本發明屬于微機電(dian)系統(mems)技術領域(yu),具體涉(she)及一種擠(ji)壓膜阻尼(ni)最大(da)的平板電(dian)容(rong)微執行器。

背景技術：

帶有活動(dong)極(ji)板(ban)的平板(ban)電容是(shi)許多微執行器(qi)件(jian)的核心部分，這類(lei)器(qi)件(jian)在靜電力作用下(xia)發生運動(dong)，一般采用si材料制(zhi)造(zao)，因為體積小，結構簡單，越來越被各(ge)個行業所廣泛采用。

根據(ju)s.d.senturia,microsystemdesign,kluweracademicpublishers,2001p134可知，靜電驅動(dong)(dong)力(li)(li)與(yu)極(ji)(ji)板(ban)(ban)間距g0的(de)(de)(de)(de)(de)平方成反比(bi)。為了(le)能用(yong)小(xiao)的(de)(de)(de)(de)(de)驅動(dong)(dong)電壓產生(sheng)較(jiao)大的(de)(de)(de)(de)(de)驅動(dong)(dong)力(li)(li)，活(huo)動(dong)(dong)極(ji)(ji)板(ban)(ban)和固定極(ji)(ji)板(ban)(ban)必須(xu)比(bi)較(jiao)靠(kao)近，即：g0遠(yuan)(yuan)遠(yuan)(yuan)小(xiao)于活(huo)動(dong)(dong)極(ji)(ji)板(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)邊長(chang)。此時(shi)，當活(huo)動(dong)(dong)極(ji)(ji)板(ban)(ban)向(xiang)下運動(dong)(dong)時(shi)，間隙中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)氣體(ti)(ti)被壓縮、被擠出(chu)；當活(huo)動(dong)(dong)極(ji)(ji)板(ban)(ban)向(xiang)上運動(dong)(dong)時(shi)，間隙中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)氣體(ti)(ti)被擴張，間隙周圍的(de)(de)(de)(de)(de)氣體(ti)(ti)則(ze)被吸進間隙，這(zhe)(zhe)個(ge)(ge)效(xiao)應(ying)使(shi)得間隙內外(wai)產生(sheng)了(le)壓力(li)(li)差(cha)(cha)，這(zhe)(zhe)個(ge)(ge)壓力(li)(li)差(cha)(cha)有阻尼效(xiao)應(ying)，這(zhe)(zhe)個(ge)(ge)阻尼效(xiao)應(ying)就是(shi)擠壓膜阻尼。

現階段，因為平(ping)(ping)板(ban)電(dian)(dian)(dian)容(rong)微(wei)執(zhi)行器(qi)力的(de)大(da)(da)(da)小(xiao)可以通過(guo)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)來控制，因而大(da)(da)(da)家都更多的(de)關注于力與(yu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)和(he)板(ban)間距的(de)非線性關系(xi)，希望利(li)用(yong)公式推導最(zui)終通過(guo)調(diao)(diao)節電(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)大(da)(da)(da)小(xiao)和(he)板(ban)間距來控制此類微(wei)執(zhi)行器(qi)的(de)輸出(chu)力大(da)(da)(da)小(xiao)，卻忽略了(le)平(ping)(ping)板(ban)電(dian)(dian)(dian)容(rong)微(wei)執(zhi)行器(qi)的(de)擠壓(ya)(ya)膜(mo)阻(zu)(zu)尼(ni)(ni)問題。當發生擠壓(ya)(ya)膜(mo)阻(zu)(zu)尼(ni)(ni)時(shi)，若擠壓(ya)(ya)膜(mo)阻(zu)(zu)尼(ni)(ni)過(guo)小(xiao)，容(rong)易(yi)導致器(qi)件(jian)啟動時(shi)，活動電(dian)(dian)(dian)極板(ban)瞬態(tai)超調(diao)(diao)量很大(da)(da)(da)，收斂較(jiao)慢；而器(qi)件(jian)停(ting)止時(shi)，振幅衰(shuai)減又較(jiao)慢。超調(diao)(diao)量較(jiao)大(da)(da)(da)的(de)活動電(dian)(dian)(dian)極板(ban)容(rong)易(yi)與(yu)周(zhou)圍(wei)其它部分相碰撞(zhuang)，為了(le)克服避免碰撞(zhuang)，活動電(dian)(dian)(dian)極板(ban)與(yu)周(zhou)圍(wei)的(de)間隙必須較(jiao)大(da)(da)(da)，但這又會使得器(qi)件(jian)總體尺寸(cun)也(ye)較(jiao)大(da)(da)(da)，因而如何提高擠壓(ya)(ya)膜(mo)阻(zu)(zu)尼(ni)(ni)，有效控制瞬態(tai)超調(diao)(diao)量和(he)振幅衰(shuai)減，是本領域技術人員急(ji)需解決的(de)問題之一。

