專利名稱：一種鑷子型硅料導電類型測試裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及光伏或半導體領域，尤其涉及一種不規則的細碎硅料的導電類型測試裝置。
背景技術：
在光伏產品的加工過程中，很多工序都會產生一些細碎的硅料，這些硅料包括P 型硅料、N型硅料以及電阻率低的重摻硅料，如果要將這些細碎硅料重新用作多晶硅鑄錠或是單晶拉制的原料，必須嚴格控制這些硅料的導電類型和電阻率。因為導電類型和電阻率是反映半導體電學性能的重要參數，不同類型、不同型號的半導體器件要求采用不同電阻率的材料制作。目前，用于檢測半導體硅材料導電類型的方法很多，但使用最多的是溫差法和整流法。但同時能夠分選硅料P/N型及重摻的測試方法主要是整流法，即三探針法，這種方法主要是將三根探針直線排列封裝在一根圓柱型筆筒上，再用導線和分選儀主機相連，組成一套硅料分選設備。當三根探針同時接觸到硅料時，分選儀主機上可以顯示出硅料是P型硅料，還是N型硅料，對于電阻率低的重摻硅料會發出報警的提示。目前的測試設備，三根測試探針的長度一般都大于0. 6cm，在測試過程中，三根探針必須同時接觸到硅料，因此待測硅料的幾何長度必須在0. 6cm以上才能進行測試。另外，對于一些幾何長度大于0. 6cm, 但表面平整度較差的硅料，三根探針無法同時接觸到硅料表面，導致無法對其測試。采用該方法進行測試的具體方法是一手握住硅料，另一只手操作探針筆，測試不方便，效率較低。目前，關于檢測半導體硅材料導電類型的測試設備及其儀器，已有相關的文獻報道，如公開號為CN201413381Y的中國專利太陽能電池晶硅硅片導電類型測量裝置，該太陽能電池晶硅硅片導電類型測量裝置包括檢測平臺，檢測平臺上設置有殼體，殼體內設置有可伸縮的冷、熱探針，所述的冷、熱探針之間通過導線連接有電壓表，所述的電壓表置于殼體外部，熱探針還通過熱導線連接有加熱器。公開號為CN201594530U的中國專利公開了一種可單手操作的鑷子型硅料分選裝置，該實用新型是利用溫差法原理，將傳統的雙手操作改為單手操作，具體方案是將傳統的探針該為鑷子型探針，這樣可以一只手握住鑷子型探針，一只手用于撥動硅料，搬動硅料， 也可以用于記錄，從而提高工作效率。該技術方案可以測試細碎硅料的P/N型，但無法測試出硅料的重摻特性。
發明內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，這種測試裝置可以用于測試一些不規則的細碎硅料的PN型，同時可以挑選出電阻率低的重摻硅料。本實用新型的技術方案為一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，包括測試主機5、導線6和接觸件，所述的接觸件包括接觸件一 1、接觸件二 2和接觸件三，其中接觸件一 1、接觸件二 2和接觸件三分別通過導線6與測試主機5連接。一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件一 1和接觸件二 2構成了鑷子形狀，接觸件一 1和接觸件二 2通過連接器7連接。一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的連接器7是采用塑料做成的絕緣材料。一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的連接器7是采用橡膠做成的絕緣材料。一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件三是探針3。一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件三為導體平板4。一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件三是導體平板4，在接觸件一1和接觸件二 2的外側和底部增設絕緣裝置。一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件三是導體平板4，在接觸件一1和接觸件二 2的外側和底部涂一層絕緣涂料。表1本實用新型技術方案與現有技術方案比較
測試原理是否能測試細小硅料是否能測試形狀不規則硅料是否能測試重摻本實用新型整流法能能現有技術整流法整流法不能不能能.現有技術溫差法溫差法能不能不能本實用新型的工作原理以及優點本實用新型主要是利用整流法原理，將傳統的三探針中的兩根探針改為鑷子型，這兩根鑷子型探針通過連接器連接；另外一根探針可不做改變，也可將其改為一塊導體平板。通過鑷子探針可夾起一些尺寸較小或形狀不規則的硅料，此時硅料可與第三根探針接觸，也可與導體平板接觸，測試主機上的顯示器可顯示出硅料的PN型，如果硅料是重摻，則會發出報警聲。現有技術中利用整流法來測試硅料的導電類型，三根探針是并排安裝于測試筆內的，其中三根探針的水平距離一般都大于0. 6cm，在測試過程中必須三根探針都同時接觸到硅料表面，才能測試其導電類型及重摻性能。但對于一些尺寸較小或形狀不規則的硅料，傳統的三探針則無法測試。本實用新型并沒有改變整流法測試半導體導電類型的原理，只是將探針做了形狀上的改變，通過這種改變可以實現對一些尺寸較小或形狀不規則的硅料進行測試，分選出硅料的導電類型或電阻率較低的重摻料。

