專利名稱：脆性材料基板端面部的檢查方法及其裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種檢查脆性材料基板的端面部的方法及裝置。
背景技術：
液晶顯示面板通常是在一對玻璃基板形成的液晶面板基板之間設置液晶層從而形成。在一方的液晶面板基板的表面上設置有多條布線，另外，在相鄰的各側緣部表面上分別設置各布線的電極端子。這樣的液晶面板基板可以通過截斷大面積的母液晶面板基板同時制造多片。
作為脆性材料基板的一種的玻璃基板，通過劃線裝置在玻璃表面上形成劃線，接著，通過折斷裝置(ブレイク裝置)在玻璃基板上施加彎曲力矩，由此，沿著劃線被截斷。液晶面板基板也可以通過截斷母液晶面板基板而同時制造多片液晶面板基板。而且，母液晶面板基板可以在被截斷的液晶面板基板各自的區域內預先設置布線及電極端子，另外，在被截斷的液晶面板基板的端部形成布線及電極端子。
在截斷這樣的母液晶面板基板從而制造液晶面板基板的情況下，如果在被截斷的液晶面板基板的端面上產生缺口，因為該缺口，在預先設置的電極端子或者后續工序中制造的電極端子上恐怕會有損傷。另外，該缺口如果發展成貝殼切割狀(貝割れ狀)缺陷(貝殼狀缺口)，被設置在液晶面板基板上的電極端子恐怕會被切斷。這樣，如果使用端面上產生缺陷的液晶面板基板來制造液晶顯示面板，被制成的液晶顯示面板將成為不能正常工作的不良品，因此，產生了成品率降低、液晶顯示面板的制造成本增加的問題。
為了防止這樣的問題，截斷母液晶面板基板從而制造液晶面板基板時，在將被制成的液晶面板基板傳送到后續工序之前，發現液晶面板的端面上有無缺陷很重要。
現有技術中，截斷母液晶面板基板從而制成液晶面板基板后，通過眼睛觀察來檢查液晶面板基板的端面上有無缺口(欠け)等，但是，這樣通過眼睛觀察進行檢查的方法中，恐怕會忽略液晶面板基板的端面的細微缺口等。并且，因為是通過眼睛觀察液晶面板基板的側緣部，必須有檢查員，因此，就成了使液晶顯示面板的制造成本增加的主要原因。
相對這樣的檢查方法，考慮通過攝像裝置對液晶面板基板的端面附近部分進行攝像，通過對被拍攝的圖像數據進行圖像處理，也可以檢查缺口等缺陷的有無的方法。但是，為了通過這樣的方法檢查缺口等缺陷的有無，必須對圖像數據進行三維處理，并且，因為作為缺陷的缺口等的形狀不一樣，不容易通過圖像數據來判定優良與否，因此，產生了無法實現價格低廉的檢查裝置的問題。

發明內容
為解決上述問題，本發明的目的是提供一種能夠自動檢查脆性材料基板的端面上有無缺口等缺陷的新型的檢查方法及檢查裝置。
本發明的檢查裝置，具備以水平狀態載置脆性材料基板的工作臺；使該工作臺朝預定方向移動的工作臺移動機構；使該工作臺沿著水平方向旋轉的工作臺水平旋轉機構；在該脆性材料基板的端面部上照射光的光源；接收被該光源照射從而由該脆性材料基板的端面部反射的反射光的光量檢測機構；及，根據由該光量檢測機構所接收的來自所述端面部的反射光的光量來判定所述端面部的品質的優劣的判定機構。由此達成所述目的。
其特征在于，所述判定機構是，預先設定所述光量檢測機構接收的反射光的光量的上限值及下限值，在該光量檢測機構中接收的反射光的光量超過該上限值時、或者低于該下限值時，判定為所述脆性材料基板的端面部品質不良。
其特征在于，所述判定機構對所述脆性材料基板的端面部的品質不良的類型進行區分。
其特征在于，所述光源具有相對所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1光源和從所述脆性材料基板的端面部的兩側向傾斜方向照射的第2光源，所述光量檢測機構具有在通過該第1光源向該脆性材料基板的端面部上照射光的情況下，檢測來自該脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1光量檢測機構，及，在通過該第2光源向該脆性材料基板的端面部上照射光的情況下，檢測照射光的來自脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第2光量檢測機構，并使用所述第1光量檢測機構和所述第2光量檢測機構中的至少一個光量檢測機構。