技術實現要素：

本發(fa)明正是針(zhen)對(dui)現(xian)有問題，提供了一種(zhong)擠壓膜(mo)阻尼最(zui)大的(de)平板(ban)(ban)(ban)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)(rong)微執行(xing)器，包括基底(di)和設置在基底(di)上(shang)方(fang)的(de)平板(ban)(ban)(ban)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)(rong)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)平板(ban)(ban)(ban)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)(rong)包括固定電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)和活(huo)動(dong)(dong)(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)固定電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)位于基底(di)上(shang)方(fang)；所(suo)(suo)(suo)述(shu)活(huo)動(dong)(dong)(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)通(tong)過(guo)(guo)支(zhi)撐組件(jian)與基底(di)相連接，通(tong)過(guo)(guo)靜電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)力在固定電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)上(shang)方(fang)進(jin)行(xing)垂直上(shang)下運動(dong)(dong)(dong)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)活(huo)動(dong)(dong)(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)為(wei)正方(fang)形，通(tong)過(guo)(guo)正方(fang)形活(huo)動(dong)(dong)(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)特殊結構及特殊位置安排，使得平板(ban)(ban)(ban)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)(rong)微執行(xing)器具(ju)有最(zui)大的(de)擠壓膜(mo)阻尼，當器件(jian)啟動(dong)(dong)(dong)時(shi)，瞬(shun)態(tai)超(chao)調量較(jiao)(jiao)小(xiao)，收斂較(jiao)(jiao)快；當停止時(shi)，振幅衰減也較(jiao)(jiao)快，延長微執行(xing)器的(de)使用壽命，更加的(de)高效科學。

為了實現上述(shu)目的(de)(de)，本發(fa)明采用(yong)的(de)(de)技術(shu)方案是：一種(zhong)擠(ji)壓(ya)膜阻尼(ni)最大(da)的(de)(de)平板(ban)電(dian)容微(wei)執行器(qi)，包括基底和設置在基底上方的(de)(de)平板(ban)電(dian)容，所述(shu)平板(ban)電(dian)容包括固(gu)定電(dian)極板(ban)和活動(dong)電(dian)極板(ban)，

所述(shu)固定電極板位(wei)于基底(di)上方；

所(suo)述活(huo)動電(dian)(dian)極(ji)板(ban)通過支撐組件與基(ji)底相連接，通過靜電(dian)(dian)力在固(gu)定(ding)電(dian)(dian)極(ji)板(ban)上方(fang)進行垂直上下運(yun)動，所(suo)述活(huo)動電(dian)(dian)極(ji)板(ban)為正方(fang)形。

作為本發(fa)明的另一(yi)(yi)種改進，所(suo)述(shu)(shu)支(zhi)撐(cheng)組(zu)件(jian)包括支(zhi)撐(cheng)梁和固定(ding)(ding)支(zhi)撐(cheng)，所(suo)述(shu)(shu)固定(ding)(ding)支(zhi)撐(cheng)分別固定(ding)(ding)于(yu)(yu)基(ji)底兩(liang)側，所(suo)述(shu)(shu)支(zhi)撐(cheng)梁包括兩(liang)組(zu)，每一(yi)(yi)組(zu)中的支(zhi)撐(cheng)梁一(yi)(yi)端與固定(ding)(ding)支(zhi)撐(cheng)相連接，另一(yi)(yi)端與活動(dong)電(dian)極板相連接，兩(liang)組(zu)支(zhi)撐(cheng)梁將活動(dong)電(dian)極板平行(xing)架(jia)空于(yu)(yu)固定(ding)(ding)電(dian)極板上方。

