專利名稱：對流式嗅敏檢漏儀的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種對流式嗅敏檢漏儀，它具有一個作為測試氣體檢測器的質譜儀、一個在對流中有檢測氣體流過的高真空泵或高真空泵級，一個連接在高真空泵或高真空泵級的出口側的吸氣軟管，以及一個在吸氣軟管入口區的大氣壓與吸氣軟管出口區的壓力之間保持壓差的節流閥。
為使這種檢漏儀既有短的反應時間，又有高的檢測靈敏度，建議上述吸氣軟管要這樣設計，使其到所要求的節流作用。
通過上述措施可以達到，總是有最大允許氣流流過上述吸氣軟管。由于在氦—測試氣體檢漏時，感興趣的泄漏量級為10-2mbar/L/S，因此可以保證從可能存在的泄漏點中溢出的全部檢測氣流能被吸入并到達檢漏儀中。由此產生出一個高的檢測靈敏度。另外，由于按照本發明確定的吸氣軟管中的氣體流速較高，因而反應時間也短。當吸氣軟管在全長上直徑相同，從而產生全部所需的節流作用時，上述優點將特別良好持實現。但是，為了解決所提出的任務，只要吸氣軟管的較大一段、例如其長度的50％或70％具有節流功能也就足夠，而其余管段則基本上無阻力地將待測氣體引導至檢漏儀。
從DE-B-2441124中已經知道有一種嗅敏檢漏儀。其中，該文件所描述的現有技術是，在吸氣軟管的入口區中設一個節流閥。按照該文件的權利要求1的嗅敏檢漏儀具有一個節流閥，該閥直接安置在質譜儀檢測器的前面。在這兩種方案中，從可能存在的泄漏點溢出的一部分檢測氣體不可避免地未能到達檢漏儀的入口中。
在本發明的范圍內，在校準方面還具有特殊的優點。對本發明的嗅敏檢漏儀來說，為了進行校準，只要在高真空泵和預真空泵之間的連接管區中用一個檢測泄漏點放入已知量的檢測氣體就已足夠。這樣，那種迄今為止在檢漏儀中所必需的外部檢測泄漏點就可省去。
下面將根據
圖1和2說明其它優點和細節。
在圖1和2中示意性地用1表示檢漏儀，用2表示其入口。該檢漏儀包括質譜儀3，它與高真空泵4、最好是渦流分子泵的入口連接。高真空泵4通過一條連接管5與預真空泵6連接。
在檢漏儀1的入口2處接有吸氣管軟7。吸氣軟管的兩端用8(入口)和9(出口)表示。吸氣軟管的入口8被引向試驗物11的有泄漏嫌疑的區域，泄漏點用12來表示。
在圖1的檢漏儀上，檢漏儀1的入口2與連接管5連接。選用一種渦流分子泵13作為在對流中工作的高真空泵4。
在圖2的檢漏儀中，高真空泵4包括位于高真空側的級14(最好為渦流分子泵級)和位于預真空側的級15(最好為分子泵級)。高真空泵4裝有一個接頭16，該接頭16與高真空泵級14和15之間的區域連接。檢漏儀1的入口2可以有選擇地(借助未示出的閥)接在高真空泵4和預真空泵6之間的連接管5上，或者為了提高靈敏度而接在高真空泵4的入口16上。
吸氣軟管7的尺寸(長度、內徑)要這樣選擇，使它能夠在其入口區8的大氣壓與其出口區9的壓力之間保持壓力差。當檢漏儀1的入口2接在高真空泵4和預真空泵6之間的連接管上時(見圖1)，其出口區9的壓力約為2mbar。當檢漏儀1的入口2與高真空泵4的接頭16連接時(見圖2)，吸氣軟管7的出口區9的壓力約為0.1bar。一條長度約為4米、內徑約為0.4mm的吸氣軟管7就具有所要求的節流作用。在一條這樣的吸氣軟管中，氣體流量約為0.4mbar/L/S。當吸氣軟管7較長時，就必需采用較大的內徑，而在吸氣軟管較短時，則要選用較小的內徑。
另外，在高真空泵4和預真空泵6之間的連接5上，通過一個閥17還連接著一個檢測泄漏點18。由于吸氣軟管7的特殊性能，檢漏儀的校準工作完全可以由內裝的檢測泄漏點18來完成，因而不再需要用一個外部檢測泄漏點來校準檢漏儀。
權利要求
1.對流式嗅敏檢漏儀(1)，它包括一個作為檢測器的質譜儀(3)，一個在對流中有檢測氣體流過的高真空泵(4、13)或高真空泵級(14)，一個連接在高真空泵或高真空泵級的出口側的吸氣軟管(7)，以及一個在吸氣軟管(7)的入口區(8)的大氣壓與吸氣軟管的出口區(9)的壓力之間保持壓力差的節流閥；其特征在于至少吸氣軟管(7)的一段，最好是吸氣軟管(7)的全部要這樣設計，使其達到所要求的節流作用。
2.如權利要求1的檢漏儀，其特征在于檢漏儀(1)的入口(2)與連接管(5)連接，該連接管將高真空泵(4)與預真空泵(6)連接。
3.如權利要求2的檢漏儀，其特征在于高真空泵(4)是一個渦流分子泵(13)。
4.如權利要求1的檢漏儀，其特征在于高真空泵(4)有兩級(14、15)，它們裝備有一個接頭(16)，該接頭(16)接通兩級(14、15)之間的中間區；檢漏儀(1)的入口(2)與高真空泵(4)的接頭(16)是可連通的。
5.如權利要求1至4之一的檢漏儀，其特征在于在高真空泵(4)和預真空泵(6)之間的連接管(5)上連接有一個檢測泄漏點(18)。
6.如權利要求1至5之一的檢漏儀，其特征在于上述吸氣軟管(7)的長度為4米，內徑為0.4mm。
全文摘要
本發明涉及一種對流式嗅敏檢漏儀，它包括一個作為檢測器的質譜儀，一個在對流中有檢測氣體流過的高真空泵或高真空泵級，一個連接在高真空泵或高真空泵級的出口側的吸氣軟管，以及一個在吸氣軟管的入口區的大氣壓與吸氣軟管的出口區的壓力之間保持壓力差的節流閥。為了改進其靈敏度和反應時間，至少吸氣軟管的一段、最好是其全部要這樣設計，使其達到所要求的節流作用。
文檔編號G01M3/04GK1130757SQ9511991
公開日1996年9月11日 申請日期1995年11月20日 優先權日1994年12月22日
發明者托馬斯·伯姆 申請人:萊波爾德股份公司