閥設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種配備有隔片(diaphragm)的閥設備，隔片打開和閉合在第一端口和第二端口之間建立連通并且液體流經的流體通道。
【背景技術】
[0002]迄今為止，一種配備有本體的閥設備已經被廣泛地使用，在本體中形成有流體通道和隔片，該流體通道在第一端口和第二端口之間建立連通并且液體流經該流體通道，該隔片通過遠離或者座設在本體內形成的閥座上而打開和閉合該流體通道。在這類閥設備中，例如，如果腐蝕流體(例如臭氧或者超純水)被用作為壓力流體，那么隔片和本體分別由耐腐蝕性的氟樹脂構成。
[0003]盡管如此，如果本體和隔片都是由這樣一種非導電材料的氟樹脂構成的，由于隔片和閥座之間的摩擦或者隔片和壓力流體之間的摩擦會產生靜電。此外，當靜電累積在隔片中時，會發生可能導致隔片損壞的絕緣擊穿(火花放電)。
[0004]因此，包括用于防止隔片的絕緣擊穿的機構的閥設備已經被提出。例如在日本專利N0.4705490中，公開了這樣的技術構思:在配備有隔片保持器的隔膜閥(diaphragmvalve)中，該隔片保持器具有用于保持隔片的外邊緣的非導電的第一彈性構件和經由導電片狀物附接到第一彈性構件下側的第二彈性構件，產生在隔片保持器附近的靜電通過該導電片狀物被弓I出到接地線。
[0005]進一步，例如在日本專利N0.4461087中，公開了這樣的技術構思:抗腐蝕性的導電構件布置在通孔中，該通孔貫穿流體通道在隔片的膜部附近(外邊緣)的一側，并且設置有O形環以實現導電構件和構成通孔的壁表面之間的密封，其中，產生在隔片中的靜電經由導電構件被弓I出到接地線。
[0006]更進一步，在日本特開專利申請N0.2010—121689中，公開了這樣的技術構思:螺旋狀導電膜形成在隔片的不接觸到壓力流體的一側，和在隔片中產生的靜電經由該導電膜被引出到接地。

【發明內容】

[0007]然而，利用傳統技術，例如上述日本專利N0.4705490，因為第一彈性構件和第二彈性構件都與壓力流體保持接觸，可用的壓力流體限于不引起第一彈性構件和第二彈性構件腐蝕的無腐蝕性壓力流體。進一步，因為導電片狀物被夾在第一彈性構件和第二彈性構件之間，會有一種可能:壓力流體會從第一彈性構件和導電片狀物之間的間隙以及第二彈性構件和導電片狀物之間的間隙中泄漏，同時隔片保持部的結構是復雜的，導致了生產成本的上升。進一步，因為當隔片彈性變形(彎曲)時易于受到負載的隔片的外邊緣被夾在中間并且由第一彈性構件支撐，所以存在隔片保持部的耐用性問題。
[0008]利用日本專利N0.4461087的傳統技術，因為導電構件布置在隔片外邊緣在上形成的通孔中，為了可靠地抑制隔片的絕緣擊穿，所以必須沿著隔片的周向設置多個導電構件。然而，在這種情況下，因為組成導電構件和O形環的零件的數目增加，生產成本趨于上升。
[0009]利用日本特開專利申請N0.2010—121689的傳統技術，隔片中產生的靜電被吸引到導電膜上，并且被導出到地。然而因為導電膜形成在隔片的不接觸到壓力流體的一側，產生在壓力流體流經的液體流動路徑內的靜電不能被引導到導電膜，因此，所以存在隔片的絕緣擊穿不能被可靠地抑制的問題。
[0010]考慮上述問題的同時，本發明被設計，同時本發明的目的是提供一種閥設備，其中，能夠利用簡單結構可靠地抑制隔片的絕緣擊穿，并且能夠實現降低制造成本。
[0011 ] 根據本發明閥設備包括:本體，該本體包括流體通道，該流體通道在第一端口和第二端口之間建立連通，并且壓力流體流經該流體通道；隔片，該隔片可位移地布置在本體的內部，并且通過與閥座分離和通過座設在閥座上而打開和閉合流體通道；導電軸，該導電軸布置在通孔中，通孔實質上形成在隔片的中心；和接地構件，該接地構件被構造成使導電軸接地；其中，本體和隔片中的每一個都由非導電材料形成，導電軸的一端表面暴露于流體通道。