作(zuo)為(wei)本發明(ming)的(de)(de)另(ling)一種改進，所述每組支撐梁與活動電極(ji)板(ban)的(de)(de)連(lian)接處為(wei)活動電極(ji)板(ban)邊(bian)長的(de)(de)中點，所述兩組支撐梁以(yi)活動電極(ji)板(ban)的(de)(de)中軸線呈對稱分布。

作(zuo)為(wei)本發明的(de)又一種改進，所述每組(zu)支(zhi)撐梁與活(huo)(huo)動電極(ji)(ji)板(ban)(ban)的(de)連(lian)接處為(wei)活(huo)(huo)動電極(ji)(ji)板(ban)(ban)的(de)頂點(dian)，兩個連(lian)接頂點(dian)呈活(huo)(huo)動電極(ji)(ji)板(ban)(ban)的(de)對(dui)角(jiao)，所述兩組(zu)支(zhi)撐梁以活(huo)(huo)動電極(ji)(ji)板(ban)(ban)另一對(dui)角(jiao)的(de)連(lian)接線(xian)為(wei)軸線(xian)呈對(dui)稱分布。

作為本(ben)發(fa)明的(de)(de)更(geng)進一步改進，所述每一組支撐梁的(de)(de)數量至少(shao)為1個，所述支撐梁以與(yu)活動電極板的(de)(de)連(lian)接處為原點，等(deng)距離的(de)(de)上下(xia)擴(kuo)散連(lian)接。

與現(xian)有技術相比，以前的(de)活(huo)動(dong)電(dian)極(ji)板在(zai)設計(ji)時(shi)(shi)沒(mei)有考慮(lv)擠壓(ya)膜(mo)阻尼(ni)的(de)影響，一般都設計(ji)成矩形(xing)，但(dan)矩形(xing)結構(gou)的(de)擠壓(ya)膜(mo)阻尼(ni)較(jiao)小，導致了(le)器(qi)件(jian)(jian)啟動(dong)時(shi)(shi)，活(huo)動(dong)電(dian)極(ji)板瞬態超(chao)(chao)調量較(jiao)大，收斂較(jiao)慢(man)；而器(qi)件(jian)(jian)停止(zhi)時(shi)(shi)，振幅(fu)衰減較(jiao)慢(man)；超(chao)(chao)調量較(jiao)大的(de)活(huo)動(dong)電(dian)極(ji)板容(rong)(rong)易與周圍(wei)其它部分碰撞，為了(le)避免碰撞，活(huo)動(dong)電(dian)極(ji)板與周圍(wei)的(de)間(jian)隙必須較(jiao)大，這又使(shi)(shi)得器(qi)件(jian)(jian)總(zong)體(ti)尺(chi)寸也(ye)(ye)較(jiao)大。而本發明中(zhong)，平板電(dian)容(rong)(rong)的(de)活(huo)動(dong)電(dian)極(ji)板為正方形(xing)，這種(zhong)結構(gou)具有最(zui)大擠壓(ya)膜(mo)阻尼(ni)，使(shi)(shi)得器(qi)件(jian)(jian)啟動(dong)時(shi)(shi)，瞬態超(chao)(chao)調量較(jiao)小，收斂較(jiao)快；停止(zhi)時(shi)(shi)，振幅(fu)衰減也(ye)(ye)較(jiao)快，同(tong)時(shi)(shi)器(qi)件(jian)(jian)總(zong)體(ti)尺(chi)寸也(ye)(ye)可(ke)以更小，使(shi)(shi)用(yong)無負擔，也(ye)(ye)延長(chang)了(le)器(qi)件(jian)(jian)的(de)使(shi)(shi)用(yong)壽命，更加的(de)高效環保。

附圖說明

圖1a為本發明(ming)實施例1擠壓膜阻尼最大(da)的(de)平(ping)板電容微執行器的(de)結構側視(shi)圖；

圖1b為(wei)本發(fa)明(ming)實施例1擠壓膜阻尼(ni)最(zui)大的(de)(de)平(ping)板(ban)電容微執行器的(de)(de)結構俯視圖；