其特征在于，所述光量檢測機構是CCD攝像機。
其特征在于，所述光量檢測機構是受光元件。
其特征在于，具有將所述脆性材料基板的形成角的兩邊進行攝像從而獲取該脆性材料基板的形成角的兩邊的圖像數據的攝像機構，并基于該圖像數據識別所述脆性材料基板的角的位置。
其特征在于，所述攝像機構是CCD攝像機。
本發明的檢查方法，用于判定脆性材料基板的端面部的質量的優劣，其特征在于具有沿著該端面部相對移動地在該端面部上照射光的步驟；接收來自該端面部的反射光的步驟；及，基于接收的該反射光的光量判定該端面部的質量的優劣的步驟。由此達成所述目的。
其特征在于，所述判定步驟是，預先設定接收的所述反射光的光量的上限值及下限值，在接收的該反射光的光量超過上限值時、或者低于下限值時，判定所述脆性材料基板的端面部品質不良的步驟。
其特征在于，所述判定步驟進一步具有區別所述脆性材料基板的端面部的品質不良的類型的步驟。
其特征在于，所述照射步驟具有相對所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1照射步驟和從所述脆性材料基板的端面部的兩側在傾斜方向上照射光的第2照射步驟，所述接收光的步驟具有，在通過該第1照射步驟在所述脆性材料基板的端面部上照射光的情況下，接收來自該脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1接收光步驟，及，在由該第2照射步驟向該脆性材料基板的端面部上照射光的情況下，接收照射光的來自脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第2接收光步驟，并進行所述第1接收光步驟和所述第2接收光步驟中的至少任意一個。
其特征在于，所述接收光步驟是通過CCD攝像機來進行的。
其特征在于，所述接收光步驟是通過受光元件來進行的。
其特征在于，具有對所述脆性材料基板的形成角的兩邊進行攝像，并獲取該脆性材料基板的形成角的兩邊的圖像數據的步驟，及，基于該圖像數據識別所述脆性材料基板的角的位置的步驟。
其特征在于，獲取所述兩邊的圖像數據的步驟是通過CCD攝像機來進行的。
附圖的簡單說明

圖1是用于說明本發明的檢查原理的立體圖；圖2是表示本發明的1個實施例的檢查脆性材料基板的端面的檢查裝置的立體圖；圖3是表示圖2的檢查裝置的控制動作的流程圖；圖4是詳細表示圖3的流程圖中的步驟S14的流程圖；圖5是表示檢查脆性材料基板的角的方法的示意圖；圖6是表示將來自脆性材料基板的端面的反射光的光量進行表示的直方圖的圖；圖7是表示用于本發明的實施例的LED光源和脆性材料基板的位置關系圖；圖8a是表示用于本發明的1個實施例的透射光源和作為檢查對象的透明脆性材料基板的位置關系圖；圖8b是表示用于本發明的1個實施例的透射光源和作為檢查對象的透明脆性材料基板的位置關系圖。
發明的
具體實施例方式
下面，基于附圖對本發明的實施例進行詳細說明。
圖1是表示檢查本發明的脆性材料基板的端面的缺口的原理的立體圖。本發明的檢查方法中使用的是，在箭頭A的方向上以一定速度移動的作為脆性材料基板的玻璃板101的端面部上照射點狀光103的LED光源102，以及，接收從該LED光源照射并從玻璃板101的端面部反射的反射光的CCD攝像機104，通過CCD攝像機104檢查來自玻璃板101的端面部的反射光量。玻璃板101的端面部上存在缺口的情況下，從LED光源照射的光通過該缺口被反射時，該反射光量和不存在缺口的其他位置相比，降低一定量，或者相反，增加一定量。
實際上，從LED光源102在玻璃板101的端面部上照射光并檢查該反射光量時，在反射光的光量大致一定的位置上不存在缺口，而反射光的光量顯著增加和顯著減少的位置都是存在缺口的位置。從而，預先設置從LED光源102照射并通過玻璃板101的端面部被反射的反射光的上限值及下限值，來自該端面部的反射光超過該上限值時，及低于該下限值時，可以判定為該端面部存在缺口(端面部品質不良)。
