潔凈式真空系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及真空栗技術領域，尤其涉及潔凈式真空系統。
【背景技術】
[0002]隨著工業的發展，人們對生產的潔凈度要求越來越高，特別是半導體器件生產，化工藥物等；純凈度要求非常高，因此需要對加工空間進行抽真空處理。目前的抽真空方式為:直接用真空栗進行抽真空并對外排氣，然而直接對外排氣會造成污染，污染環境，其次真空栗在抽真空時，粉塵等顆粒物質容易進入，造成對真空栗的損傷。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的在于解決現有技術的不足，提供一種潔凈式真空系統，該真空系統可以避開污染，達到潔凈式的抽真空；同時起到保護真空栗的效果。
[0004]為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案為:
[0005]一種潔凈式真空系統，包括機械真空栗和管道，所述機械真空栗的進氣口通過管道連接有進氣過濾器，機械真空栗的出氣口通過管道連接有排氣過濾器。
[0006]進一步地，所述進氣過濾器包括一個殼體，殼體內設置有至少一層過濾芯體，所述過濾芯體的兩側設有海綿層。
[0007]進一步地，所述進氣過濾器包括一個殼體，殼體內設有兩塊極板和直流電源，兩塊極板分別與直流電源的兩極電連接。
[0008]進一步地，所述排氣過濾器包括一個用于盛裝有機液體的容器，容器的底部設有用于進氣管道，進氣管道安裝有單向閥，所述容器的上端設有出氣管道，出氣管道也設有單向閥。
[0009]進一步地，所述排氣過濾器通過管道連接有儲氣罐。
[0010]進一步地，所述儲氣罐連接有真空壓力表，儲氣罐與排氣過濾器之間設有單向閥。
[0011]進一步地，所述潔凈式真空系統還包括一個控制箱，控制箱分別與真空壓力表、機械真空栗信號連接。
[0012]進一步地，所述儲氣罐連接有排氣管道。
[0013]本實用新型取得的有益效果為:本實用新型通過設置進氣過濾器和排氣過濾器，使得機械真空栗抽氣時，避免灰塵進入保護真空栗；其次，排氣時，避免潤滑油氣化直排入空氣，污染環境。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實施例1的一種結構示意圖。
[0015]圖2是進氣過濾器的一種剖視結構示意圖。
[0016]圖3是排氣過濾器的一種剖視結構示意圖。
[0017]附圖標記為:
[0018]I一一排氣管道2—一儲氣罐3—一管道
[0019]4一一機械真空栗5—一控制箱6—一進氣過濾器
[0020]7——排氣過濾器61——海綿層62——殼體
[0021]63——過濾芯體71——容器72——進氣管道
[0022]73——單向閥74——出氣管道。
【具體實施方式】
[0023]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型做進一步地說明書。
[0024]實施例:參見圖1、圖2、圖3。
[0025]一種潔凈式真空系統，包括機械真空栗4和管道，所述機械真空栗4的進氣口通過管道連接有進氣過濾器6，機械真空栗4的出氣口通過管道連接有排氣過濾器7。
[0026]目前，機械真空栗4在抽真空時，會將空氣中的粉塵及其固體顆粒吸入到機械真空栗4內，粉塵進入機械真空栗4后，會附著到機械真空栗4的內腔，影響到機械真空栗4的密封性，尤其是旋片式真空栗；在進氣口設置進氣過濾器6后，可以將粉塵等顆粒物質過濾，起到保護真空栗的作用。其次，機械真空栗4在工作時，內部的潤滑油容易發生氣化，然后排出體外，潤滑油對環境有污染，在出氣口連接排氣過濾器7，可以起到凈化的作用，防止污染，達到潔凈式抽真空的效果。
[0027]進一步地，所述進氣過濾器6包括一個殼體62，殼體62內設置有至少一層過濾芯體63，所述過濾芯體63的兩側設有海綿層61。
[0028]進氣過濾器6可以采用孔徑過濾的方式，將粉塵過濾掉。過濾時，只要采用過濾芯體63，并以海綿作為輔助。過濾芯體63可以采用炭包之類等。