圖2為本發明實施例1擠壓膜(mo)阻尼(ni)最大的平板電容微執行(xing)器(qi)的結構立(li)體圖；

圖(tu)3為本(ben)發明實施例1正(zheng)方(fang)形和(he)矩形活動(dong)電極板的(de)響應曲線圖(tu)；

圖4為本發明(ming)實施(shi)例2平板電(dian)容微(wei)執行器的結構示意圖；

圖中：1、活(huo)動電極(ji)板；2、支(zhi)撐(cheng)梁；3、支(zhi)撐(cheng)梁；4、固定電極(ji)板；5、基(ji)底；6、固定支(zhi)撐(cheng)、7、固定支(zhi)撐(cheng)。

具體實施方式

以下將(jiang)結(jie)合附圖和實施例，對本發明(ming)進(jin)行較為詳(xiang)細的說明(ming)。

實施例1

按擠(ji)壓膜阻尼的(de)理論(darlingrb,hivickc,xuj(1998)compactanalyticalmodelingofsqueezefilmdampingwitharbitraryventingconditionsusingagreen’sfunctionapproach.sensactuatorsa70:32-41；baom,yangh(2007)squeezefilmairdampinginmems.sensactuatorsa136:3-27)，忽(hu)略氣體壓縮效應時，矩(ju)形(xing)平板擠(ji)壓膜阻尼系(xi)數為

式中，μ是氣體粘度系數，ly和(he)lz是(shi)矩(ju)形極(ji)板的長和(he)寬，y和(he)z分別是(shi)長度、寬度方向，由此可以(yi)看(kan)出(chu)擠壓膜阻尼與極(ji)板間距g0的三(san)次方成反比。

為(wei)了增(zeng)大(da)擠(ji)壓膜(mo)阻尼，直接減小(xiao)g0。但是，作為(wei)微執行器，必(bi)須具有(you)較大(da)的(de)(de)行程才(cai)有(you)應(ying)用價值(zhi)，即g0不能(neng)太小(xiao)。所以，如何在g0不變的(de)(de)情況下，增(zeng)大(da)擠(ji)壓膜(mo)阻尼，才(cai)是非(fei)常(chang)有(you)意(yi)義的(de)(de)。

從式(shi)(shi)(1)可看出，該(gai)級(ji)數第一項是絕(jue)對大的，如果(guo)只取第一項，則該(gai)式(shi)(shi)為(wei)

式中，矩形(xing)極(ji)板的(de)(de)(de)面(mian)積(ji)為(wei)lylz，因為(wei)靜電驅動力與(yu)極(ji)板面(mian)積(ji)成正比，改變面(mian)積(ji)還直接影響驅動力的(de)(de)(de)大下(xia)，所以，將(jiang)在不改變矩形(xing)極(ji)板面(mian)積(ji)的(de)(de)(de)情況下(xia)，討(tao)論ly、lz與(yu)阻尼(ni)系數cdamping的(de)(de)(de)關系。

由于所以，只有在ly＝lz時，阻尼系數有最大值也即：活動(dong)極板為(wei)正方(fang)形的(de)器(qi)件是(shi)的(de)阻尼(ni)系數(shu)是(shi)擠壓膜阻尼(ni)最大的(de)器(qi)件，因而(er)：

一種擠壓膜阻尼最大的平板(ban)(ban)電(dian)(dian)(dian)容(rong)微(wei)執(zhi)行器，包(bao)括(kuo)基(ji)底(di)(di)5和設(she)置在基(ji)底(di)(di)上(shang)方(fang)(fang)的平板(ban)(ban)電(dian)(dian)(dian)容(rong)，如圖1a所(suo)示，平板(ban)(ban)電(dian)(dian)(dian)容(rong)包(bao)括(kuo)固定電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)4和活動電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)1，所(suo)述固定電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)4位(wei)于基(ji)底(di)(di)5上(shang)方(fang)(fang)，活動電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)1通過(guo)支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)組(zu)件(jian)與(yu)基(ji)底(di)(di)5相(xiang)連(lian)(lian)接(jie)，支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)組(zu)件(jian)包(bao)括(kuo)支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)梁(liang)(2,3)和固定支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)(6,7)，所(suo)述固定支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)(6,7)分別固定于基(ji)底(di)(di)5兩側，支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)梁(liang)(2,3)包(bao)括(kuo)兩組(zu)，每一組(zu)中的支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)梁(liang)2一端與(yu)固定支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)7相(xiang)連(lian)(lian)接(jie)，另一端與(yu)活動電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)1相(xiang)連(lian)(lian)接(jie)，兩組(zu)支(zhi)(zhi)(zhi)撐(cheng)梁(liang)(2,3)將活動電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)1平行架空于固定電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)4上(shang)方(fang)(fang)，通過(guo)靜電(dian)(dian)(dian)力在固定電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)4上(shang)方(fang)(fang)進行垂(chui)直(zhi)上(shang)下運動，所(suo)述活動電(dian)(dian)(dian)極(ji)板(ban)(ban)1為正方(fang)(fang)形(xing)。

