激光束經過所述第一雙色鏡141反射后入射至離軸拋物鏡150，第二栗浦光源120發出的激光束依次經過第二雙色鏡142反射以及第一雙色鏡141透射后入射至離軸拋物鏡150，第三光源發出的激光束依次經過第二雙色鏡142透射和第一雙色鏡141透射后入射至離軸拋物鏡150。
[0023]進一步的，調節第一雙色鏡141和第二雙色鏡142的位置和角度，使得第一栗浦光源110發出的激光束、第二栗浦光源120發出的激光束以及第三栗浦光源130發出的激光束均與所述預設光軸重合，以確保入射到離軸拋物鏡150的第一栗浦光源110發出的激光束、第二栗浦光源120發出的激光束以及第三栗浦光源130發出的激光束經所述離軸拋物鏡150反射后均能聚焦到所述待測樣品300的預設待測點處。當然，本實用新型實施例中，栗浦光源的數量也可以是兩個或三個以上。
[0024]另外，本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統還具有調節多個栗浦光源分別發出的栗浦光的能量的功能。本實用新型實施例中，每一個所述栗浦光源均包括栗浦激光器和光控制模塊，所述光控制模塊用于調節所述栗浦激光器發出的栗浦光的能量，并對所述栗浦激光器發出的栗浦光進行濾波及擴束。其中，栗浦激光器可以是固體激光器、氣體激光器等。
[0025]具體的，所述光控制模塊包括半波片、線偏振鏡、第一透鏡組、第一光闌以及第二透鏡組，所述半波片、線偏振鏡、第一透鏡組、第一光闌以及第二透鏡組依次耦合。其中，第一透鏡組、第一光闌以及第二透鏡組用于對透過線偏振鏡的激光束進行濾波及擴束，第一透鏡組和第二透鏡組均可以由透鏡組合而成，具有準直會聚的功能，采用透鏡組合的方式有助于減小像差。栗浦激光器發出的栗浦光經過所述半波片、線偏振鏡調節為預設能量的激光束，所述預設能量的激光束經過第一透鏡組、第一光闌以及第二透鏡組擴束為預設口徑的激光束并經過光路調節模塊140入射到離軸拋物鏡150，其中，經過所述光路調節模塊140后的預設口徑的激光束的光軸與預設光軸重合。
[0026]本實用新型實施例中，如圖1所示，第一栗浦光源110包括第一栗浦激光器111和第一光控制模塊112，第二栗浦光源120包括第二栗浦激光器121和第二光控制模塊122，第三栗浦光源130包括第三栗浦激光器131和第三光控制模塊132。在同一個栗浦光源中，所述半波片和所述線偏振鏡用于調節栗浦激光器發出的栗浦光的能量，轉動半波片即可以調節透過線偏振鏡的激光束能量。例如，可以通過功率計等光能量探測器件讀取每一個栗浦光源輸出的激光束的能量，從而分別轉動每一個所需的栗浦光源中的半波片，根據所述功率計等光能量探測器件的讀數即可分別將每一個所需的栗浦光源輸出的激光束的能量調節為用戶所需的能量。
[0027]因此，通過半波片和線偏振鏡可以根據預設能量比例調節不同栗浦光源發出的栗浦光的能量，可以使其中一個栗浦光源發出的栗浦光能量相對較高，而其它栗浦光源發出的栗浦光的能量相對較低，此時，探測器500測得的預設待測點處待測樣品300對多個栗浦光源發出的栗浦光的吸收結果即為能量相對較高的波長的栗浦光占主導作用時，與其它能量相對較低的波長的栗浦光共同作用下，預設待測點處待測樣品300對栗浦光的吸收結果。其中，所述預設能量比例根據待測樣品300在具體工作狀態下所傳輸的不同波長的激光的能量比例設定。當然，栗浦光源發出的栗浦光的能量也可以通過直接調節栗浦激光器的輸出功率的方式來調節。
[0028]當然，為了將探測光也聚焦到待測樣品300的預設待測點處，且使得探測光的光斑面積大于栗浦光的光斑面積，如圖1所示，本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統還包括整形會聚模塊220，所述整形會聚模塊220設置于所述探測光源210與所述樣品臺400之間，所述探測光源210發出的探測光經過所述整形會聚模塊220的整形會聚處理后聚焦到所述待測樣品300的預設待測點處。具體的，整形會聚模塊220可以由會聚透鏡組構成，用于將探測光源210發出的探測光擴束后重新聚焦到待測樣品300的預設待測點處，且還用于控制聚焦到待測樣品300的預設待測點處的光斑面積的大小，確保待測樣品300預設待測點的探測光的光斑面積大于栗浦光的光斑面積。
