專利名稱：立式爐的凈化裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種立式爐的凈化裝置，特別是在集成電路制造的前道工序中，用于立式擴散氧化爐上凈化硅片的裝置。
背景技術：
立式爐是用于對硅片進行加熱、擴散、氧化處理的爐子，在加熱前，硅片放置在立式爐儲片臺及石英舟上，需要對硅片進行凈化處理，以保證爐子內部凈區的凈化等級達到1級。
現有的國外的凈化裝置，有些是采用風機鼓入空氣經過濾器過濾后對立式爐中的儲片臺、硅片、機械手及石英舟進行凈化的，但是空氣中的氧氣容易使硅片氧化，在硅片表面生成一層自然氧化層，這層氧化層的厚度是不可控的，對硅片的加工處理非常不利。
目前國內還沒有立式爐，大都是臥式爐，其凈化裝置也是根據臥式爐的特點設計的，一般采用水平層流的方式，其凈化等級為10級，達不到1級水平。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種立式爐的凈化裝置，利用高純氮氣對立式爐儲片臺及石英舟上的硅片進行凈化，可保證爐子內部凈區的凈化等級達到1級，并使高純氮氣能夠循環利用。
為解決上述技術問題，本實用新型的基本構思是由風機鼓入高純氮氣經高效過濾器過濾微小雜質后對需要凈化的設備進行凈化，再通過回氣箱回收氮氣送入風機循環使用。因為高純氮氣價格昂貴，所以回收后再循環利用。
本實用新型包括爐體機箱、可調速離心風機、過濾器，爐體機箱內安裝進氣箱，其通過進氣軟管與風機相連，進氣箱上下封閉，過濾器裝在進氣箱外圍，使進氣箱中的氣體只能從過濾器向外吹出，過濾器外爐體機箱內裝有儲片臺，貼著爐體機箱壁安裝有回氣箱，回氣箱連接有回氣軟管，回氣軟管的另一端與風機的進風口相連。
本實用新型所述的立式爐的凈化裝置，儲片臺為圓形，上下兩層，進氣箱及過濾器為圓柱形，位于儲片臺的中心。
本實用新型所述的立式爐的凈化裝置，回氣箱有兩個，對應安裝在爐體機箱壁內對側，相應的回氣軟管也有兩根，兩根回氣軟管通過一個法蘭三通相連，法蘭三通的另一出口再接出一根回氣軟管給風機。
本實用新型所述的立式爐的凈化裝置，圓柱形過濾器為高效過濾器，效率可達99.95％，能過濾掉直徑為0.2um的顆粒。
本實用新型所述的立式爐的凈化裝置，進氣箱可緊貼爐體機箱一側壁安裝，進氣箱另一側安裝平板式過濾器，其他面封閉。
本實用新型所述的立式爐的凈化裝置，以石英舟作儲片臺，石英舟固定安裝在舟升降機構上。
本實用新型所述的立式爐的凈化裝置，回氣箱安裝在爐體機箱內進氣箱對側，回氣箱連接有回氣軟管，回氣軟管的另一端與風機的進風口相連。
本實用新型所述的立式爐的凈化裝置，進氣軟管接入進氣箱的位置在進氣箱的中部。
本實用新型所述的立式爐的凈化裝置，平板式過濾器為超高效過濾器，效率為99.999％，能過濾掉直徑為0.1um的顆粒。
高純氮氣被風機鼓入進氣箱，再通過進氣箱外側的過濾器以緩慢速度向外吹出，經過四周儲片臺上的硅片盒或安裝在機械手升降機構的石英舟，從兩側或對側的回氣箱循環回離心風機。
本實用新型利用風機鼓入高純氮氣經高效過濾器循環來達到凈化要求，可使凈化空間的凈化等級達到一級，同時也避免了硅片在空氣中的氧化。而且，高純氮氣可循環利用，節約了成本。
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細說明。


圖1為本實用新型的第一種實施方式的主視剖視圖。
圖2為本實用新型的第一種實施方式的俯視剖視圖。
圖3為本實用新型的第二種實施方式的主視剖視圖。
圖4為本實用新型的第二種實施方式的俯視剖視圖。
具體實施方式
立式爐是專用于集成電路的制造過程中對硅片進行加工處理的爐子。在將硅片送入加熱爐體前及移出加熱爐體后，都需要對硅片進行凈化處理。
圖1為本實用新型的第一種實施方式的主視剖視圖，這種結構主要是用來對立式爐的儲片臺進行凈化。在爐體機箱11底部角落固定安裝可調速離心風機3，風機3上有一高純氮氣入口12，將高純氮氣注入后密閉。風機3通過與之相連的進氣軟管6將高純氮氣鼓入進氣箱1a。進氣箱1a為圓柱形，上下封閉，柱面部分裝有圓柱形高效過濾器4a。吹入進氣箱1a的氮氣只能從過濾器4a中以緩慢的速度向外吹出。過濾器4a將氮氣中的微小雜質除去，使非常潔凈的氮氣吹向儲片臺5上的硅片9。然后氮氣被爐體機箱11兩側安裝的回氣箱2a回收。回氣箱2a底部接有回氣軟管10a，因為有兩個回氣箱，所以有兩根回氣軟管10a。這兩根回氣軟管10a都接到一個法蘭三通13上，法蘭三通13另一出口再接出一根回氣軟管10a，將回收箱2a中的氮氣送回到風機3中。
儲片臺為上下兩層，臺上擺放著待處理的硅片。
