放射線圖像檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種用于放射線攝影的放射線圖像檢測裝置。
【背景技術】
[0002]近年來，在醫療領域中，為了進行圖像診斷，使用了將從放射線源向被攝體(患者)的攝影部位放射并透過了攝影部位的放射線(例如，X射線)變換成電荷而生成放射線圖像的放射線圖像檢測裝置。在該放射線圖像檢測裝置中，存在將放射線直接變換成電荷的直接變換方式的裝置、以及將放射線暫時變換成可見光并將該可見光變換成電荷的間接變換方式的裝置。
[0003]間接變換方式的放射線圖像檢測裝置具有吸收放射線而變換成可見光的閃爍體(熒光體層)、以及檢測可見光而變換成電荷的光電變換面板。在閃爍體中，使用了碘化銫(CsI)、硫氧化釓(GOS)。光電變換面板是在由玻璃制成的絕緣性基板的表面矩陣狀地排列了薄膜晶體管以及光電二極管而成的。
[0004]CsI與GOS相比，制造成本高，但從放射線向可見光的變換效率高。另外，CsI具有柱狀晶體構造，由于光導效應，圖像數據的SN比優良。因此，CsI作為特別是面向高端的放射線圖像檢測裝置的閃爍體來使用。
[0005]在將CsI作為閃爍體的放射線圖像檢測裝置中，公知了貼附方式與直接蒸鍍方式。在貼附方式中，蒸鍍有閃爍體的蒸鍍基板與光電變換面板以閃爍體與光電變換面板對置的方式經由粘合層來貼附。關于貼附方式，CsI的柱狀晶體的前端部與光電變換面板接近，從該前端部發射的可見光高效地入射到光電變換面板，所以得到高分辨率的放射線圖像。但是，貼附方式由于使用蒸鍍基板，制造工序數多、成本高。
[0006]另一方面，在直接蒸鍍方式中，將閃爍體直接蒸鍍到光電變換面板。該直接蒸鍍方式不需要蒸鍍基板，所以制造工序數少、成本低。在該直接蒸鍍方式中，CsI的柱狀晶體的前端部配置于與光電變換面板相反的一側，所以與貼附方式的情況相比，放射線圖像的畫質劣化，但至少與閃爍體是GOS的情況相比是優良的。這樣，直接蒸鍍方式在性能方面與成本方面的平衡較好。
[0007]但是，在直接蒸鍍方式中，在將閃爍體蒸鍍到光電變換面板時，在一部分的部位，柱狀晶體異常生長，該異常生長的柱狀晶體(以下，稱為異常生長晶體)的前端部有時從閃爍體的表面較大程度地突出(參照日本特開號公報)。該異常生長晶體是在光電變換面板的表面上以凸狀等地局部變形的缺陷等為起點而由柱狀晶體生長而得到的，隨著遠離于光電變換面板，擴展得比起點的缺陷等的大小更大。
[0008]在日本特開號公報所記載的放射線圖像檢測裝置中，閃爍體被配置成相比光電變換面板更靠放射線源側。在閃爍體中，放射線從柱狀晶體的前端部側入射，在前端部的附近放射線被吸收而發生可見光的發光。這樣，將閃爍體配置成相比光電變換面板更靠放射線源側的結構被稱為PSS(Penetrat1n Side Sampling，透射側采集)型。
[0009]在該PSS型中，放射線從柱狀晶體的前端部側入射，所以在存在異常生長晶體的情況下，在異常生長晶體的前端部發生發光。異常生長晶體的前端部較大程度地擴展，所以發光量較大，在放射線圖像中產生圖像缺陷。因此，在將閃爍體蒸鍍到光電變換面板之后，通過利用加壓等方法來擠碎異常生長晶體的前端部，來實現圖像缺陷的減少。
[0010]與該PSS型相反地，公知了一種作為直接蒸鍍方式的、將光電變換面板配置成相比閃爍體更靠放射線源側的ISS(Irradiat1n Side Sampling)型的放射線圖像檢測裝置(例如，參照日本特開號公報(同族申請US2012/0126124A1)、日本特開號公報)。在該ISS型中，從放射線源放射的放射線透過光電變換面板之后入射到閃爍體。該閃爍體在接近于放射線入射側的光電變換面板的區域發光，所以在光電變換面板處的受光效率提高。這樣，在ISS型中，得到畫質以及亮度優良的放射線圖像。