[0029]進一步的，為了優化本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統的結構布局，所述光熱弱吸收測試系統還包括反射鏡230，反射鏡230設置于所述整形會聚模塊220與所述樣品臺400之間，所述反射鏡230用于將經過整形會聚模塊220整形會聚處理后的探測光反射到所述待測樣品300的預設待測點處聚焦。
[0030]另外，本實用新型實施例中，探測器500包括濾波模塊510、光電轉換模塊520和信號分析模塊530，濾波模塊510、光電轉換模塊520及信號分析模塊530依次耦合。透過待測樣品300的探測光經過濾波模塊510的濾波處理后進入光電轉換模塊520，經光電轉換模塊520轉換為電信號。光電轉換模塊520將所述電信號發送到信號分析模塊530，信號分析模塊530對所述電信號進行檢測并對檢測結果進行數據分析，得到預設待測點處待測樣品300對栗浦光的吸收特性。
[0031]其中，濾波模塊510包括會聚透鏡和第二光闌，由所述待測樣品300出射的探測光，依次經過所述會聚透鏡和所述第二光闌后入射到光電轉換模塊520。第二光闌可以采用孔徑光闌，用于屏蔽除探測光之外的雜散光。優選的，所述第二光闌可以設置在所述會聚透鏡的焦平面上。
[0032]光電轉換模塊520包括光電探測器件，用于將入射的探測光信號轉換為電信號。信號分析模塊530用于對光電轉化模塊輸出的電信號進行檢測與分析，得到由于待測樣品300對聚焦到預設待測點處的栗浦光的吸收導致的探測光的能量變化強度，進而獲得預設待測點處待測樣品300對多個栗浦光源發出的栗浦光的能量吸收。由于栗浦光引發的熱透鏡效應導致的探測光傳播特性的變化量比較小，甚至可能小于探測光本身的噪聲波動，因此，所述信號分析模塊530包括交流弱信號檢測電路，例如，所述交流弱信號檢測電路可以為鎖相放大器、Boxcar積分器等。需要說明的是，交流弱信號檢測電路根據本實用新型實施例中多個栗浦光源的類型設計，當多個栗浦光源發出的栗浦光均為連續激光時，交流弱信號檢測電路可以為鎖相放大器，當多個栗浦光源發出的栗浦光均為脈沖激光時，交流弱信號檢測電路需要采用脈沖信號放大電路。
[0033]此外，為了進一步避免入射到光電轉換模塊520中的探測光中混雜有除探測光之外的其它波長的雜散光，探測器500還可以包括濾光模塊。所述濾光模塊設置在待測樣品300與濾波模塊510之間，用于濾除由待測樣品出射的除探測光之外的雜散光，例如，所述濾光模塊可以包括中心波長與探測光波長一致的濾光片。
[0034]需要說明的是，本實用新型實施例中，樣品臺400可以為三維手動調節位移臺，也可以是三維電動位移臺，可以在相互垂直的三個方向上移動。為了提高測試精度，優選的，所述樣品臺400采用三維電動平移臺，其移動距離和移動方向均通過電腦控制，最小移動步長優選為I微米或百納米。高精密樣品臺400有助于實現本實用新型實施例提供的光熱弱吸收測試系統對待測樣品300吸收特性的高分辨探測。
[0035]需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且，術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設備中還存在另外的相同要素。