圖2是表示作為本發明的1個實施例的脆性材料基板端面部的檢查裝置50的立體圖。工作臺1通過真空吸附固定脆性材料基板2從而設置在移動基座4上，并可以通過伺服電動機3在移動基座4上沿水平方向(箭頭θ所示方向)旋轉。該移動基座4通過伺服電動機5及通過其進行軸旋轉的滾珠螺桿6沿著兩條軌道7在箭頭X所示的方向上移動。
由兩側的支柱8支撐的橋板(ブリツジ板)9跨越軌道7從而延伸在箭頭Y所示的方向。在該橋板9上設置有通過伺服電動機10a及通過其進行軸旋轉的滾珠螺桿11a在Y方向上移動的移動基座12a。在該移動基座12a上設置有處于垂直狀態并在和橋板9正交的X方向上延伸的檢查設備安裝板13a。另外，在與上述同樣的結構中，設置有在Y方向上移動的移動基座12b，在該移動基座12b上設置有處于垂直狀態并在和橋板9正交的X方向上延伸的檢查設備安裝板13b。
在檢查設備安裝板13a上，為了對脆性材料基板2的一方的端面部Va進行攝像，沿著X方向隔開適當的間隔并排安裝分別朝下的一對第1CCD攝像機14a及第2CCD攝像機15a。在被設置在遠離、橋板9的一側的第1CCD攝像機14a的下端部上，為了從上方照到該攝像區域，安裝有圍繞第1CCD攝像機14a的下端部的周圍來被設置成“口”字型的第1LED光源16a。該第1LED光源16a在和第1CCD攝像機14a的光軸同軸的狀態下照射光。
被接近橋板9設置的第2CCD攝像機15a的攝像區域由從在X方向上具有預定長度的一對第2LED光源17a照射的光分別照射。各第2LED光源17a通過適當的支撐部件被安裝到檢查設備安裝板13a上，并從兩側照射作為第2CCD攝像機15a的攝像區域的脆性材料基板2的所述前端面部Va。作為各第2LED光源17a，例如，使用白色LED，但是，只要是可以為脆性材料基板2的所述端面部Va的攝像提供必要的亮度的光源，并不僅限于此。
在另一方的檢查設備安裝板13b上，為了對脆性材料基板2的另一方的端面部Vb進行攝像，沿著X方向隔開適當的間隔并排安裝分別朝下的一對第3CCD攝像機14b及第4CCD攝像機15b。在被設置在遠離橋板9的一側的第3CCD攝像機14b的下端部上，為了從上方照射該攝像區域，安裝有圍繞第3CCD攝像機14b的下端部的周圍被設置成“口”字型的第3LED光源16b。該第3LED光源16b在和第3CCD攝像機14b的光軸同軸的狀態下照射光。
被接近橋板9而設置的第4CCD攝像機15b的攝像區域由從在X方向上具有預定長度的一對第4LED光源17b照射的光分別照射。各第4LED光源17b通過適當的支撐部件被安裝到檢查設備安裝板13b上，并從兩側照射作為第4CCD攝像機15b的攝像區域的脆性材料基板2的所述前端面部Vb。作為各第4LED光源17b，例如，使用白色LED，但是，只要是可以為脆性材料基板2的所述端面部Vb的攝像提供必要的亮度的光源，并不僅限于此。
圖3是表示所述檢查裝置50的動作的流程圖，下面根據該流程圖對檢查裝置50的動作進行說明。
通過該檢查裝置50實施檢查時，首先，進行從步驟S1到步驟S5的初期設定。
在步驟S1中，設定第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b、第2CCD攝像機15a及第4CCD攝像機15b的曝光時間，在步驟S2中，設定第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b、第2CCD攝像機15a及第4CCD攝像機15b的獲取(反射)線數(初期值例如480)。在步驟S3中，設定第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b、第2CCD攝像機15a及第4CCD攝像機15b的視野。這里，第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b、第2CCD攝像機15a及第4CCD攝像機15b的視野是在第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b、第2CCD攝像機15a及第4CCD攝像機15b的本身的分辨率(例如512×480像素)的范圍內任意設定。