儲片臺為圓形，如圖2所示。進氣箱1a安裝在圓心位置，氮氣從中心吹向四周，為圓周散射層流凈化方式。
圖3為本實用新型的第二種實施方式的主視剖視圖。這種結構主要是用來對立式爐的石英舟7和舟升降機構14進行凈化。在爐體機箱11底部角落固定安裝可調速離心風機3，風機3上有一高純氮氣入口12，將高純氮氣注入后密閉。風機3通過與之相連的進氣軟管6將高純氮氣鼓入進氣箱1b。進氣軟管2b接入進氣箱1b的位置在進氣箱1b的中部。進氣箱1b為長方體，靠近爐體機箱11中央的一面裝有平板式過濾器4b，其他面封閉，使進氣箱1b中的氣體只能從過濾器4b向外緩慢水平吹出。過濾器4b將氮氣中的微小雜質除去，使非常潔凈的氮氣吹向石英舟7上的硅片9及舟升降機構14。然后氮氣被爐體機箱11對側安裝的回氣箱2b回收。回氣箱2b底部接有回氣軟管10b，將回收箱2b中的氮氣送回到風機3中。
石英舟7上擺放著待處理或處理后的硅片，石英舟固定安裝在舟升降機構14上。
圖4為本實用新型的第二種實施方式的俯視剖視圖。這種方式為水平層流凈化方式。
權利要求1.一種立式爐的凈化裝置，包括爐體機箱(11)、可調速離心風機(3)、過濾器(4)，其特征在于爐體機箱(11)內安裝進氣箱(1)，其通過進氣軟管(6)與風機(3)相連，進氣箱(1)上下封閉，過濾器(4)裝在進氣箱(1)外圍，使進氣箱(1)中的氣體只能從過濾器(4)向外吹出，過濾器(4)外爐體機箱(11)內裝有儲片臺(5)，貼著爐體機箱(11)壁安裝有回氣箱(2)，回氣箱(2)連接有回氣軟管(10)，回氣軟管(10)的另一端與風機(3)的進風口相連。
2.按照權利要求1所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于儲片臺(5)為圓形，上下兩層，進氣箱(1a)及過濾器(4a)為圓柱形，位于儲片臺(5)的中心。
3.按照權利要求1所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于進氣箱(1b)緊貼爐體機箱(11)一側壁安裝，進氣箱(1b)另一側安裝平板式過濾器(4b)，其他面封閉。
4.按照權利要求1或3所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于以石英舟(7)作儲片臺，石英舟(7)固定安裝在舟升降機構(14)上。
5.按照權利要求1或2所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于所述回氣箱(2a)有兩個，對應安裝在爐體機箱(11)壁內對側，相應的回氣軟管(10a)也有兩根，兩根回氣軟管(10a)通過一個法蘭三通(13)相連，法蘭三通(13)的另一出口再接出一根回氣軟管(10a)給風機(3)。
6.按照權利要求1或3所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于回氣箱(2b)安裝在爐體機箱(11)內進氣箱(1b)對側，回氣箱(2b)連接有回氣軟管(10b)，回氣軟管(10b)的另一端與風機(3)的進風口相連。
7.按照權利要求1或3所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于所述進氣軟管(6)接入進氣箱(1b)的位置在進氣箱(1b)的中部。
8.按照權利要求1或2所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于所述過濾器(4a)為高效過濾器(4a)，效率可達99.95％，能過濾掉直徑為0.2um的顆粒。
9.按照權利要求1或3所述的一種立式爐的凈化裝置，其特征在于所述平板式過濾器(4b)為超高效過濾器(4b)，效率為99.999％，能過濾掉直徑為0.1um的顆粒。
專利摘要本實用新型公開了一種立式爐的凈化裝置，是在集成電路制造的前道工序中，用于立式擴散氧化爐上凈化硅片的裝置。它包括爐體機箱、可調速離心風機、進氣箱、過濾器，回氣箱。風機將高純氮氣鼓入進氣箱，經高效過濾器過濾微小雜質后對需要凈化的設備進行凈化，再通過回氣箱回收氮氣送入風機循環使用。它利用高純氮氣對立式爐儲片臺及石英舟上的硅片進行凈化，可保證爐子內部凈區的凈化等級達到1級，并使高純氮氣能夠循環利用。
文檔編號F27D7/00GK2667435SQ0327253
公開日2004年12月29日 申請日期2003年6月17日 優先權日2003年6月17日
發明者鐘華, 孫妍, 楊進維, 陳江榮 申請人:北京七星華創電子股份有限公司