本實施(shi)例中每組支(zhi)撐梁與活(huo)動電極板1的(de)連接(jie)處(chu)為活(huo)動電極板1邊長(chang)的(de)中點，如圖1b所示，圖1b為本實施(shi)例擠壓膜阻尼最大的(de)平板電容微執行器的(de)結構俯視(shi)圖，每一(yi)組支(zhi)撐梁(2,3)數(shu)量為三根，支(zhi)撐梁(2,3)以與活(huo)動電極板1的(de)連接(jie)處(chu)為原點，等(deng)距離的(de)上下擴散連接(jie)，兩組支(zhi)撐梁(2,3)以活(huo)動電極板1的(de)中軸線呈(cheng)對稱分布。

微(wei)執行(xing)器在階(jie)躍輸(shu)入電壓驅動(dong)下，活(huo)動(dong)極板(ban)垂直(zhi)于(yu)基底(5)產生變(bian)(bian)(bian)形，這種變(bian)(bian)(bian)形包含瞬(shun)(shun)態變(bian)(bian)(bian)形和穩(wen)態變(bian)(bian)(bian)形，其中，瞬(shun)(shun)態變(bian)(bian)(bian)形是(shi)沒有用的(de)(de)，瞬(shun)(shun)態變(bian)(bian)(bian)形將在阻尼(ni)力的(de)(de)作用下逐漸減小，最后衰減為零；當階(jie)躍輸(shu)入停止時(shi)，活(huo)動(dong)極板(ban)將退(tui)回到原來的(de)(de)位(wei)置，此時(shi)，相當于(yu)穩(wen)態變(bian)(bian)(bian)形為零，但瞬(shun)(shun)態變(bian)(bian)(bian)形依然(ran)存在；當器件(jian)阻尼(ni)過小時(shi)，則瞬(shun)(shun)態幅(fu)度較(jiao)大。為了避免活(huo)動(dong)極板(ban)與(yu)周圍其它部分碰撞(zhuang)，活(huo)動(dong)極板(ban)與(yu)周圍的(de)(de)間(jian)隙必須(xu)較(jiao)大，使(shi)得器件(jian)總體尺寸也只較(jiao)大。

運(yun)用如圖2所示(shi)的平板(ban)電容微執(zhi)行器，活動極(ji)板(ban)為正方形結構(gou)，此時，器件比原設(she)計具有更大的擠壓膜阻尼，具體(ti)效果(guo)如下(xia)：。

對于一多晶硅正(zheng)(zheng)(zheng)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)活(huo)(huo)動(dong)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)，其(qi)長(chang)(chang)(chang)(chang)×寬(kuan)×厚(hou)＝500微(wei)米(mi)×500微(wei)米(mi)×10微(wei)米(mi)，兩(liang)個(ge)彈性支(zhi)撐(cheng)梁(liang)長(chang)(chang)(chang)(chang)×寬(kuan)×厚(hou)＝400微(wei)米(mi)×10微(wei)米(mi)×10微(wei)米(mi)，極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)間距(ju)為(wei)(wei)g0＝15微(wei)米(mi)。設(she)階躍輸(shu)入電(dian)(dian)壓為(wei)(wei)10v，則圖3是正(zheng)(zheng)(zheng)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)活(huo)(huo)動(dong)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)響(xiang)(xiang)應曲線(xian)(實線(xian))；作(zuo)為(wei)(wei)比較(jiao)，圖3也給出了(le)長(chang)(chang)(chang)(chang)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)活(huo)(huo)動(dong)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)的響(xiang)(xiang)應曲線(xian)(虛線(xian))，該長(chang)(chang)(chang)(chang)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)活(huo)(huo)動(dong)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)，其(qi)長(chang)(chang)(chang)(chang)×寬(kuan)×厚(hou)＝1000微(wei)米(mi)×250微(wei)米(mi)×10微(wei)米(mi)。由兩(liang)個(ge)活(huo)(huo)動(dong)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)的長(chang)(chang)(chang)(chang)寬(kuan)厚(hou)度可知，正(zheng)(zheng)(zheng)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)板(ban)與長(chang)(chang)(chang)(chang)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)板(ban)面積相同，即(ji)，具有相同的靜電(dian)(dian)驅動(dong)力。顯(xian)然，長(chang)(chang)(chang)(chang)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)阻(zu)尼較(jiao)小，收(shou)斂(lian)速度明(ming)顯(xian)低于正(zheng)(zheng)(zheng)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)板(ban)，瞬(shun)態振幅(fu)明(ming)顯(xian)比正(zheng)(zheng)(zheng)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)板(ban)大不少(shao)。此時，長(chang)(chang)(chang)(chang)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)的阻(zu)尼約(yue)為(wei)(wei)正(zheng)(zheng)(zheng)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)的1/2，平板(ban)電(dian)(dian)容的活(huo)(huo)動(dong)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)板(ban)采用正(zheng)(zheng)(zheng)方(fang)(fang)(fang)(fang)形(xing)(xing)(xing)是，擠壓膜阻(zu)尼更大。