在步驟S4中，設定用于對第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b、第2CCD攝像機15a及第4CCD攝像機15b獲取的圖像數據進行圖像處理的必需的各種參數。在步驟S5中，設定用于使檢查裝置50自動運轉所必需的機械參數。
檢查裝置50的初期設定完成后，在步驟S6中，開始檢查裝置50的自動運轉。點亮LED光源16a、16b、17a及17b從而照射第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b、第2CCD攝像機15a及第4CCD攝像機15b的攝像區域。由這些光源產生的(亮)點大小，是可以充分覆蓋第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b、第2CCD攝像機15a及第4CCD攝像機15b的攝像區域的大小。即，攝像區域通過這些光源，在CCD攝像機對攝像區域進行攝像，并以一定亮度被照射，該亮度是在檢查中以所需精度獲取攝像區域的圖像數據的必需的亮度。接著，在步驟S7中，通過傳送自動裝置(robot)(未圖示)，脆性材料基板2被載置到工作臺1上，并被吸附固定。在步驟S8中，為了通過4個CCD攝像機14a及14b或者15a及15b對脆性材料基板2的角Ca、Cb進行攝像，驅動伺服電動機3及伺服電動機5從而將吸附固定作為檢查對象的脆性材料基板2的工作臺1定位。
在步驟S9中，對通過4個CCD攝像機14a及14b或者15a及15b被攝像的脆性材料基板2的端面部的圖像數據進行圖像處理，通過對脆性材料基板2的端面部進行圖像識別，構成脆性材料基板2的2個角Ca、Cb的各自的兩邊被確定在矩形范圍。圖5表示在步驟S9中構成脆性材料基板2的2個角Ca、Cb中的任意一個角的兩邊在矩形范圍內被圖像識別的狀態的示意圖。而且，圖像數據通過CCD攝像機，不是作為像素，而是作為像素的線(ライン)被獲取。
在步驟S10中，構成角Ca的兩邊被確定，該兩邊通過運算被線性近似，并算出該兩條直線的交點，一方的角Ca的位置被識別。在步驟S11中，構成角Ca的兩邊被指示出來，該兩邊通過運算而被線性近似，并算出該兩條直線的交點，另一方的角Cb的位置被識別。
接著，在步驟S12中，為了使檢查的脆性材料基板2的端面部和工作臺1的移動方向一致，通過伺服電動機3工作臺1向θ方向旋轉，從而被定位。此外，在步驟S13中，工作臺1通過伺服電動機5的驅動進行軸旋轉的滾珠絲杠6按預定的速度沿著兩條軌道7向X方向移動。工作臺1向X方向按預定速度移動期間，在步驟S14中，通過兩組檢查裝置即第1檢查裝置(10a～17a)及第2檢查裝置(10b～17b)，檢查脆性材料基板2的2個端面部U(Va、Vb)。
圖4是詳細表示該步驟S14的檢查的流程圖；下面，參照圖4的流程圖對步驟S14的檢查進行詳細的說明。
在步驟S51中，相對于移動的工作臺1上的脆性材料基板2，使用第1CCD攝像機14a、第2CCD攝像機15a對脆性材料基板2的端面部Va進行攝像，獲取脆性材料基板2的端面部Va的圖像數據，并對該圖像數據進行圖像處理。而且，第1CCD攝像機14a及第2CCD攝像機15a的攝像區域，例如1邊是0.5mm～2mm。同樣，與第1CCD攝像機14a及第2CCD攝像機15a的圖像的獲取同時進行，第3CCD攝像機14b及第4CCD攝像機15b也進行同樣的圖像的獲取。
在步驟S52中，判定工作臺1是否移動了預定的距離(例如，相當于攝像范圍的長度40mm長)。在工作臺1被判定為移動了預定距離的情況下，進入步驟S53。在工作臺1被判定為沒有移動預定距離的情況下，重復進行步驟S51及步驟S52直到移動預定距離(40mm)，通過第1CCD攝像機14a、第2CCD攝像機15a對脆性材料基板2的端面部Va進行攝像，獲取脆性材料基板2的端面部Va的圖像數據，并將該圖像數據進行圖像處理。另外，同時，通過第3CCD攝像機14b、第4CCD攝像機15b對脆性材料基板2的端面部Vb進行攝像，獲取脆性材料基板2的端面部Vb的圖像數據，并將該圖像數據進行圖像處理。