[0036]以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種光熱弱吸收測試系統，其特征在于，包括:離軸拋物鏡、樣品臺、探測器、探測光源以及多個栗浦光源，待測樣品安裝在所述樣品臺上，所述多個栗浦光源發出的栗浦光的波長不盡相同；所述多個栗浦光源分別發出的栗浦光經所述離軸拋物鏡反射后均聚焦到所述待測樣品的預設待測點處，所述探測光源發出的探測光也聚焦到所述待測樣品的預設待測點處，透過所述待測樣品的探測光進入所述探測器。2.根據權利要求1所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，還包括光路調節模塊，所述光路調節模塊設置于所述多個栗浦光源與所述離軸拋物鏡之間，所述多個栗浦光源分別發出的栗浦光均入射到所述光路調節模塊，經所述光路調節模塊調節后的所述多個栗浦光源分別發出的栗浦光的光軸均與預設光軸重合，由所述光路調節模塊出射的栗浦光經所述離軸拋物鏡反射后偏離所述預設光軸聚焦到所述待測樣品的預設待測點處，其中，所述預設光軸與所述離軸拋物鏡的光軸重合或平行。3.根據權利要求2所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，每一個所述栗浦光源均包括栗浦激光器和用于調節所述栗浦激光器發出的栗浦光的能量，并對所述栗浦激光器發出的栗浦光進行濾波及擴束的光控制模塊，所述栗浦激光器發出的栗浦光經過所述光控制模塊調節后入射到所述光路調節模塊。4.根據權利要求3所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，所述光控制模塊包括半波片、線偏振鏡、第一透鏡組、第一光闌以及第二透鏡組，所述半波片、線偏振鏡、第一透鏡組、第一光闌以及第二透鏡組依次耦合，所述栗浦激光器發出的栗浦光依次經過所述半波片、線偏振鏡、第一透鏡組、第一光闌以及第二透鏡組以及所述光路調節模塊后入射至所述離軸拋物鏡。5.根據權利要求4所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，還包括整形會聚模塊，所述整形會聚模塊設置于所述探測光源與所述樣品臺之間，所述探測光源發出的探測光經過所述整形會聚模塊的整形會聚處理后聚焦到所述待測樣品的預設待測點處。6.根據權利要求5所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，還包括用于將經過整形會聚模塊整形會聚處理后的探測光反射到所述待測樣品的預設待測點處聚焦的反射鏡，所述反射鏡設置于所述整形會聚模塊與所述樣品臺之間。7.根據權利要求1所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，所述探測器包括濾波模塊、光電轉換模塊和信號分析模塊，所述濾波模塊、所述光電轉換模塊及所述信號分析模塊依次耦合，透過所述待測樣品的探測光經過所述濾波模塊的濾波處理后進入所述光電轉換模塊，經所述光電轉換模塊轉換為電信號后進入所述信號分析模塊。8.根據權利要求7所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，所述濾波模塊包括會聚透鏡和第二光闌，由所述待測樣品出射的探測光，依次經過所述會聚透鏡和所述第二光闌后入射到所述光電轉換模塊。9.根據權利要求8所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，所述探測器還包括濾光模塊，所述濾光模塊設置于所述待測樣品及所述濾波模塊之間。10.根據權利要求1所述的光熱弱吸收測試系統，其特征在于，所述樣品臺為三維電動平移臺。
【文檔編號】G01N21/88GK205538714SQ201620162935
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月3日
【發明人】王鳳蕊, 劉紅婕, 李青芝, 黃進, 耿鋒, 孫來喜, 蔣曉東, 葉鑫, 周曉燕
【申請人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心