附圖1是本實用新型實施例5的結構示意圖；[0021]附圖2是本實用新型實施例7的結構示意圖；附圖3是本實用新型實施例5的使用狀態示意圖；附圖4是本實用新型實施例7的使用狀態示意圖；附圖標記接觸件一 1、接觸件二 2、探針3、導體平板4、測試主機5、導線6、連接器 7、硅料8。
具體實施方式
實施例1、一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，包括測試主機5、導線6和接觸件， 所述的接觸件包括接觸件一 1、接觸件二 2和接觸件三，其中接觸件一 1、接觸件二 2和接觸件三分別通過導線6與測試主機5連接。實施例2、一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件一 1和接觸件二 2構成了鑷子形狀，接觸件一 1和接觸件二 2通過連接器7連接。其余同實施例1。實施例3、一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的連接器7是采用塑料做成的絕緣材料。其余同實施例1或實施例2中的任意一種實施例。實施例4、一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的連接器7是采用橡膠做成的絕緣材料。其余同實施例1或實施例2中的任意一種實施例。實施例5、一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件三是探針3。其余同實施例1-4中的任意一種實施例。實施例6、一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件三為導體平板 4。其余同實施例1-4中的任意一種實施例。實施例7、一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件三是導體平板 4，在接觸件一 1和接觸件二 2的外側和底部增設絕緣裝置。其余同實施例1-4中的任意一種實施例。實施例8、一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其中所述的接觸件三是導體平板 4，在接觸件一 1和接觸件二 2的外側和底部涂一層絕緣涂料。其余同實施例1-4中的任意一種實施例。工作原理可以使用本使用新型的鑷子型硅料導電類型測試裝置來夾取硅料8。
權利要求1.一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，包括測試主機(5)、導線(6)和接觸件，所述的接觸件包括接觸件一(1)、接觸件二( 和接觸件三，其特征在于接觸件一(1)、接觸件二 (2)和接觸件三分別通過導線(6)與測試主機(5)連接。
2.如權利要求1所述的一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其特征在于所述的接觸件一(1)和接觸件二( 構成了鑷子形狀，接觸件一(1)和接觸件二( 通過連接器(7) 連接。
3.如權利要求2所述的一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其特征在于所述的連接器(7)為絕緣材料。
4.如權利要求1所述的一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其特征在于所述的接觸件三為探針(3)。
5.如權利要求1所述的一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其特征在于所述的接觸件三為導體平板(4)。
6.如權利要求5所述的一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其特征在于在接觸件一 (1)和接觸件二 O)的外側和底部增加絕緣裝置。
7.如權利要求5所述的一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，其特征在于在接觸件一 (1)和接觸件二 O)的外側和底部涂有一層絕緣材料。
專利摘要本實用新型涉及光伏或半導體領域的一種鑷子型硅料導電類型測試裝置，該裝置包括測試主機、導線和接觸件，所述的接觸件包括接觸件一、接觸件二和接觸件三，其中接觸件一、接觸件二和接觸件三分別通過導線與測試主機連接。采用該裝置可以檢測一些傳統三探針法無法檢測的細碎硅料的PN型，同時還能挑出一些電阻率低的重摻硅料。
文檔編號G01R1/02GK202018493SQ20102060055
公開日2011年10月26日 申請日期2010年11月10日 優先權日2010年11月10日
發明者劉維忠, 胡動力, 金春生, 陳紅榮, 黃明 申請人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司