在步驟S53中，對應通過第1 CCD攝像機14a、第2CCD攝像機15a所獲取的跨越預定距離(40mm長)的脆性材料基板2的端面部Va的圖像數據，判定脆性材料基板2的端面部有無缺口(端面部的質量的優良與否)。同樣，對應通過第3CCD攝像機14b、第4CCD攝像機15b獲取的跨越預定距離(40mm長)的脆性材料基板2的端面部Vb的圖像數據，判定脆性材料基板2的端面部有無缺口(端面部的質量的優良與否)。
圖6是表示從脆性材料基板2的端面反射的反射光的光量的直方圖的圖。在該直方圖中，從脆性材料基板2的端面部反射的反射光的光量通過由CCD攝像機獲取的跨越預定距離(40mm長)的脆性材料基板2的端面部的圖像數據進行的圖像處理，被表示成具有0～255的階段(等級)的濃淡度的濃度。將反射光的光量處于作為預定的上限值的判定最高濃度和作為預定的下限值的判定最低濃度之間作為端面部質量的判定標準。即，在從端面部的某處反射的反射光的光量處于判定最高濃度和判定最低濃度之間的情況下，判定為該端面部的某處沒有異常，在從端面部的某處反射的反射光的光量超過該判定最高濃度的情況下或者低于判定最低濃度的情況下，判定為該端面部的某處存在異常。
判定脆性材料基板2的端面部的質量優良與否時，有通過第1CCD攝像機14a及第2CCD攝像機15a攝像的從脆性材料基板2的端面部的同一位置反射的光量兩者都不在判定最高濃度和判定最低濃度之間的情況，也有通過第1CCD攝像機14a及第2CCD攝像機15a攝像的從脆性材料基板2的端面部的同一位置反射的光量的僅僅一方不在判定最高濃度和判定最低濃度之間的情況。考慮到這種情況，在通過第1CCD攝像機14a及第2CCD攝像機15a的至少任意一方攝像的從脆性材料基板2的端面部的同一位置反射的反射光的光量不在判定最高濃度和判定最低濃度之間的情況下，判定為該端面部的該處質量不良。同樣，在通過第3CCD攝像機14b及第4CCD攝像機15b的任意一方攝像的從脆性材料基板2的端面部的同一位置反射的反射光的光量不在判定最高濃度和判定最低濃度之間的情況下，判定為該端面部的該處質量不良。
在步驟S54中，判定是否已經跨越脆性材料基板2的一邊的全長完成掃描。在沒有經過脆性材料基板2的一邊的全長完成掃描的情況下，在步驟S51中，重新執行下面的跨越預定距離(40mm長)來進行端面部的圖像數據的制作。這里，脆性材料基板2的端面部的質量的優良與否的判定以每個預定距離(40mm長)進行劃分是為了，使工作臺1按預定的速度移動時，如果是在預定距離(40mm長)中收集到的數據，能在該預定距離(40mm長)的移動時間內進行圖像判定，對應圖像處理設備和定序器的處理能力，可以使工作臺1的移動速度及預定距離(這里的說明中是40mm長的設定值)改變。另外，在選定圖像處理裝置及CCD攝像機的情況下，本發明的檢查裝置的檢查能力和工作臺1的移動速度被選定的圖像處理裝置的存儲器和CCD攝像機的像素數所左右。
在步驟S14中，判定為脆性材料基板2的端面部的質量不良后，在步驟S15中，將工作臺1旋轉90°，對應工作臺1的90°旋轉使第1檢查裝置(10a～17a)及第2檢查裝置(10b～17b)朝預定位置移動。此外，在步驟S16中，工作臺開始向預定的卸載位置(除材位置)移動，然后，在步驟S17中，對剩余兩邊的端面部進行和步驟S14同樣的檢查。
在步驟S18中，檢查完成后工作臺1向預定的卸載位置移動。然后，在步驟S19中，至此獲取到的端面部的圖像數據被復位，在步驟S20中，判斷接著進行檢查的脆性材料基板2是否處在預定的待機位置。在接著進行檢查的脆性材料基板2處在預定的待機位置的情況下，返回步驟S7，重復進行所述的一系列的檢查。接著進行檢查的脆性材料基板2不在預定的待機位置上的情況下，檢查完成。
如上所述，為了識別脆性材料基板的角，CCD攝像機之類的攝像機構是必需的，但是，如果僅僅檢查從脆性材料基板的端面部反射的反射光的光量從而僅僅檢查端面部上有無缺口，也可以僅僅使用價格低廉的受光元件(受光素子)代替CCD攝像機。