[0029]進一步地，作為等同變化，所述進氣過濾器6包括一個殼體，殼體內設有兩塊極板和直流電源，兩塊極板分別與直流電源的兩極電連接。
[0030]進氣過濾器6采用電離吸附的方式，氣體流經殼體的兩塊極板之間的空間，氣體被電離，粉塵帶上電荷，因此，吸附到極板上。
[0031]進一步地，所述排氣過濾器包括一個用于盛裝有機液體的容器71，容器71的底部設有用于進氣管道72，進氣管道72安裝有單向閥73，所述容器71的上端設有出氣管道74，出氣管道74也設有單向閥73。
[0032]由于排氣過濾器主要用于去除氣體內的潤滑油氣體，因此，設置有盛裝機液體的容器71進行過濾；吸收潤滑油。有機液體可以為酒精、醋酸等。
[0033]進一步地，所述排氣過濾器7通過管道3連接有儲氣罐2。
[0034]由于抽真空的對象可能是有害氣體，因此不適宜直接排空，需要將其收集，然后集中處理；因此氣體通過排氣過濾器7進入到儲氣罐2中。
[0035]進一步地，所述儲氣罐2連接有真空壓力表，儲氣罐2與排氣過濾器7之間設有單向閥(圖中未畫出)。
[0036]由于儲氣罐2用于存儲氣體，儲氣罐2的氣體不斷增加，因此其壓強也在不斷增長；會給機械真空栗4的排氣帶來影響，因此設置真空壓力表，當儲氣罐2的壓強達到一定程度時，換一個儲氣罐2進行儲氣。其次，避免儲氣罐2內氣體因壓強過大，反灌入機械真空栗4內，設置單向閥。
[0037]進一步地，所述潔凈式真空系統還包括一個控制箱5，控制箱5分別與真空壓力表、機械真空栗4信號連接。
[0038]由于該系統在操作時，需要有人去觀察真空壓力表；以防止影響到抽氣。提高自動化程度。
[0039]進一步地，所述儲氣罐2連接有排氣管道I，所述排氣管道I連接有控制閥。
[0040]當儲氣罐2儲氣到一定程度，通過排氣管道I輸入到回收池內，控制閥用于控制流量。
[0041]以上僅是本申請的較佳實施例，在此基礎上的等同技術方案仍落入申請保護范圍。
【主權項】
1.潔凈式真空系統，包括機械真空栗和管道，其特征在于:所述機械真空栗的進氣口通過管道連接有進氣過濾器，機械真空栗的出氣口通過管道連接有排氣過濾器。2.根據權利要求1所述的潔凈式真空系統，其特征在于:所述進氣過濾器包括一個殼體，殼體內設置有至少一層過濾芯體，所述過濾芯體的兩側設有海綿層。3.根據權利要求1所述的潔凈式真空系統，其特征在于:所述進氣過濾器包括一個殼體，殼體內設有兩塊極板和直流電源，兩塊極板分別與直流電源的兩極電連接。4.根據權利要求1或2或3所述的潔凈式真空系統，其特征在于:所述排氣過濾器包括一個用于盛裝有機液體的容器，容器的底部設有用于進氣管道，進氣管道安裝有單向閥，所述容器的上端設有出氣管道，出氣管道也設有單向閥。5.根據權利要求4所述的潔凈式真空系統，其特征在于:所述排氣過濾器通過管道連接有儲氣罐。6.根據權利要求5所述的潔凈式真空系統，其特征在于:所述儲氣罐連接有真空壓力表，儲氣罐與排氣過濾器之間設有單向閥。7.根據權利要求6所述的潔凈式真空系統，其特征在于:所述潔凈式真空系統還包括一個控制箱，控制箱分別與真空壓力表、機械真空栗信號連接。8.根據權利要求7所述的潔凈式真空系統，其特征在于:所述儲氣罐連接有排氣管道。
【專利摘要】本實用新型涉及抽真空技術領域，尤其涉及潔凈式真空系統。本實用新型包括機械真空泵和管道，所述機械真空泵的進氣口通過管道連接有進氣過濾器，機械真空泵的出氣口通過管道連接有排氣過濾器。本實用新型通過設置進氣過濾器和排氣過濾器，使得機械真空泵抽氣時，避免灰塵進入保護真空泵；其次，排氣時，避免潤滑油氣化直排入空氣，污染環境。
【IPC分類】F04B37/14, F04B39/16
【公開號】CN204805061
【申請號】CN201520331428
【發明人】何文財
【申請人】東莞市雅之雷德機電科技有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年5月21日