[0012]根據本發明閥設備，產生在隔片中的靜電通過布置在實質上形成在隔片中心的通孔中的導電軸被導出到接地構件，因此隔片中的靜電累積被抑制。因此，能夠利用簡單結構可靠地抑制隔片的絕緣擊穿，并且能夠實現降低制造成本。
[0013]在上述閥設備中，導電軸可以包括:小直徑部，該小直徑部布置在通孔中；和大直徑部，該大直徑部布置在小直徑部的另一端；并且其中，環形密封突起形成在隔片的另一表面上，環形密封突起接觸大直徑部的一個表面并且形成大直徑部和隔片之間的密封。
[0014]利用這樣結構，因為形成隔片和大直徑部之間的密封的環形密封突起形成在隔片的另一表面，所以能夠抑制壓力流體從流體通道泄漏。
[0015]在上述閥設備中，導電軸可以包括:小直徑部，該小直徑部布置在通孔中；和大直徑部，該大直徑部布置在小直徑部的另一端；并且其中，環形彈性構件介于隔片的另一表面和大直徑部的一個表面之間，環形彈性構件形成大直徑部和隔片之間的密封。
[0016]利用這樣的結構，因為形成隔片和大直徑部之間密封的環形彈性構件介于隔片的另一表面和大直徑部的一個表面之間，所以能夠抑制壓力流體從流體通道泄漏。
[0017]在上述閥設備中，導電軸可以由包含碳纖維的聚苯硫醚制成，或者可以由具有耐腐蝕性的金屬材料制成。在這種情況下，即使腐蝕性流體被用作壓力流體，也能夠抑制導電軸的腐蝕，并且產生在隔片中的靜電能夠被可靠地消除。
[0018]上述的閥設備可以進一步包括:導電構件，該導電構件布置在隔片的外邊緣的外表面上；和導電保持部，該導電保持部在與導電構件電連接的情況下保持隔片的外邊緣；其中，接地構件通過保持部使導電構件接地；并且導電構件的一部分暴露于流體通道。
[0019]根據這樣的結構，在隔片中產生的靜電經由保持部和布置在隔片的外邊緣的外表面的導電構件被引出到接地構件。因此，隔片的絕緣擊穿可以被更加可靠地抑制。
[0020]根據本發明的閥設備包括:本體，該本體包括流體通道，該流體通道在第一端口和第二端口之間建立連通并且壓力流體流經該流體通道；隔片，該隔片可位移地布置在本體的內部，并且通過與閥座分離和通過座設在閥座上而打開和閉合流體通道；導電構件，該導電構件布置在隔片的外邊緣的外表面上；導電保持部，該導電保持部在與導電構件電連接的情況下保持隔片的外邊緣；和接地構件，該接地構件被構造成通過保持部使導電構件接地；其中，本體和隔片中的每一個都由非導電材料形成；并且導電構件的一部分暴露于流體通道。
[0021]根據本發明的閥設備，產生在隔片中的靜電經由保持部和布置在隔片外邊緣的外表面上的導電構件被導出到接地構件，因此，隔片中的靜電累積能夠被抑制。因此，能夠利用簡單結構可靠地抑制隔片的絕緣擊穿，并且能夠實現降低制造成本。
[0022]在上述閥設備中，導電構件可以由碳纖維制成。在這種情況下，產生在隔片中的靜電能夠通過導電構件被有效地引導到保持部。
[0023]根據本發明，因為產生在隔片中的靜電經由導電軸或者導電構件被引出到接地構件，所以能夠利用簡單結構可靠地抑制隔片的絕緣擊穿，并且能夠實現降低制造成本。
[0024]通過結合附圖閱讀本發明的下述實施例，本發明的其它目的、優勢和新穎特征將變得更加明顯，其中本發明的較優實施例以說明性實例的方式顯示。
【附圖說明】
[0025]圖1是根據本發明的第一實施例閥設備的豎直截面圖；
[0026]圖2是閥設備的一部分的放大截面圖；
[0027]圖3是展示圖1中的閥設備的打開狀態的豎直截面圖；
[0028]圖4是閥設備的修改例的一部分的放大截面圖；
[0029]圖5是根據本發明的第二實施例的閥設備的豎直截面圖；
[0030]圖6是閥設備的一部分的放大截面圖；
[0031]圖7是部分地顯示在圖5所示的隔片和導電構件的截面中的立體圖；
[0032]圖8是根據本發明的第三實施例的閥設備的豎直截面圖；
[0033]圖9是閥設備的一部分的放大截面圖。
【具體實施方式】
[0034]