本發明提供一種可以檢查脆性材料基板的端面部的缺口的檢查裝置。為了檢查這樣的脆性材料基板的端面部的缺口，必須對照明的角度等進行輕微的調節。本發明中，使第1LED光源16a、第3LED光源16b的光軸和第1CCD攝像機14a、第3CCD攝像機14b的攝像中心大致一致，并且第2LED光源17a、第4LED光源17b的角度，如圖7所示，相對脆性材料基板的表面以30°～60°的角度(最好是30°～45°的角度)從脆性材料基板2的端面部兩側進行照射，由此可以自動進行前述的缺口的檢查。
并且，如圖8a及圖8b所示，通過透射照明112從下方照射透明的脆性材料基板111的下表面時，可以檢查出透明脆性材料基板的端面部及端面部內部的裂縫等。圖8a是表示透射照明112、透明脆性材料基板111、CCD攝像機113的位置關系圖的側視圖，圖8b是其正面圖。在圖8a及圖8b的例中，CCD攝像機113是在使透射透明脆性材料基板111的光相對透明脆性材料基板111的表面在一個方向上大約傾斜60°的狀態下受光的結構。
并且，本發明的檢查裝置，可以基于從脆性材料基板的端面部的某處反射的反射光的光量與判定最高濃度和判定最低濃度的濃度差，判定脆性材料基板的端面部的質量不良的類型。作為可以判定的脆性材料基板的端面部的質量不良的類型，在使用第1LED光源16a、第3LED光源16b作為光源的情況下，可以列舉出測長(測長)、缺口、剜口(エグレ)、貝殼狀缺口、(端面的)起伏、(脆性材料基板上的)貼合密封的密封切片(シ一ル切ね)、破損等，在使用第2LED光源17a、第4LED光源17b作為光源的情況下，可以列舉缺口、剜口、貝殼狀缺口、破碎殘留(破斷殘り)、薄皮殘留(薄皮殘り)、(液晶面板基板上的)封入口干貝狀缺口(封入口貝柱欠け)等。另外，作為可以判定的透明脆性材料基板的端面部的質量不良的種類，在相對作為光源的透射照明垂直地設置攝像機的情況下，可以列舉缺口、貝殼狀缺口、缺角(コ一ナ欠け)等，在相對作為光源的透射照明傾斜地設置攝像機的情況下，可以列舉裂縫等。
工業上的可利用性如上所述，本發明提供一種在脆性材料基板的端面部上照射光，在來自脆性材料基板的端面部的反射光的光量超過預定的上限值、及低于預定的下限值時，判定為脆性材料基板的端面部上具有與缺陷相關的缺口(品質不良)，由此提供一種使用比較簡單的設備構造就可以高精度地檢查出脆性材料基板的端面部的缺陷的檢查方法及其裝置。
權利要求
1.一種脆性材料基板端面部的檢查裝置，其特征在于具備以水平狀態載置脆性材料基板的工作臺；使該工作臺朝預定方向移動的工作臺移動機構；使該工作臺沿著水平方向旋轉的工作臺水平旋轉機構；在該脆性材料基板的端面部上照射光的光源；接收被該光源照射從而由該脆性材料基板的端面部反射的反射光的光量檢測機構；及，根據由該光量檢測機構所接收的來自所述端面部的反射光的光量來判定所述端面部的品質的優劣的判定機構。
2.根據權利要求1所述的脆性材料基板端面部的檢查裝置，其特征在于，所述判定機構是，預先設定所述光量檢測機構接收的反射光的光量的上限值及下限值，在該光量檢測機構中接收的反射光的光量超過該上限值時、或者低于該下限值時，判定為所述脆性材料基板的端面部品質不良。
3.根據權利要求1所述的脆性材料基板端面部的檢查裝置，其特征在于，所述判定機構對所述脆性材料基板的端面部的品質不良的類型進行區分。
4.根據權利要求1或2所述的脆性材料基板端面部的檢查裝置，其特征在于，所述光源具有相對所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1光源和從所述脆性材料基板的端面部的兩側向傾斜方向照射的第2光源，所述光量檢測機構具有在通過該第1光源向該脆性材料基板的端面部上照射光的情況下，檢測來自該脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1光量檢測機構，及，在通過該第2光源向該脆性材料基板的端面部上照射光的情況下，檢測照射光的來自脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第2光量檢測機構，并使用所述第1光量檢測機構和所述第2光量檢測機構中的至少一個光量檢測機構。