實施例2

本例與實施例1的(de)(de)不同(tong)之處(chu)在(zai)于，所(suo)述每組支撐(cheng)梁(liang)(2,3)與活(huo)動(dong)(dong)電極(ji)板(ban)(ban)1的(de)(de)連接處(chu)為活(huo)動(dong)(dong)電極(ji)板(ban)(ban)的(de)(de)頂點(dian)，兩(liang)(liang)個連接頂點(dian)呈(cheng)(cheng)活(huo)動(dong)(dong)電極(ji)板(ban)(ban)的(de)(de)對(dui)角，所(suo)述兩(liang)(liang)組支撐(cheng)梁(liang)(2,3)以活(huo)動(dong)(dong)電極(ji)板(ban)(ban)1另一(yi)對(dui)角的(de)(de)連接線為軸線呈(cheng)(cheng)對(dui)稱分布，如圖(tu)4所(suo)示(shi)，圖(tu)4為本實施例擠壓膜(mo)阻尼最大的(de)(de)平板(ban)(ban)電容(rong)微執行器(qi)(qi)的(de)(de)結構俯(fu)視圖(tu)，即活(huo)動(dong)(dong)電極(ji)板(ban)(ban)1呈(cheng)(cheng)菱形(xing)，此時(shi)擠壓膜(mo)阻尼依舊(jiu)很大，使(shi)得器(qi)(qi)件啟動(dong)(dong)時(shi)，瞬態超調量較小，收斂(lian)較快(kuai)；停止時(shi)，振幅衰減也較快(kuai)，同(tong)時(shi)器(qi)(qi)件總體尺寸也可以更小，使(shi)用無負擔。

以上顯示(shi)和(he)描(miao)(miao)述(shu)了(le)(le)本(ben)(ben)(ben)發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)基本(ben)(ben)(ben)原(yuan)理、主要特征和(he)本(ben)(ben)(ben)發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)優(you)點。本(ben)(ben)(ben)行(xing)業的(de)(de)(de)技(ji)術人員應該了(le)(le)解，本(ben)(ben)(ben)發(fa)明(ming)不受上述(shu)實(shi)例的(de)(de)(de)限(xian)制，上述(shu)實(shi)例和(he)說(shuo)明(ming)書(shu)中(zhong)描(miao)(miao)述(shu)的(de)(de)(de)只是(shi)說(shuo)明(ming)本(ben)(ben)(ben)發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)原(yuan)理，在不脫(tuo)離本(ben)(ben)(ben)發(fa)明(ming)精神和(he)范圍(wei)的(de)(de)(de)前提下本(ben)(ben)(ben)發(fa)明(ming)還會有各種(zhong)變化(hua)和(he)改進，這些變化(hua)和(he)改進都落入(ru)要求保護的(de)(de)(de)本(ben)(ben)(ben)發(fa)明(ming)范圍(wei)內(nei)。本(ben)(ben)(ben)發(fa)明(ming)要求保護范圍(wei)由所附的(de)(de)(de)權(quan)利(li)要求書(shu)及(ji)其等同物界定。