專利名稱：用于擴散爐的防爆源瓶的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種源瓶，尤其涉及一種用于擴散爐的防爆源瓶。
背景技術：
擴散爐是一種半導體工藝設備，主要用于摻雜工藝，特別在晶體硅太陽能電池生產中，擴散爐是唯一的摻雜設備，是制造工藝中對PN結的生成、轉換效率的提高起決定性的關鍵設備。 現在的擴散爐大多做磷擴散，用石英瓶做源瓶裝存液態的P0C13，把N2通入到石英源瓶中，鼓泡攜帶P0C13進入工藝管中，高溫狀態裂變產生磷。為了很好地控制N2攜帶P0Cl3的量，通常把石英源瓶置放在恒溫水槽中。這種方法存在著嚴重的安全隱患。因為石英器件是一種脆性材料，在制造過程中易產生應力集中，在搬運過程中，若有碰撞、磕碰等易產生隱裂。在使用時，帶壓力的氣體通入瓶中，瓶外溫度巨變，這些應力集中和隱裂極易造成石英瓶破裂。若石英源瓶破裂后，液態的P0Cl3就會流入水中，與水發生劇烈化學反應P0C13+3H20 —H3P04+3HC1。這種反應生成物以霧狀噴發，迅速彌漫在四周，危險性較大。生成的霧狀磷酸和鹽酸是有毒物品，對呼吸道有剌激，眼睛接觸會致灼傷，造成永久性損害，皮膚接觸可致嚴重灼傷。并且磷酸、鹽酸是一種腐蝕性物質，對人體同樣有害，對設備、儀器、廠房設施產生腐蝕。
發明內容本實用新型為了解決現有石英源瓶易破裂造成安全隱患的缺陷，提供一種用于擴
散爐的防爆源瓶，它通過用柔性的高分子材料作為源瓶的制作材料，有效提高源瓶的可靠性。
為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案用于擴散爐的防爆源瓶，包
括瓶體及設置在瓶體上的管體；所述瓶體為聚四氟乙烯(PTFE)或可熔性聚四氟乙烯(PFA)
材質，在瓶體上設有向外凸起的加強筋。 所述加強筋包括環繞瓶體的橫向筋條及縱向筋條。 所述加強筋為PTFE或PFA材質。 所述管體為PTFE或PFA材質。 所述瓶體為封閉的圓柱形體，管體配合在圓柱形體頂面，加強筋設置在圓柱形體的外圓柱面上。 本實用新型通過改換源瓶的材料，將脆性的石英材料換成柔性的PTFE或PFA材料，耐腐蝕、耐高(低)溫、耐老化，具有一定的機械強度，做成密封瓶后，無應力、無隱裂、不怕碰撞；同時在瓶身設置了增加強度的加強筋，就能夠很大程度上消除破裂隱患，在裝載、使用源瓶時大大減少爆瓶的危險。
以下結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的說明[0012]
圖1為本實用新型剖視結構示意圖。
具體實施方式
如圖1所示一種用于擴散爐的防爆源瓶，包括封閉的空心圓柱形瓶體1及設置在瓶體上的管體3。在圓柱形瓶體l的外圓柱面上設有向外凸起的加強筋2，加強筋2包括橫向筋條及縱向筋條，橫向筋條環繞瓶體1。所述瓶體1、加強筋2及管體3均為PTFE或PFA材質。所述管體3穿透并固定于圓柱形瓶體1的頂面。 前述僅為本實用新型的優選實施例，所述瓶體1也可以制成其他適宜形狀；加強筋2也可以設置在瓶體1內部或采用其它結構、布局；管體3可單獨采用其它材質(參照圖1)。 所述的PTFE(聚四氟乙烯，俗稱塑料王)是含氟塑料中用途最廣的品種，具有優異的綜合性能耐腐蝕、耐高(低)溫、耐老化、高絕緣、高潤滑、不粘附、無毒害。廣泛用于航空、化工、電子、橋梁、紡織、機械、造紙、陶瓷等行業。用作電絕緣件、密封襯墊、防粘、自潤滑零件等，特別常用作腐蝕性液體和氣體的輸送管、容器。PFA(四氟乙烯與全氟烷基乙烯基醚共聚物，俗稱可熔性聚四氟乙烯)保持了 PTFE的優異的化學穩定性，耐高、低溫性能，介電性能。自潤滑性、抗粘性、不燃性和耐老化性能。其突出的特點是耐折、耐開裂性能好，高溫時的機械強度是PTFE的1.6倍以上。常用于各種防腐、密封、減磨、絕緣零件等，特別常用作腐蝕性液體和氣體的輸送管、容器。 使用這種源瓶的擴散爐，在裝載、使用源瓶時就會大大減少爆瓶的危險。PTFE或PFA材料做的源瓶，由于是柔性材料，并且可以耐腐蝕、耐高(低)溫、耐老化，具有一定的機械強度，做成密封瓶后，無應力，無隱裂，不怕碰撞，并且有加強筋增加強度，就能夠很大程度上消除危害隱患。
權利要求一種用于擴散爐的防爆源瓶，包括瓶體(1)及設置在瓶體上的管體(3)，其特征在于所述瓶體(1)為PTFE或PFA材質，在瓶體(1)上設有向外凸起的加強筋(2)。
2 根據權利要求1所述的用于擴散爐的防爆源瓶，其特征在于所述加強筋(2)包括環繞瓶體(1)的橫向筋條及縱向筋條。
3. 根據權利要求2所述的用于擴散爐的防爆源瓶，其特征在于所述加強筋(2)為PTFE或PFA材質。
4. 根據權利要求3所述的用于擴散爐的防爆源瓶，其特征在于所述管體(3)為PTFE或PFA材質。
5. 根據權利要求1至4任一項所述的用于擴散爐的防爆源瓶，其特征在于所述瓶體(1)為封閉的圓柱形體，管體(3)配合在圓柱形體頂面，加強筋(2)設置在圓柱形體的外圓柱面上。
專利摘要本實用新型公開了一種用于擴散爐的防爆源瓶，這種技術和裝置主要應用于擴散爐中；它包括瓶體及設置在瓶體上的管體，所述瓶體為PTFE或PFA材質，在瓶體上設有向外凸起的加強筋。本實用新型通過改換源瓶的材料，將脆性的石英材料換成柔性的PTFE或PFA材料，耐腐蝕、耐高(低)溫、耐老化，具有一定的機械強度，做成密封瓶后，無應力、無隱裂、不怕碰撞；同時在瓶身設置了增加強度的加強筋，就能夠很大程度上消除破裂隱患，在裝載、使用源瓶時大大減少爆瓶的危險。
文檔編號F17C1/16GK201487540SQ20092020416
公開日2010年5月26日 申請日期2009年8月28日 優先權日2009年8月28日
發明者伍波, 張勇, 李果山 申請人:深圳市捷佳偉創微電子設備有限公司