【發明內容】

[0011]發明所要解決的課題
[0012]在直接蒸鍍方式的ISS型的放射線圖像檢測裝置中，放射線從光電變換面板側入射到閃爍體，所以即使在存在異常生長晶體的情況下，放射線也從異常生長晶體的基端側入射，放射線不易達到異常生長晶體的前端部。因此，在異常生長晶體的前端部的發光量小。因此，在ISS型中，對異常生長晶體的圖像的影響小，所以沒有必要擠碎異常生長晶體的前端部。
[0013]然而，如果不擠碎異常生長晶體的前端部地將帶閃爍體的光電變換面板容納到框體中，則異常生長晶體的前端部從閃爍體的表面突出，所以在對框體施加了負荷的情況下，存在異常生長晶體的前端部接觸到框體等而破損，其周圍存在的正常的柱狀晶體也破損這樣的問題。特別是，在ISS型中，與閃爍體對置地，配置搭載有進行圖像數據的生成的信號處理部等的電路基板，所以異常生長晶體的前端部容易接觸到電路基板而擠碎。
[0014]本發明的目的在于，提供一種能夠防止閃爍體的破損的ISS型的放射線圖像檢測
目.ο
[0015]用于解決課題的技術方案
[0016]為了解決上述課題，本發明的放射線圖像檢測裝置具備閃爍體、光電變換面板、電路基板、空隙層以及框體。閃爍體含有碘化銫，將放射線變換成可見光。光電變換面板蒸鍍有閃爍體，并且形成有對可見光進行光電變換而生成電荷的多個像素。電路基板設置有根據通過光電變換面板而生成的電荷來生成圖像數據的信號處理部。空隙層設置在閃爍體與電路基板之間。框體從攝影時放射線從放射線源入射的一側起，按以下順序容納光電變換面板、閃爍體、空隙層、電路基板。
[0017]閃爍體具有非柱狀晶體層以及在該非柱狀晶體層上形成的多個柱狀晶體。非柱狀晶體層緊貼到光電變換面板。
[0018]在空隙層中，優選設置第一支撐體。該第一支撐體的一端固定于電路基板，另一端支撐閃爍體。第一支撐體優選支撐閃爍體的周緣部。第一支撐體優選是彈性體。
[0019]優選具備在光電變換面板與電路基板之間進行支撐的第二支撐體。該第二支撐體優選覆蓋閃爍體的周圍。
[0020]框體優選是單體殼構造。光電變換面板與電路基板優選分別單獨地固定于框體。
[0021]優選具備覆蓋閃爍體的周圍密封膜。另外，優選具備反射從多個柱狀晶體的前端部發射的可見光的光反射膜。
[0022]優選具備覆蓋多個柱狀晶體的前端部保護膜。在這種情況下，優選的是，光反射膜在保護膜上形成，密封膜覆蓋在光反射膜上。
[0023]像素優選具有將可見光變換成電荷的光電二極管、以及用于讀出通過光電二極管而生成的電荷的開關元件。
[0024]優選具備在光電變換面板的與放射線的入射側相反的一側使可見光透過的透光性基板。在這種情況下，閃爍體蒸鍍到透光性基板。透光性基板優選是OPS薄膜。
[0025]發明效果
[0026]根據本發明的放射線圖像檢測裝置，由于在閃爍體與電路基板之間設置有空隙層，所以能夠防止閃爍體的破損。
【附圖說明】
[0027]圖1是示出X射線圖像檢測裝置的局部剖切立體圖。
[0028]圖2是示出X射線圖像檢測裝置的剖視圖。
[0029]圖3是示出FPD的剖視圖。
[0030]圖4是示出光電變換面板的結構的電路圖。
[0031]圖5是說明X射線圖像檢測裝置的使用狀態的說明圖。
[0032]圖6是示出X射線圖像檢測裝置的第一變形例的剖視圖。
[0033]圖7是示出X射線圖像檢測裝置的第二變形例的剖視圖。
[0034]圖8是示出X射線圖像檢測裝置的第三變形例的剖視圖。
[0035]圖9是示出肋部的第一配置例的俯視圖。
[0036]圖10是示出肋部的第二配置例的俯視圖。
[0037]圖11是示出X射線圖像檢測裝置的第四變形例的剖視圖。
[0038]圖12是示出在柱狀晶體的前端部形成的金屬薄膜的剖視圖。
【具體實施方式】
[0039]在圖1中，X射線圖像檢測裝置10由平