5.根據權利要求1所述的脆性材料基板端面部的檢查裝置，其特征在于，所述光量檢測機構是CCD攝像機。
6.根據權利要求1所述的脆性材料基板端面部的檢查裝置，其特征在于，所述光量檢測機構是受光元件。
7.根據權利要求1所述的脆性材料基板端面部的檢查裝置，其特征在于，具有將所述脆性材料基板的形成角的兩邊進行攝像從而獲取該脆性材料基板的形成角的兩邊的圖像數據的攝像機構，并基于該圖像數據識別所述脆性材料基板的角的位置。
8.根據權利要求7所述的脆性材料基板端面部的檢查裝置，其特征在于，所述攝像機構是CCD攝像機。
9.一種脆性材料基板端面部的檢查方法，用于判定脆性材料基板的端面部的質量的優劣，其特征在于具有沿著該端面部相對移動地在該端面部上照射光的步驟；接收來自該端面部的反射光的步驟；及，基于接收的該反射光的光量判定該端面部的質量的優劣的步驟。
10.根據權利要求9所述的脆性材料基板端面部的檢查方法，其特征在于，所述判定步驟是，預先設定接收的所述反射光的光量的上限值及下限值，在接收的該反射光的光量超過上限值時、或者低于下限值時，判定所述脆性材料基板的端面部品質不良的步驟。
11.根據權利要求9所述的脆性材料基板端面部的檢查方法，其特征在于，所述判定步驟進一步具有區別所述脆性材料基板的端面部的品質不良的類型的步驟。
12.根據權利要求9或10所述的脆性材料基板端面部的檢查方法，其特征在于，所述照射步驟具有相對所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1照射步驟和從所述脆性材料基板的端面部的兩側在傾斜方向上照射光的第2照射步驟，所述接收光的步驟具有，在通過該第1照射步驟在所述脆性材料基板的端面部上照射光的情況下，接收來自該脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1接收光步驟，及，在由該第2照射步驟向該脆性材料基板的端面部上照射光的情況下，接收照射光的來自脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第2接收光步驟，并進行所述第1接收光步驟和所述第2接收光步驟中的至少任意一個。
13.根據權利要求9所述的脆性材料基板端面部的檢查方法，其特征在于，所述接收光步驟是通過CCD攝像機來進行的。
14.根據權利要求9所述的脆性材料基板端面部的檢查方法，其特征在于，所述接收光步驟是通過受光元件來進行的。
15.根據權利要求9所述的脆性材料基板端面部的檢查方法，其特征在于，具有對所述脆性材料基板的形成角的兩邊進行攝像，并獲取該脆性材料基板的形成角的兩邊的圖像數據的步驟，及，基于該圖像數據識別所述脆性材料基板的角的位置的步驟。
16.根據權利要求15所述的脆性材料基板端面部的檢查方法，其特征在于，獲取所述兩邊的圖像數據的步驟是通過CCD攝像機來進行的。
全文摘要
本發明的脆性材料基板端面部的檢查裝置具有，在向預定方向移動的工作臺上在水平狀態下被載置的脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)上照射光的光源(16a、17a、16b、17b)，以及，接收從脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)反射的反射光的光量檢測機構(14a、15a、14b、15b)，當接收的反射光的光量超過預定的上限值、或者低于預定的下限值時，判斷為脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)存在缺口。
文檔編號G01N21/88GK1537227SQ0281324
公開日2004年10月13日 申請日期2002年11月18日 優先權日2001年11月20日
發明者船田秀明, 吉村浩昭, 昭 申請人:三星寶石工業株式會社